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本实用新型公开了一种石英管拆装辅助治具，包括托盘和连接支架，其特征在于托盘由基座、中间层和支撑层组成，中间层相对于基座可横向滑动，支撑层相对于中间层可纵向滑动。中间层安装有一个横向调节手轮控制中间层的横向移动，支撑层安装有一个纵向调节手轮控...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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