一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置，涉及电极屏蔽技术领域，针对现有的电极屏蔽装置装卸过程太过复杂，不便于技术人员的检测和维修，导致工作效率低的问题，现提出如下方案，其包括电极柱本体、屏蔽护板和第一立柱，所述电极柱本体的圆周侧壁套设有两个结构相同的屏蔽护板，所述屏蔽护板的侧壁固定安装有两个结构相同的第一立柱，所述屏蔽护板的侧壁固定安装有两个结构相同的第二立柱，所述屏蔽护板相互远离的一侧滑动安装有两个结构相同的插销。本实用新型专利技术结构新颖，该装置不仅实现了对屏蔽护板进行固定安装的效果，完成对电极柱本体的辐射进行屏蔽，而且达到了对电极柱本体进行保护的目的，适宜推广。适宜推广。适宜推广。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置


[0001]本技术涉及电极屏蔽
，尤其涉及一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置。

技术介绍

[0002]刻蚀是半导体加工、微电子制造、LED生产等领域中非常重要的一步工艺，常见的刻蚀手段主要有干法刻蚀和湿法刻蚀，与湿法刻蚀相比，干法刻蚀具有各向异性好、选择比高、工艺可控、重复性好、无化学废液污染等优点。
[0003]现有的电极屏蔽装置装卸过程太过复杂，不便于技术人员的检测和维修，导致工作效率低。因此，本技术提供了一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置用以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术提出的一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置，解决了现有的电极屏蔽装置装卸过程太过复杂，不便于技术人员的检测和维修，导致工作效率低的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置，包括电极柱本体、屏蔽护板和第一立柱，所述电极柱本体的圆周侧壁套设有两个结构相同的屏蔽护板，一个所述屏蔽护板的侧壁固定安装有两个结构相同的第一立柱；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置，包括电极柱本体(1)、屏蔽护板(2)和第一立柱(3)，其特征在于，所述电极柱本体(1)的圆周侧壁套设有两个结构相同的屏蔽护板(2)，一个所述屏蔽护板(2)的侧壁固定安装有两个结构相同的第一立柱(3)；另一个所述屏蔽护板(2)的侧壁固定安装有两个结构相同的第二立柱(6)，两个所述屏蔽护板(2)相互远离的一侧滑动安装有两个结构相同的插销(14)，所述插销(14)相互靠近的一端延伸至屏蔽护板(2)的内部固定安装有防护板(4)，所述第二立柱(6)靠近第一立柱(3)的一侧固定安装有固定杆(7)，所述第一立柱(3)远离第二立柱(6)的一侧固定安装有固定柱(8)，所述固定柱(8)和固定杆(7)之间设置有固定机构。2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置，其特征在于，两个所述防护板(4)靠近电极柱本体(1)的一侧均设置有防护垫，且防护垫与电极柱本体(1)的侧壁相贴合。3.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置，其特征在于，所述防护板(4)远离电极柱本体(1)的一侧固定安装有多个结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷胜，
申请(专利权)人：无锡圆诺电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：