【技术实现步骤摘要】
本技术涉及焊线机,尤其涉及一种可提高识别精准度的焊线机。
技术介绍
在半导体制造领域,当通过前道工艺在晶圓上制成晶粒(die)后,还需要 通过切割工艺将晶圓切割为单个的晶粒,之后再通过封装工艺将该些晶粒封装 形成可直接使用的芯片。在进行晶粒的封装时,先提供与晶粒配套的导线架, 之后将晶粒通过银环氧胶粘固在导线架的晶座上,然后将导线架连同晶粒设置 在焊线机上进行焊接。参见图1,其显示了现有技术中的焊线机的组成结构,如图所示,现有技术 中的焊线机具有机架10和设置在机架10上用于设置导线架的作业台11,该作 业台11具有作业区110,该作业区110上架设有影像识别模块12,该机架10 上还设置有用于照亮作业台11的机台照明模块13。在如图1所示的焊接机上进 行焊接作业时,先将粘固有晶粒的导线架设置在作业台11的作业区IIO上,之 后通过影像识别模块12获取晶粒上的金属垫的位置且依照该位置信息将晶粒上 的金属塾与导线架上的金属垫通过金属导线(通常使用金导线或铝导线)连接。但是,上述影像识别模块12在获取晶粒上的金属垫信息时,机台照明模块 13所提供的光不明亮,从而造 ...
【技术保护点】
一种可提高识别精准度的焊线机,其具有一机架和一设置在机架上用于设置导线架的作业台,该作业台具有一作业区,该作业区上架设有一影像识别模块,其特征在于,该焊线机还在作业区与影像识别模块间设置有一框形照明模块,该框型照明模块的中心轴线与作业区内的晶座的中心轴线重合,该框架照明模块的内框大于该导线架上的晶座。
【技术特征摘要】
1、一种可提高识别精准度的焊线机,其具有一机架和一设置在机架上用于设置导线架的作业台,该作业台具有一作业区,该作业区上架设有一影像识别模块,其特征在于,该焊线机还在作业区与影像识别模块间设置有一框形照明模块,该框型照明模块的中心轴线与作业区内的晶座的中心轴线重合,该框架照明模块的内框大于该导线架上的晶座。2、 如权利要求1所述的可提高识别精准度的焊线机,其特征在于,该框形 照明模块距离该作业台的距离为15至20毫米。3、 如权利要求1所述的可提高识别精准度的焊线机...
【专利技术属性】
技术研发人员:李常文,王利,
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造上海有限公司,
类型:实用新型
国别省市:31[中国|上海]
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