【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及非接触支承与输送平台以及处理工具，具体涉及利用以支承和输送扁平物体如硅片或平板显示器(FPD)(但不必局限于薄或扁平物体)的平台，这种平台有效地利用了基于同类射流元件的在下面称之为“流体性回动弹簧”的气垫，以提高性能的非接触平台与处理工具。
技术介绍
近年来，于制造过程中在选择性地采用非接触设备来支承、保持或输送产品方面已给予了极大的重视。特别是，这种非接触设备对于在生产中极易受到直接接触影响的高科技工业而言，成为需要。这在半导体工业中，于硅片、平板显示器(FPD)与印刷电路板(PCB)以及计算机的硬盘、激光唱盘(CD)、DVD、液晶显示器(LCD)和类似产品的制造阶段，是至关重要的。非接触设备也能有益地用于光学设备的制造阶段和用于印刷领域，这主要是用于与纸无关的宽格式印刷中，印刷是在各种“硬”材料上进行的情形。通过采用非接触设备，与制造步骤有关的许多问题便可以解决。同时还直接提高了成品率。不降低普遍性，采用非接触系统的某些优点特别包括有(a)消除了或大大减少了机械损伤，例如包括碰撞、压迫，而最为重要的会涉及到任何摩擦所致的损伤。在非接触系统中...
【技术保护点】
借助气垫感生的力来无接触地支承一静止的或行进中的物体的非接触支承平台，此平台包括：两个基本上相对的支承表面中的至少一个，各支承表面包括具有多个压力出口中至少之一和多个抽空通道中至少之一的一批基本单元中的至少一个，多个出口中的至少一个，以及多个抽空通道中的一个，各压力出口通过压力限流器与高压储器流体连通，这些压力出口提供加压空气用于生成压力感生的力，于物体和支承表面间保持一气垫，此压力限流器特征性地显示出流动性回动弹簧行为；所述多个抽空通道中的至少一个的每个都具有入口与出口，此入口在真空条件下保持一环境压力或更低的压力，用于局部排出质量流，从而获得均匀一致的支承与局部性质响应。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：尤瓦尔亚索，希勒尔赖西曼，丹尼尔莱文，
申请(专利权)人：考夫乐科学方案有限公司，
类型：发明
国别省市：IL[以色列]
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