efuse熔丝的版图结构制造技术

本发明专利技术公开了一种efuse熔丝的版图结构，其包括第一熔丝单元、第二熔丝单元，第一熔丝单元包括第一焊盘等，第二熔丝单元包括第三焊盘等，第一熔丝本体连接在第一焊盘和第二焊盘之间，第一保护层、第二保护层分别位于第一熔丝本体的两侧，第二熔丝本体连接在第三焊盘和第四焊盘之间，第三保护层、第二保护层分别位于第二熔丝本体的两侧，第一熔丝本体和第二熔丝本体相互垂直，第一保护层、第二保护层都与第三保护层、第二保护层垂直，第一熔丝本体和第二熔丝本体叠放在同一版图区域，第一熔丝本体和第二熔丝本体采用不同的金属层。本发明专利技术减少了熔丝本体所占用的版图面积。少了熔丝本体所占用的版图面积。少了熔丝本体所占用的版图面积。

【技术实现步骤摘要】
efuse熔丝的版图结构


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种efuse熔丝的版图结构。

技术介绍

[0002]efuse(熔丝)基于电迁移(EM)原理，采用标准CMOS工艺，通过熔断熔丝的原理，实现具备高可靠性的片上编程功能。随着市场对芯片面积的要求越来越高，efuse作为芯片内部用于参数设置的专用IP，整体面积已经成为主要设计指标之一。而在efuse模块内部，由efuse单元构成的阵列占据整个IP面积的一半以上，因此减小efuse单元的面积是提高efuse模块竞争力的主要手段之一。
[0003]常规的efuse单元的熔丝版图如图1和图2所示，分别呈酒杯型和工字型，其特点是整个熔丝由焊盘(Pad)部分和熔丝本体(Link)两部分版图构成，而且熔丝版图都采用平面布置的方式。其中，考虑到熔丝编程所需的电流能力以及熔丝的散热特性，Pad一般采用和熔丝本体Link相同的金属层，Pad面积较大，以保证通过较大的编程电流和获得有效的散热面积，而熔丝本体较窄，熔丝版图中都有较大的空余空间。
专利技术内容
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种efuse熔丝的版图结构，其特征在于，其包括第一熔丝单元、第二熔丝单元，第一熔丝单元包括第一焊盘、第二焊盘、第一熔丝本体、第一保护层、第二保护层，第二熔丝单元包括第三焊盘、第四焊盘、第二熔丝本体、第三保护层、第二保护层，第一熔丝本体连接在第一焊盘和第二焊盘之间，第一保护层、第二保护层分别位于第一熔丝本体的两侧，第二熔丝本体连接在第三焊盘和第四焊盘之间，第三保护层、第二保护层分别位于第二熔丝本体的两侧，第一熔丝本体和第二熔丝本体相互垂直，第一保护层、第二保护层都与第三保护层、第二保护层垂直，第一熔丝本体和第二熔丝本体叠放在同一版图区域，第一熔丝本体和第二熔丝本体采用不同的金属层，第一熔丝本体采用第二金属层，第二熔丝本体采用第三金属...

【专利技术属性】
技术研发人员：张黎，晏颖，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：