一种粉尘收集角阀制造技术

本实用新型专利技术涉及光伏、半导体制造技术领域，具体为一种粉尘收集角阀，其能够方便实现粉尘的收集与清理，减少维护保养周期，其包括角阀壳体，所述角阀壳体上端安装有压紧气缸，所述压紧气缸的活塞杆上安装有密封阀板、下端开设有第一真空吸入口、一侧开设有第二真空吸入口，其特征在于，所述角阀壳体另一侧开设有粉尘收集口，所述粉尘收集口与所述第二真空吸入口位置相对设置，所述粉尘收集口处安装有倾斜向下布置的粉尘收集腔，所述粉尘收集腔的倾斜底部安装有可拆卸的盖板。斜底部安装有可拆卸的盖板。斜底部安装有可拆卸的盖板。

【技术实现步骤摘要】
一种粉尘收集角阀


[0001]本技术涉及光伏、半导体制造
，具体为一种粉尘收集角阀。

技术介绍

[0002]在光伏、半导体行业中，为满足晶圆生产制程中需要使用大量的工艺设备，这些设备在生产过程中，必须要用到真空系统，其中角阀是必须应用到的。在真空系统中粉尘对设备的真空发生装置即真空泵的危害非常大，粉尘会随着气流经过角阀进入真空泵，容易导致真空泵卡死，无法工作，因此经常需要停机拆卸进行维护保养。

技术实现思路

[0003]为了解决现有粉尘容易进入真空泵导致卡死，需要经常停机进行拆卸维护的问题，本技术提供了一种粉尘收集角阀，其能够方便实现粉尘的收集与清理，减少维护保养周期。
[0004]其技术方案是这样的：一种粉尘收集角阀，其包括角阀壳体，所述角阀壳体上端安装有压紧气缸，所述压紧气缸的活塞杆上安装有密封阀板、下端开设有第一真空吸入口、一侧开设有第二真空吸入口，其特征在于，所述角阀壳体另一侧开设有粉尘收集口，所述粉尘收集口与所述第二真空吸入口位置相对设置，所述粉尘收集口处安装有倾斜向下布置的粉尘收集腔，所述粉尘收集腔的倾斜底部安装有可拆卸的盖板。
[0005]其进一步特征在于，所述角阀壳体包括两端开口的筒体，所述筒体上下两端分别连接上法兰板和下法兰板，所述第一真空吸入口开设于所述下法兰板上，所述压紧气缸的缸体固定于所述上法兰板上端面，所述压紧气缸的活塞杆贯穿所述上法兰板伸入所述角阀壳体内，所述密封阀板与所述上法兰板底部之间通过伸缩波纹管连接；
[0006]所述粉尘收集腔的倾斜底部为法兰盘，所述盖板为法兰盖板。
[0007]采用本技术后，从第二真空吸入口进来的粉尘在惯性作用下会积聚到粉尘收集腔内，不会随着气流进入第一真空吸入口而进入真空泵，维护时操作人员只需要打开粉尘收集腔的盖板进行清理即可，操作简单免除拆角阀等工作，大大提高维护保养的效率和周期。
附图说明
[0008]图1为本技术结构示意图。
具体实施方式
[0009]见图1所示，一种粉尘收集角阀，其包括角阀壳体1，角阀壳体1上端安装有压紧气缸2，压紧气缸2的活塞杆上安装有密封阀板3、下端开设有第一真空吸入口4、一侧开设有第二真空吸入口5，角阀壳体1另一侧开设有粉尘收集口6，粉尘收集口6与第二真空吸入口5位置相对设置，粉尘收集口6处安装有倾斜向下布置的粉尘收集腔7，粉尘收集腔7的倾斜底部
安装有可拆卸的盖板8。第一真空吸入口4与真空泵连接，第二真空吸入口5与设备连接。
[0010]角阀壳体1包括两端开口的筒体，筒体上下两端分别焊接上法兰板9和下法兰板10，第一真空吸入口4开设于下法兰板10上，压紧气缸2的缸体固定于上法兰板9上端面，压紧气缸2的活塞杆贯穿上法兰板9伸入角阀壳体1内，密封阀板3与上法兰板9底部之间通过伸缩波纹管11连接，可以随着活塞杆的伸缩而伸缩变形，同时保证粉尘不会进入到压紧气缸2内。
[0011]粉尘收集腔7的倾斜底部为法兰盘12，盖板12为法兰盖板，拆卸和安装都比较方便。
[0012]在真空系统工作的时候，从第二真空吸入口5进入的粉尘会通过惯性积聚到粉尘收集腔7内，在维护时操作人员只需要打开粉尘收集腔7的盖板8进行清理即可，免除拆角阀等工作，维护简单，大大提高维护保养的周期，降低维护人员的技术要求。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种粉尘收集角阀，其包括角阀壳体，所述角阀壳体上端安装有压紧气缸，所述压紧气缸的活塞杆上安装有密封阀板、下端开设有第一真空吸入口、一侧开设有第二真空吸入口，其特征在于，所述角阀壳体另一侧开设有粉尘收集口，所述粉尘收集口与所述第二真空吸入口位置相对设置，所述粉尘收集口处安装有倾斜向下布置的粉尘收集腔，所述粉尘收集腔的倾斜底部安装有可拆卸的盖板。2.根据权利要求1所述的一种粉尘收集角阀，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：宣荣卫，吴何军，
申请(专利权)人：艾华无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：