一种石英管拆装辅助治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石英管拆装辅助治具，包括托盘和连接支架，其特征在于托盘由基座、中间层和支撑层组成，中间层相对于基座可横向滑动，支撑层相对于中间层可纵向滑动。中间层安装有一个横向调节手轮控制中间层的横向移动，支撑层安装有一个纵向调节手轮控制支撑层的纵向移动。托盘底部安装有三个水平调节手轮调节托盘的水平。本实用新型专利技术的石英管拆装辅助治具可在水平和纵横三个方向移动调节石英管的相对位置，能更好的保护石英管且能提高预防维护过程中石英管的拆装速度。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种石英管拆装辅助治具，包括托盘和连接支架，其特征在于，托盘和连接支架间通过水平调节手轮连接并通过水平调节手轮调节保持托盘的水平。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：毛志刚，王刚，吴雨强，高文良，李瑞秋，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]