电可编程熔丝单元版图结构制造技术

本发明专利技术公开了一种电可编程熔丝单元版图结构，其包括引脚垫、熔丝本体、屏蔽层；熔丝本体的长度方向两端分别布置有一个引脚垫；屏蔽层和熔丝本体处于同一金属层；屏蔽层包括多条独立金属线；多条独立金属线布置在熔丝本体两侧，并排布在熔丝本体两端的引脚垫之间；各独立金属线的长度大于宽度；各独立金属线的长度方向均垂直于熔丝本体的长度方向。该电可编程熔丝单元版图结构，既形成防止爆裂金属喷射影响其他电路的阻挡保护层，又能够防止喷射金属反射回来连接到断开的熔丝本体上，提高了电可编程熔丝单元的编程可靠性。编程熔丝单元的编程可靠性。编程熔丝单元的编程可靠性。

【技术实现步骤摘要】
电可编程熔丝单元版图结构


[0001]本专利技术涉及集成电路版图技术，具体涉及一种电可编程熔丝(efuse)单元版图结构。

技术介绍

[0002]电可编程熔丝(efuse)是一次性编程器件(OTP)，电可编程熔丝(efuse)基于电迁移原理实现熔丝的熔断，并转化为逻辑输出而实现片上编程功能，其编程操作的可靠性是最主要指标。
[0003]提高电可编程熔丝(efuse)单元可靠性的方法有多种，其中，通过在电可编程熔丝(efuse)单元版图上设置屏蔽层(shield)的方式是一种常用手段。这种方式可以阻挡熔丝在爆裂时将金属喷射到其他电路而导致电可编程熔丝(efuse)单元功能失效。
[0004]两种常规的电可编程熔丝(efuse)单元版图结构如图1、图2所示，其特点是整个熔丝由Pad(引脚垫)部分、熔丝本体(link)和屏蔽层构成。在熔丝本体两端分别设置一个Pad，Pad采用和熔丝本体相同的金属层。Pad面积较大，其有效的散热面积大，其目的是使电可编程熔丝(efuse)单元熔断发生在熔丝本体的中间部分，而不是在熔丝本体的两端，因为较大本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电可编程熔丝单元版图结构，其特征在于，其包括引脚垫、熔丝本体、屏蔽层；熔丝本体的长度方向两端分别布置有一个引脚垫；屏蔽层和熔丝本体处于同一金属层；所述屏蔽层包括多条独立金属线；多条独立金属线布置在所述熔丝本体两侧，并排布在熔丝本体两端的引脚垫之间；各独立金属线的长度大于宽度；各独立金属线的长度方向均垂直于所述熔丝本体的长度方向。2.根据权利要求1所述的电可编程熔丝单元版图结构，其特征在于，所述熔丝本体同一侧的各条独立金属线到熔丝本体的最小距离相同。3.根据权利要求1所述的电可编程熔丝单元版图结构，其特征在于，所述熔丝本体同一侧的相邻独立金属线的间隔相同。4.根据权利要求1所述的电可编程熔丝单元版图结构，其特征在于，各屏蔽层金属线的...

【专利技术属性】
技术研发人员：晏颖，金建明，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：