【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术主要涉及用来支撑薄膜的衬底，并且具体地说，本专利技术涉及在耐高温和氧化性气氛方面优异的含有合金并且包含金属氧化物的衬底。
技术介绍
对于支撑薄膜的衬底，传统是通常使用例如单晶硅、多晶硅和无定形硅的硅衬底。但是，最近出现从硅衬底向玻璃衬底、塑料衬底和金属衬底转移的趋势。通常，在显著的高温下形成薄膜。但是，在高温下耐用的玻璃衬底通常是昂贵的。另一方面，廉价的玻璃衬底缺乏耐热性，并且不能耐受薄膜形成时的高温。此外，玻璃衬底是不太耐冲击的、是易碎的并且不是柔性的。另外，尽管塑料衬底在柔性方面是优异的，但是塑料衬底耐热性低，并且不能耐受上述高温。因此，廉价的、柔性的并且比较高耐热性的金属衬底受到关注。对于支撑薄膜的衬底，例如已经建议了如下衬底。专利文献1已经建议了包括硅、石英、蓝宝石、氧化铝和聚合物的衬底作为支撑薄膜电池的衬底。在该衬底上，首先形成金属集流体，并且在该集流体上形成包含氧化钒的正极。举例来说，通过将衬底温度设置为400℃的溅射方法制备正极。此后，在该正极上形成固体电解质。然后，在电解质上形成金属锂，如此完成薄膜电池。在专利文献1中，在真空下形成包...
【技术保护点】
一种包含金属氧化物的衬底，其包括：包括Ｆｅ和Ｃｒ并且包括选自Ｎｉ、Ｍｏ、Ｍｎ、Ａｌ和Ｓｉ中的至少一种的合金；以及形成所述合金的金属元素的氧化物，其中使用ＣｕＫα辐射观测的所述衬底的粉末Ｘ－射线衍射图具有至少一个归 属于所述氧化物的峰。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：岩本和也，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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