检查用基板和检查方法技术

本发明专利技术提供检查用基板和检查方法，比较廉价地检查切削装置的构成要素是否正常地安装。提供检查用基板，其用于检查在利用切削刀具对被加工物进行切削时是否会由于切削装置的构成要素而在被加工物的正面上形成伤痕，其中，该检查用基板具有：模拟切削用的槽部，其设置于检查用基板的正面侧，具有切削刀具能够通过的宽度；以及涂料层，其设置于检查用基板的正面侧，用于提高形成于正面侧的伤痕的视认性。用于提高形成于正面侧的伤痕的视认性。用于提高形成于正面侧的伤痕的视认性。

【技术实现步骤摘要】
检查用基板和检查方法


[0001]本专利技术涉及用于检查在利用切削刀具对被加工物进行切削时是否会由于切削装置的构成要素而在被加工物的正面上形成伤痕的检查用基板以及使用该检查用基板来检查是否在被加工物的正面上形成伤痕的检查方法。

技术介绍

[0002]在各种电子设备中搭载有具有IC(Integrated Circuit，集成电路)、LSI(Large Scale Integration，大规模集成)等器件的器件芯片。器件芯片是通过使用切削装置等将在半导体晶片的正面侧形成有多个器件的晶片(被加工物)分割成各个器件而制造的。
[0003]切削装置具有在前端部安装切削刀具的主轴。主轴的一部分以能够旋转的方式收纳于主轴壳体中，在主轴壳体上连结有部分地覆盖切削刀具的刀具罩。
[0004]在刀具罩上设置有用于在被加工物的切削时向切削刀具与被加工物接触的加工点提供切削水的切削水提供喷嘴(例如参照专利文献1)。
[0005]在主轴壳体的下方配置有用于吸引保持被加工物的卡盘工作台。在卡盘工作台的下方连结有滚珠丝杠式的加工进给单元，加工进给单元使卡盘工作台在装卸被加工物的装卸区域与切削被加工物的切削区域之间移动。
[0006]为了降低切削中产生的切削屑或雾从切削区域向装卸区域流出，在装卸区域与切削区域之间设置有能够沿上下方向移动的间隔板(例如参照专利文献2)。间隔板的下端设定为在卡盘工作台所保持的被加工物在装卸区域与切削区域之间移动时不与被加工物接触的高度。
[0007]但是，在间隔板的更换作业中，有时错误地将间隔板安装在比规定位置低的位置。另外，在切削刀具的更换作业或切削水提供喷嘴的位置调整作业中，有时也错误地将切削水提供喷嘴的前端部安装于比规定位置低的位置。
[0008]在这样的情况下，间隔板、切削水提供喷嘴与被加工物的上表面接触而产生伤痕(接触痕)，由此存在产生瑕疵品的问题。假设在无法早期地发现间隔板、切削水提供喷嘴等不良情况的情况下，会连续地产生瑕疵品。
[0009]因此，为了对间隔板、切削水提供喷嘴等切削装置的构成要素是否正常地安装进行检查，考虑对切削后的被加工物的外观进行检查。例如为了对被加工物的正面进行检查，考虑使用自动光学检查装置(AOI：Automated Optical Inspection)。
[0010]专利文献1：日本特开平11
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34039号公报
[0011]专利文献2：日本特开2012
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178511号公报
[0012]但是，自动光学检查装置非常昂贵，因此检查所需的成本增高。另外，自动光学检查装置逐次地检查非常窄的范围，因此要进行被加工物的整个正面的检查需要时间。另一方面，当限制检查范围、检查部位时，有可能看漏产生在被加工物上的伤痕，因此无法早期地发现瑕疵品的产生。

技术实现思路

[0013]本专利技术是鉴于该问题点而完成的，其目的在于代替利用自动光学检查装置对被加工物进行检查的方式而比较廉价地检查切削装置的构成要素是否正常地安装。
[0014]根据本专利技术的一个方式，提供检查用基板，其用于检查在利用切削刀具对被加工物进行切削时是否会由于切削装置的构成要素而在该被加工物的正面上形成伤痕，其中，该检查用基板具有：模拟切削用的槽部，其设置于该检查用基板的该正面侧，具有切削刀具能够通过的宽度；以及涂料层，其设置于该检查用基板的该正面侧，用于提高形成于该正面侧的伤痕的视认性。
[0015]优选该涂料层的颜料具有碳、氧化硅或氧化钛。
[0016]根据本专利技术的另一方式，提供检查方法，使用检查用基板来检查在利用切削刀具对被加工物进行切削时是否会由于切削装置的构成要素而在该被加工物的正面上形成伤痕，其中，该检查用基板具有：模拟切削用的槽部，其设置于该检查用基板的该正面侧，具有该切削刀具能够通过的宽度；以及涂料层，其设置于该检查用基板的该正面侧，用于提高形成于该正面侧的伤痕的视认性，该检查方法具有如下的步骤：保持步骤，使该检查用基板的该正面朝上而利用配置于对该检查用基板进行装卸的装卸区域的卡盘工作台对该检查用基板的背面侧进行保持；移动步骤，在该保持步骤之后，使该卡盘工作台从该装卸区域移动至对该检查用基板进行模拟切削的切削区域；模拟切削步骤，将该切削刀具的下端定位于比该槽部的底高的规定的高度，使该切削刀具的一部分在该槽部中通过，由此进行模拟切削；以及图像获取步骤，获取该检查用基板的该正面侧的图像。
[0017]本专利技术的一个方式的检查用基板在检查用基板的正面侧具有用于提高形成于检查用基板的正面侧的伤痕的视认性的涂料层。在使吸引保持着检查用基板的背面侧的卡盘工作台从装卸区域移动至切削区域的情况下，例如当间隔板的下端与检查用基板的正面侧接触时，所接触的区域的涂料层剥离。
[0018]另外，本专利技术的一个方式的检查用基板在检查用基板的正面侧具有模拟切削用的槽部，该模拟切削用的槽部具有切削刀具能够通过的宽度。在按照切削刀具的一部分通过槽部的方式使切削刀具与吸引保持着检查用基板的背面侧的卡盘工作台相对地移动的情况下，例如当切削水提供喷嘴的前端部与检查用基板的正面侧接触时，所接触的区域的涂料层剥离。
[0019]关于涂料层有无剥离，能够使用通常搭载于切削装置的拍摄单元来进行检测，因此与利用自动光学检查装置对被加工物进行检查的情况相比，能够比较廉价地检查间隔板、切削水提供喷嘴等构成要素是否正常地安装。另外，假设未产生涂料层的剥离的情况下，能够再次使用同一检查用基板，因此通过检查用基板的再次使用，能够抑制检查成本。
附图说明
[0020]图1是检查用基板的立体图。
[0021]图2是检查用基板的一部分的放大剖视图。
[0022]图3是切削装置的立体图。
[0023]图4是切削单元的分解立体图。
[0024]图5是示出间隔板等的图。
[0025]图6是示出检查方法的流程图。
[0026]图7的(A)是示出检查用基板的整体的图像，图7的(B)是形成有伤痕的正面侧的一部分的放大图像。
[0027]图8的(A)是示出检查用基板的整体的图像，图8的(B)是形成有伤痕的正面侧的一部分的放大图像。
[0028]标号说明
[0029]2：切削装置；4：操作面板；6：监视器；8：盒；10：盒台；11：检查用基板；11a：正面；11b：背面；12：盒升降机；13：晶片；13a：正面；15：涂料层；17：槽部；17a：宽度；17b：深度；17c：底；14：推挽臂；16：定位部件；18：第1搬送单元；20：卡盘工作台；20a：保持面；20b：夹具单元；21：被加工物；21a：正面；21b：背面；22a：罩部件；22b：折皱；23：划片带；25：框架；27：框架单元；24：支承部件；24a：拍摄单元；26：切削单元；28：主轴壳体；30：主轴；32：切削刀具；32a：切刃；34：刀具罩；36：切削水提供喷嘴；38：管；44：装卸罩；46：切削水提供喷嘴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检查用基板，其用于检查在利用切削刀具对被加工物进行切削时是否会由于切削装置的构成要素而在该被加工物的正面上形成伤痕，其特征在于，该检查用基板具有：模拟切削用的槽部，其设置于该检查用基板的该正面侧，具有切削刀具能够通过的宽度；以及涂料层，其设置于该检查用基板的该正面侧，用于提高形成于该正面侧的伤痕的视认性。2.根据权利要求1所述的检查用基板，其特征在于，该涂料层的颜料具有碳、氧化硅或氧化钛。3.一种检查方法，使用检查用基板来检查在利用切削刀具对被加工物进行切削时是否会由于切削装置的构成要素而在该被加工物的正面上形成伤痕，其特征在于，该检查用基板具有：模拟切削用的槽部...

【专利技术属性】
技术研发人员：添岛义胜，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：