【技术实现步骤摘要】
本技术是一种真空设备,特别是涉及一种安装在真空设备的真 空腔体上、且用于感测其内真空容室的物性的真空设备的感测装置。
技术介绍
在半导体相关制程中,许多制程都需要使用到真空设备,而且随着 制程的不同,所设定的真空条件也会有所不同,因此,真空设备必须在 真空腔体上装设感测元件,以随时监控其内的容室环境。目前在设计上一般是将感测元件安装在真空腔体内,令感测元件直 接感测容室环境内的物性。然而,由于大部分制程都必须将电浆或气体 通入真空腔体中,让容室充满电浆或气体以作用处理,但是因此也会使 得感测元件身处在电浆或气体中,容易被污染或侵蚀,往往导致感测结 果失真,甚至会造成感测元件损毁,使用寿命较短,而且也不易于调整 换装,所以前述感测装置的设计不够理想。
技术实现思路
本技术的主要目的在于,提供一种将感测元件安装在真空腔体 外,以具有较准确的感测结果,也利于调整换装的真空设备的感测装置。本技术的 一种感测装置安装在一真空设备中,该真空设备包含 一界定出一真空容室的真空腔体,该真空腔体具有一贯穿内、外壁面的安装孔,而该感测装置包含 一安装单元、 一隔离件、 一衔接单元及一 感测元件。该安装单元气密地安装在所述真空腔体的安装孔中,并包括 一沿其长向延伸贯穿且连通真空容室的通道。该隔离件安装在该安装单 元的通道远离真空容室的外端上,用于阻隔通道使其不与外界连通。该衔接单元固定地安装在该安装单元与隔离件的外侧面上,且用于将隔离 件定位在安装单元上。该感测元件固定地安装在该衔接单元上,且能透 过隔离件感测到与真空容室连通的通道内的物性。本技术的有益效果在于将感测元件安装在真空腔 ...
【技术保护点】
一种真空设备的感测装置,所述真空设备包含一个界定出一个真空容室的真空腔体,所述真空腔体具有一个贯穿内、外壁面的安装孔,其特征在于,所述感测装置包含:一个安装在安装孔中且包括一个连通真空容室的通道的安装单元、一片安装在通道远离真空容室的外端上且用于阻隔在通道与外界之间的隔离件、一个安装在安装单元与隔离件的外侧面上且用于将隔离件定位在安装单元上的衔接单元、及一个安装在衔接单元上且能透过隔离件感测通道内部的感测元件。
【技术特征摘要】
1.一种真空设备的感测装置,所述真空设备包含一个界定出一个真空容室的真空腔体,所述真空腔体具有一个贯穿内、外壁面的安装孔,其特征在于,所述感测装置包含一个安装在安装孔中且包括一个连通真空容室的通道的安装单元、一片安装在通道远离真空容室的外端上且用于阻隔在通道与外界之间的隔离件、一个安装在安装单元与隔离件的外侧面上且用于将隔离件定位在安装单元上的衔接单元、及一个安装在衔接单元上且能透过隔离件感测通道内部的感测元件。2. 根据权利要求1所述的真空设备的感测装置,其特征在于所述 安装单元还包括一个由外往内插接在所述安装孔中的螺栓、 一个螺接在 所述螺栓伸入真空容室的一段上的螺帽、及一片安装在螺帽与真空腔体 的内壁面之间的安装垫片,所述螺栓具有一穿伸在所述安装孔中的螺身 及一个同体自所述螺身伸出安装孔的 一段径向往外凸扩的螺头,所述通道贯穿所述螺身及螺头,而所述螺头抵靠在真空腔体的外壁面上,并具 有一个凹设在外侧面上且连通该通道的容槽,所述隔离件安装在所述容槽中。3. 根据权利要求1所述的真空设备的感测装置,其特征在于所述 感测装置还包含多个用于防止气体进出真空容室的气封件,这些气封件 分别安装在...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄泳钊,许三益,郑博仁,
申请(专利权)人:北儒精密股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:71[中国|台湾]
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