非对称双末端执行器机器人臂制造技术

一种装置包括具有电机和同轴驱动器轴的驱动器；具有第一臂和第二臂的臂组件；以及控制器。第一臂包括第一上臂、第一前臂、第一末端执行器和第一传动装置，其中第一传动装置包括非圆形滑轮，并且第一上臂和第一前臂具有不相等的有效长度。第二臂包括第二上臂、第二前臂、第二末端执行器和第二传动装置，其中第二上臂和第二前臂具有基本相等的有效长度。控制器被配置为引起驱动器使臂伸出和缩回以移动衬底保持区域上的上衬底和下衬底，使得臂组件和上衬底没有行进越过下衬底。衬底没有行进越过下衬底。衬底没有行进越过下衬底。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】非对称双末端执行器机器人臂


[0001]示例性和非限制性实施例总体上涉及一种机器人，并且更具体地涉及一种具有非对称末端执行器的机器人臂，该末端执行器具有相对于彼此偏斜的衬底保持区域。

技术介绍

[0002]用于制造半导体、LED、太阳能、MEMS、或其他装置的过程利用机器人技术和其他形式的自动化来将衬底和与衬底相关联的载体送至存储位置、处理位置或其他位置以及由这些位置送回。这种衬底的运送可以包括使用单个臂或多个臂移动个体衬底、衬底组，其中单个臂运送一个或多个衬底，或者多个臂每个运送一个或多个衬底。例如，与半导体制造相关联的大部分制造都是在真空环境中进行的，在这种环境中，覆盖区和体积都非常宝贵。此外，进行大部分自动化运送是为了在工作空间体积内获取衬底移动的最大效率。因此，需要提供如下的衬底运送自动化，其针对给定范围的运送应用，以最大移动效率来利用最小的覆盖区和工作空间体积。

技术实现思路

[0003]以下概述仅旨在作为示例。概述并非旨在限制权利要求的范围。
[0004]根据一个方面，示例实施例提供了一种装置，该装置包括：包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种装置，包括：驱动器，包括电机和同轴驱动器轴；臂组件，连接到所述同轴驱动器轴，其中所述臂组件包括第一臂和第二臂；以及控制器，被配置为控制所述电机，其中所述第一臂包括连接到所述同轴驱动器轴中的第一同轴驱动器轴的第一上臂、连接到所述第一上臂的第一前臂、连接到所述第一前臂的第一末端执行器、以及用于使所述第一末端执行器在所述第一前臂上旋转的第一传动装置，其中所述第一传动装置包括至少一个非圆形滑轮，其中所述第一末端执行器包括第一衬底保持区域，其中所述第一上臂和所述第一前臂具有不相等的有效长度，其中所述第二臂包括连接到所述同轴驱动器轴中的第二同轴驱动器轴的第二上臂、连接到所述第二上臂的第二前臂、连接到所述第二前臂的第二末端执行器、以及用于使所述第二末端执行器在所述第二前臂上旋转的第二传动装置，其中所述第二末端执行器包括第二衬底保持区域，其中所述第二上臂和所述第二前臂具有基本相等的有效长度，其中所述控制器被配置为引起所述驱动器使所述臂伸出和缩回以移动在衬底保持区域上的上衬底和下衬底，使得所述臂组件和所述上衬底不行进越过所述下衬底。2.根据权利要求1所述的装置，其中所述控制器被配置为在所述控制器引起一个臂伸出和缩回的同时将具有所述上衬底的另一个臂保持在相对于所述驱动器的静止位置。3.根据权利要求2所述的装置，其中所述控制器被配置为在所述控制器引起一个臂伸出和缩回的同时将具有所述下衬底的另一个臂保持在相对于所述驱动器的静止位置。4.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二传动装置包括不是非圆形滑轮的滑轮。5.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一末端执行器具有基本上弯曲的形状并且所述第二末端执行器具有基本上直的形状。6.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一上臂的所述有效长度长于所述第一前臂的所述有效长度。7.根据权利要求1所述的装置，其中在所述第一臂和所述第二臂的缩回位置，所述第二末端执行器部分地位于所述第一末端执行器上方，所述第二前臂部分地位于所述第一前臂和所述第一末端执行器之上，并且所述第一末端执行器部分地位于所述第二上臂之上。8.根据权利要求1所述的装置，其中所述控制器、所述第一臂和所述第二臂的结构、以及所述传动装置被配置为限制所述第一臂和所述第二臂相对于彼此的运动，以针对所述末端执行器的所有位置防止所述臂组件和所述上衬底行进越过所述下衬底。9.一种方法，包括：使臂组件的第一臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回，其中所述第一臂连接到机器人驱动器的第一同轴驱动器轴，并且其中所述第一臂包括第一末端执行器，所述第一末端执行器具有第一衬底保持区域，在所述第一衬底保持区域上具有下衬底；将臂组件的第二臂在缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回，其中所述第二臂连接到所述机器人驱动器的第二同轴驱动器轴，并且其中所述第二臂包括第二末端执行器，所述第二末端执行器具有第二衬底保持区域，在所述第二衬底保持区域上具有上衬底；以及控制所述第一臂和所述第二臂的伸出和缩回，使得在所述第一臂和所述第二臂在其相应缩回位置与伸出位置之间伸出和缩回期间，所述臂组件和所述上衬底不行进越过所述下
衬底。10.根据权利要求9所述的方法，其中所述第一臂包括连接到所述第一同轴驱动器轴的第一上臂、连接到所述第一上臂的第一前臂、连接到所述第一前臂的第一末端执行器、以及用于使所述第一末端执行器在所述第一前臂上旋转的第一传动装置，其中所述第一传动装置包括至少一个非圆形滑轮，其中所述第一上臂和所述第一前臂具有不相等的有效长度，其中所述方法包括在所述第一上臂被所述第一同轴驱动器轴旋转时，所述第一传动装置引起所述第一末端执行器在所述第一前臂上旋转。11.根据权利要求10所述的方法，其中所述第二臂包括连接到所述第二同轴驱动器轴的第二上臂、连接到所述第二上臂的第二前臂、连接到所述第二前...

【专利技术属性】
技术研发人员：S，
申请(专利权)人：柿子技术公司，
类型：发明
国别省市：