下载一种用于晶圆搬运的水平关节机器人的技术资料

文档序号:32605501

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本实用新型公开了一种用于晶圆搬运的水平关节机器人,涉及运输设备技术领域。本实用新型包括机箱、大臂、和二臂,机箱上表面安装有机箱盖,机箱内表面安装有搬运机座,搬运机座内表面安装有大臂电机内圈,大臂电机内圈上表面安装有大臂电机,大臂电机内圈下表...
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