一种晶圆切割机用切割刀具制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆切割技术领域，具体为一种晶圆切割机用切割刀具。本实用新型专利技术要解决的技术问题是功能单一和无法调节切片的间距。为了解决上述技术的问题，本实用新型专利技术提供了一种晶圆切割机用切割刀具，本实用新型专利技术主要由定位机构和调节机构组成，通过设置卡接槽块、卡接条、压簧和限位块，可以在切割在进行晶圆切片的同时，对晶圆进行固定，防止晶圆跑偏，相较于传统的贴附胶膜固定，大大节省了切割成本，通过设置螺纹杆、螺纹筒和滑轨，可以调节两个刀头之间的距离，满足不同尺寸的晶圆切片需求，且通过设置限位螺栓、第二轴承和固定板，可以实现对刀头的快速安装，且可以根据刀头的尺寸进行调节，满足不同型号刀头的固定安装。满足不同型号刀头的固定安装。满足不同型号刀头的固定安装。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆切割机用切割刀具


[0001]本技术涉及晶圆切割
，具体为一种晶圆切割机用切割刀具。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，而在切片过程中，需要使用到切片工具，因此，切割刀具是必不可少的，但是现有的晶圆切割机用切割刀具存在很多问题或缺陷；
[0003]晶圆在切割前需要在晶圆背面会贴附胶膜而置于框架上，用于在切割时对晶圆进行固定，这种方式造成切割成本较大，现有的切割刀具只存在对晶圆切割单一的功能，没有在切割的同时对晶圆进行固定的能力，且现有的切割刀具一般无法根据切割的厚度作出调节且刀具的安装方式较为复杂。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆切割机用切割刀具，通过设置定位机构和调节机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆切割机用切割刀具，包括紧固箱、定位机构和调节机构，所述定位机构和调节机构均固定安装在紧固箱上。
[0006]所述定位机构包括卡接槽块、卡接条、固定筒和限位块，所述紧固箱底板上固定安装有卡接槽块，所述卡接槽块的内部插接有卡接条，所述卡接条底板上固定安装有固定筒，所述固定筒顶板的底面固定安装有压簧，所述压簧的底端固定安装有限位块，所述限位块的底端位于固定筒外。
[0007]所述调节机构包括第一轴承、滑轨、紧固块、限位螺栓和固定板，所述紧固箱对应两侧板的内表面之间转动安装有螺纹杆，所述螺纹杆的外壁螺纹安装有两个螺纹筒，所述紧固箱顶板的底面固定安装有滑轨，所述滑轨的内部滑动安装有两块第一滑块，两块所述第一滑块的底端均固定连接在对应螺纹筒的顶部，两块所述螺纹筒的底部均固定安装有紧固块，所述紧固块对应的两侧板上均螺纹安装有限位螺栓，两根所述限位螺栓的一端均转动安装有第二轴承，两块所述第二轴承的一侧面均固定连接有紧固板,两个所述紧固板之间设置有刀头，所述刀头远离紧固板的一端向地面延伸并延伸至紧固块外侧。
[0008]为了防止晶圆在切片时跑偏，优选的，所述限位块的数量有两块，两块所述限位块在紧固箱的底板上对称分布。
[0009]为了使螺纹杆能够在紧固箱相互平行的两侧板之间转动，优选的，所述紧固箱对应两侧板的内表面上均固定安装有第一轴承，所述螺纹杆通过两个第一轴承转动安装在紧固箱相互平行的两侧板之间，所述螺纹杆在置于紧固箱外的一端固定连接有旋钮。
[0010]为了使刀头在工作时具有一定缓冲作用，防止对刀头的固定力度过大，导致刀头折断的情况发生，优选的，所述第二轴承的一侧面固定连接有“匚”形块，所述“匚”形块的内
部固定安装有弹簧，所述弹簧的数量有若干根，若干根所述弹簧固定连接有缓冲板，所述缓冲板固定连接有紧固板。
[0011]为了能够对不同尺寸的刀头的顶部进行限位，防止刀头在工作时上下滑动，优选的，所述固定板的底板上开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动安装有第二滑块，所述第二滑块的底端固定连接有紧固板。
[0012]为了使两个螺纹筒在螺纹杆上水平相对移动，优选的，所述螺纹杆的外表面设置有相反的螺纹，所述紧固箱的底板上贯穿开设有通槽，两块所述刀头位于两块限位块的上方。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014](1)本技术包含有定位机构，通过设置卡接槽块、卡接条、压簧和限位块的相互配合使用，可以在切割在进行晶圆切片的同时，对晶圆进行固定，防止晶圆跑偏，相较于传统的贴附胶膜固定，大大节省了切割成本，且该装置安装和拆卸十分方便；
[0015](2)本技术包含有调节机构，通过设置螺纹杆、螺纹筒和滑轨的相互配合使用，可以调节两个刀头之间的距离，满足不同尺寸的晶圆切片需求，且通过设置限位螺栓、第二轴承、紧固板和固定板的相互配合使用，可以实现对刀头的快速安装，且可以根据刀头的尺寸进行调节，满足不同型号刀头的固定安装。
附图说明
[0016]图1为本技术的主视剖视结构示意图；
[0017]图2为本技术的紧固块右视剖视结构示意图；
[0018]图3为本技术的图1中A处局部放大结构示意图；
[0019]图4为本技术的卡接槽块和卡接条连接处立体结构示意图。
[0020]图中：1、紧固箱；2、第一轴承；3、螺纹杆；4、螺纹筒；5、滑轨；6、第一滑块；7、紧固块；8、限位螺栓；9、第二轴承；10、“匚”形块；11、弹簧；12、紧固板；13、固定板；14、刀头；15、卡接槽块；16、卡接条； 17、固定筒；18、压簧；19、限位块。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例一：
[0023]根据图1
‑
4，一种晶圆切割机用切割刀具，包括紧固箱1、定位机构和调节机构，定位机构和调节机构均固定安装在紧固箱1上。
[0024]定位机构包括卡接槽块15、卡接条16、固定筒17和限位块19，紧固箱 1底板上固定安装有卡接槽块15，卡接槽块15的内部插接有卡接条16，卡接条16底板上固定安装有固定筒17，固定筒17顶板的底面固定安装有压簧18，压簧18的底端固定安装有限位块19，限位块19的底端位于固定筒17外。
[0025]当在进行晶圆切片时，通过卡接槽块15上开设的凹槽将卡接条16插入，即可完成
对固定筒17的固定，可以在切割在进行晶圆切片的同时，对晶圆进行固定，防止晶圆跑偏，相较于传统的贴附胶膜固定，大大节省了切割成本，且该装置安装和拆卸十分方便。
[0026]为了防止晶圆在切片时跑偏，具体地，限位块19的数量有两块，两块限位块19在紧固箱1的底板上对称分布。
[0027]实施例二：
[0028]根据图1
‑
4，一种晶圆切割机用切割刀具，包括紧固箱1、定位机构和调节机构，定位机构和调节机构均固定安装在紧固箱1上。
[0029]调节机构包括第一轴承2、滑轨5、紧固块7、限位螺栓8和固定板13，紧固箱1对应两侧板的内表面之间转动安装有螺纹杆3，螺纹杆3的外壁螺纹安装有两个螺纹筒4，紧固箱1顶板的底面固定安装有滑轨5，滑轨5的内部滑动安装有两块第一滑块6，两块第一滑块6的底端均固定连接在对应螺纹筒 4的顶部，两块螺纹筒4的底部均固定安装有紧固块7，紧固块7对应的两侧板上均螺纹安装有限位螺栓8，两根限位螺栓8的一端均转动安装有第二轴承 9，两块所述第二轴承9的一侧面均固定连接有紧固板12,两个所述紧固板12 之间设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割机用切割刀具，其特征在于：包括紧固箱(1)、定位机构和调节机构，所述定位机构和调节机构均固定安装在紧固箱(1)上；所述定位机构包括卡接槽块(15)、卡接条(16)、固定筒(17)和限位块(19)，所述紧固箱(1)底板上固定安装有卡接槽块(15)，所述卡接槽块(15)的内部插接有卡接条(16)，所述卡接条(16)底板上固定安装有固定筒(17)，所述固定筒(17)顶板的底面固定安装有压簧(18)，所述压簧(18)的底端固定安装有限位块(19)，所述限位块(19)的底端位于固定筒(17)外；所述调节机构包括第一轴承(2)、滑轨(5)、紧固块(7)、限位螺栓(8)和固定板(13)，所述紧固箱(1)对应两侧板的内表面之间转动安装有螺纹杆(3)，所述螺纹杆(3)的外壁螺纹安装有两个螺纹筒(4)，所述紧固箱(1)顶板的底面固定安装有滑轨(5)，所述滑轨(5)的内部滑动安装有两块第一滑块(6)，两块所述第一滑块(6)的底端均固定连接在对应螺纹筒(4)的顶部，两块所述螺纹筒(4)的底部均固定安装有紧固块(7)，所述紧固块(7)对应的两侧板上均螺纹安装有限位螺栓(8)，两根所述限位螺栓(8)的一端均转动安装有第二轴承(9)，两块所述第二轴承(9)的一侧面均固定连接有紧固板(12),两个所述紧固板(12)之间设置有刀头(14)，所述刀...

【专利技术属性】
技术研发人员：申振，周子林，苑利改，
申请(专利权)人：山东康姆微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：