【技术实现步骤摘要】
该专利技术属于半导体器件表面处理方法。剖析集成电路芯片,对版形进行分析,从而获得电路的设计构思,线路图,探讨光刻掩膜版图的合理性,对优化设计,缩短设计周期,加速集成电路新品开发是一条捷径。离子注入掺杂区域的平面结构显示技术也是电路剖析技术之一。这是集成电路版面分析前必不可少的重要手段。传统的集成电路掺杂工艺采用扩散方法。扩散的结果是,在芯片的表面将留下各道扩散时在光刻氧化层“窗口”的图形。其边缘有氧化层台阶。从“窗口”不同氧化层颜色可以判断不同的扩散区域,如基区、发射区、电阻区等等。随着集成电路向高速、低耗、大规模、高集成度方向发展,掺杂工艺逐渐由离子注入工艺所代替。无论是MOS电路,还是双极型电路都这样。离子注入掺杂工艺可以用光刻胶做掩蔽,掺杂离子能穿透薄氧化层,进行定域掺杂。但掺杂区边缘就不存在氧化层台阶,一旦注入完毕,去除光刻胶后,在芯片表面则不会留下任何光刻过的图形。这样,用离子注入制备的全离子注入晶体管、高阻值电阻等在集成电路芯片上都看不见,看不到基区、发射区及电阻,只留下电极引出的引线孔(或称电极接触孔)。对这类版面要进行分析是根本不可能的。附图说明图1是去除金属布线后的AM2901微处理器芯片局部照片。该电路有2000多个离子注入工艺制备的电阻。A1是一个电阻隔离岛,仅看到电阻端头,不见电阻图形。图3是SNALSTTL芯片局部照片。该电路由于采用全离子注入工艺,故看不出电阻和晶体管,只看见引线孔,其中A2、A3是二个电阻隔离岛,B1、B2是两个特殊结构管子。这一问题的存在,给芯片剖析工作增加了不少困难。据了解,有不少单位都在研究剖析工艺,但是有 ...
【技术保护点】
离子注入掺杂区域平面显示方法,其特征在于,所用显示液需由二次配制而成:(1)取下述比例的三氧化铬与水,配成贮存溶液:CrO↓[3]:H↓[2]O=0.4~0.6(克/毫升)(2)取0.5~2单位体积贮存液与1单位体积浓度为40% 的氢氟酸(HF),配成显示溶液。
【技术特征摘要】
1.离子注入掺杂区域平面显示方法,其特征在于,所用显示液需由二次配制而成(1)取下述比例的三氧化铬与水,配成贮存溶液CrO3∶H2O=0.4~0.6(克/毫升)(2)取0.5~2单位体积贮存液与1单位体积浓度为...
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