一种用于晶圆搬运的水平关节机器人制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，涉及运输设备技术领域。本实用新型专利技术包括机箱、大臂、和二臂，机箱上表面安装有机箱盖，机箱内表面安装有搬运机座，搬运机座内表面安装有大臂电机内圈，大臂电机内圈上表面安装有大臂电机，大臂电机内圈下表面安装有转动同步轮。本实用新型专利技术通过控制同步电机的转动，带动旋转同步轮旋转，利用转动同步轮与旋转同步轮啮合，并且，通过对大臂电机的控制，使大臂进行转动，通过减速机的安装并且通过中空减速机上、中空减速机下以及减速机同步轮，能够满足转动惯动小，而且能够减小前端的质量与空间，减少了转动惯量大、刚性差、响应速度慢等缺点。缺点。缺点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆搬运的水平关节机器人


[0001]本技术属于运输设备
，特别是涉及一种用于晶圆搬运的水平关节机器人。

技术介绍

[0002]现有的四轴平面运动机器人由4个电机分别驱动，驱动装置布置在关节上，该种布置主式存在转动惯量大、刚性差、响应速度慢等缺点，在操作空间大和大负载的工作环境中，缺点表现更明显，同时，驱动装置布置在关节上，小臂上的零部件较多，占据的空间也比较大，对小臂的防尘罩体积也较大。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，解决现有的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0005]本技术为一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，包括机箱、大臂、和二臂，所述机箱上表面安装有机箱盖，所述机箱内表面安装有搬运机座，用来安装大臂电机，所述搬运机座内表面安装有大臂电机内圈，用来固定大臂电机，所述大臂电机内圈上表面安装有大臂电机，所述大臂电机内圈下表面安装有转动同步轮，通过转动同步轮与旋转同步轮之间的啮合，便于带动大臂转动，所述转动同步轮本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，包括机箱(1)、大臂(14)、二臂(32)和安装支架(34)，其特征在于：所述机箱(1)上表面安装有机箱盖(2)，所述机箱(1)内表面安装有搬运机座(3)，所述搬运机座(3)内表面安装有大臂电机内圈(4)，所述大臂电机内圈(4)上表面安装有大臂电机(12)，所述大臂电机内圈(4)下表面安装有转动同步轮(5)，所述转动同步轮(5)下表面安装有中空减速机下(20)，所述大臂电机(12)输出端安装有联轴器(6)，所述联轴器(6)下表面安装有中空减速机上(21)，所述中空减速机上(21)与中空减速机下(20)之间安装有减速机同步轮(22)，所述安装支架(34)外表面安装有安装电机(35)，所述安装电机(35)输出端外表面安装有传送轮(36)，所述传送轮(36)外表面安装有传送带(37)，所述传送带(37)外表面安装有移动板(38)，所述搬运机座(3)下表面与移动板(38)上表面连接。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，其特征在于，所述中空减速机上(21)安装在大臂(14)内表面，所述大臂(14)内表面安装有大臂被动同步轮(17)，所述大臂被动同步轮(17)内表面安装有固定转轴(16)，所述大臂被动同步轮(17)下表面安装有大臂外圈(15)，所述大臂外圈(15)下表面安装有同步轮连接盘(18)，所述同步轮连接盘(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢小辉，
申请(专利权)人：深圳汇控智能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：