用于形成铁电薄膜的组合物、铁电薄膜及其制造方法、液体喷射头技术

提供了一种用于形成铁电薄膜的组合物，其是一种可应用于ＭＯＤ法的、可长期维持有机金属化合物的优异的分散稳定性及储存稳定性的胶体状溶液；一种铁电薄膜；一种制造铁电薄膜的方法；以及一种液体喷射头。在根据ＭＯＤ法形成铁电薄膜时使用一种用于形成铁电薄膜的组合物，所述组合物由可应用于ＭＯＤ法的胶体状溶液制成，所述胶体状溶液包括包含构成铁电薄膜的金属的有机金属化合物，所述组合物包含非所述有机金属化合物中的结晶水的水。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于根据MOD(金属有机沉积)法来形成铁电薄膜的用于形成铁电薄膜的组合物、铁电薄膜、制造铁电薄膜的方法、及液体喷射头。
技术介绍
包含以锆钛酸铅(PZT)等为代表的晶体的铁电薄膜具有自发极化、较高介电常数、光电效应、压电效应、及热电效应等，并因此广泛应用于包含压电元件的器件开发。同时，作为形成这种铁电薄膜的方法，已知诸如MOD法、溶胶凝胶法、CVD(化学气相沉积)法、以及溅射法。具体而言，MOD法及溶胶凝胶法具有可容易地以较低成本形成铁电薄膜的优势。在根据MOD法形成铁电薄膜时，通常通过在乙醇中溶解诸如金属醇盐的有机金属化合物、在对象物上涂覆通过向其加入水解抑制剂而获得的胶体状溶液、并干燥并烧结对象物上的溶液来形成该膜。同时，在根据溶胶凝胶法形成铁电薄膜时，该方法与MOD法相类似地来形成膜，不同之处在于该方法应用通过将有机金属化合物溶解在醇中、并通过在向其加入所需的最小量的水的同时使该有机金属化合物溶液水解并发生缩聚反应所得到的胶体状溶液(例如参考专利文献1)。以下将详述应用MOD法及溶胶凝胶法来制造铁电薄膜的方法。通过使用诸如干燥氮气的干燥惰性气体(输送气体)，储本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于形成铁电薄膜的组合物，所述组合物由可应用于金属有机沉积法的胶体状溶液制成，所述胶体状溶液包括包含构成铁电薄膜的金属的有机金属化合物，所述组合物至少包括：非所述有机金属化合物中的结晶水的水。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：角浩二，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]