一种更换上电极的工具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种更换上电极的工具，包括托盘和多个第二螺丝；托盘设置有两个以上第一通孔和两个以上第二通孔，第一通孔包括相互连通的端部和尾部，第二螺丝的头部可贯穿第一通孔的端部，第二螺丝的头部不可贯穿第一通孔的尾部；第二螺丝的螺纹部的长度长于第一螺丝的螺纹部的长度，第二螺丝的螺纹部与冷却盘上的螺纹孔相匹配；多个第二螺丝用于将托盘固定在冷却盘上，托盘用于托住上电极套环；第一螺丝的头部可贯穿第二通孔；两个以上第二通孔对应的两个以上第一螺丝可以将上电极套环固定在冷却盘上。一个人员使用工具即可更换上电极，并且可以防止上电极掉落摔碎，提高了更换上电极的效率。上电极的效率。上电极的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种更换上电极的工具


[0001]本技术涉及晶圆制造
，特别涉及一种更换上电极的工具。

技术介绍

[0002]干法刻蚀包括等离子刻蚀，等离子刻蚀主要包括以下几个步骤：在低压下，反应气体在射频功率的激发下，产生电离并形成等离子体(plasma，等离子体)，等离子体是由带电的电子和离子组成，反应腔体中的气体在电子的撞击下，除了转变成离子外，还能吸收能量并形成大量的活性基团；活性基团和被刻蚀物质表面形成化学反应并形成挥发性的反应生成物；反应生成物脱离被刻蚀物质表面，并被真空系统抽出腔体。
[0003]在使用型号为Vigus的刻蚀机对晶圆进行时刻时，晶圆固定在上电极(Upper Electrode，上电极或上部电极)和下电极之间。在刻蚀过程中，上电极会附着刻蚀产生的生成物，等离子体也会刻蚀上电极，使得上电极容易变薄，影响刻蚀速率和均匀性，需要定期更换上电极。上电极固定在冷却盘(cooling plate，冷却盘)和上电极套环(Upper Electrode Holder，上电极套环)之间，上电极套环通过多个螺丝固定在冷却盘上。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种更换上电极的工具，其特征在于，所述上电极固定在冷却盘和上电极套环之间，所述上电极套环通过多个第一螺丝固定在所述冷却盘上的多个螺纹孔内；所述工具包括托盘和多个第二螺丝；所述托盘设置有两个以上第一通孔和两个以上第二通孔，所述第一通孔包括相互连通的端部和尾部，所述第一螺丝和所述第二螺丝均包括相互连接的头部和螺纹部，所述第二螺丝的头部可贯穿所述第一通孔的端部，所述第二螺丝的头部不可贯穿所述第一通孔的尾部；所述第二螺丝的螺纹部的长度长于所述第一螺丝的螺纹部的长度，所述第二螺丝的螺纹部与所述冷却盘上的螺纹孔相匹配；多个所述第二螺丝用于将所述托盘固定在所述冷却盘上，所述托盘用于托住所述上电极套环；所述第一螺丝的头部可贯穿所述第二通孔；两个以上所述第二通孔对应的两个以上所述第一螺丝可以将所述上电极套环固定在所述冷却盘上。2.如权利要求1所述的一种更换上电极的工具，其特征在于，所述上电极套环的形状和所述托盘的形状均为圆环形。3.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆启迪，叶璘珂，汤介峰，荆泉，陈力钧，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：