efuse熔丝的版图结构制造技术

本发明专利技术公开了一种efuse熔丝的版图结构，其包括第二Pad和第二熔丝、第二保护层，第二保护层采用多组弯折形金属线构成的双重套叠结构，每组弯折形金属线对称布置在熔丝的两侧，弯折形金属线的一端连接在第二熔丝上，弯折形金属线的另一端指向对称的另一个L型金属线。本发明专利技术既形成防止爆裂金属喷射影响其他电路的保护层，又能够起到在熔丝上辅助散热，有助于形成以中间高两边低的温度梯度，使得熔断现象不太剧烈，而且控制发生在熔丝的中间部位，以便提高编程的可靠性。以便提高编程的可靠性。以便提高编程的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
efuse熔丝的版图结构


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种efuse熔丝的版图结构。

技术介绍

[0002]efuse基于电迁移(EM)原理，通过编程操作实现熔丝的熔断，并转化为逻辑输出而实现片上编程功能。efuse是一次性编程器件(OTP)，其编程操作的可靠性是最主要的考核指标之一。提高efuse单元可靠性的方法有多种，其中，通过在efuse单元版图上设置保护层的方式是一种常用手段。这种方式可以阻挡熔丝在爆裂时将金属喷射到其他电路而导致efuse功能失效。但目前常规的保护层版图方式可能会使得喷射金属物碰到保护层后反射回到熔丝上，使得已经断开的熔丝又重新连上，从而造成编程操作失败。
[0003]两种常规的efuse单元的熔丝版图结构分别如图1和图2所示，其特点是整个熔丝包括第一Pad(焊盘)101和第一熔丝(link)102、第一保护层103，其中，第一保护层由单根或者多根与熔丝平行的同层金属线组成，用于阻挡发生爆裂的金属线上物质影响到其他模块导致功能失效。在第一熔丝的两端为第一Pad，第一Pad采用和第一熔丝本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种efuse熔丝的版图结构，其特征在于，其包括第二Pad和第二熔丝、第二保护层，第二保护层采用多组弯折形金属线构成的双重套叠结构，每组弯折形金属线对称布置在熔丝的两侧，弯折形金属线的一端连接在第二熔丝上，弯折形金属线的另一端指向对称的另一个L型金属线。2.如权利要求1所述的efuse熔丝的版图结构，其特征在于，所述弯折形金属线的宽度与第二熔丝的宽度相同。3.如权利要求1所述的efuse熔丝的版图结构，其特征在于，每组所述弯折形金属线之间相互断开。4.如权利要求1所述的efuse熔丝的版图结构，其特征在于，所述弯折形金属线与第二熔丝位于同一金属层...

【专利技术属性】
技术研发人员：张黎，晏颖，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：