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高性能非接触支承平台制造技术
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文档序号:3239145
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借助气垫感生的力来无接触地支承一固定的或行进中的物体的非接触支承平台,此平台包括:两个基本上相对的支承表面中的至少一个,各支承表面包括具有多个压力出口中至少之一和多个抽空通道中至少之一的一批基本单元中的至少一个、多个出口中的至少一个,以及多...
该专利属于考夫乐科学方案有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过考夫乐科学方案有限公司授权不得商用。
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