【技术实现步骤摘要】
一种加热器水平调节装置
[0001]本技术涉及半导体集成电路制造领域，尤其涉及一种加热器水平调节装置。
技术介绍
[0002]半导体集成电路制造技术代表着当今世界微细制造的最高水平，制造工艺复杂且对成品的要求精度高，而在半导体制造过程中，工艺腔体成膜时，往往需要对膜厚均匀性进行调整，而调整方式通常是通过对加热器水平调节装置进行调节来调整膜厚均匀性。在现有技术中，化学气相沉积设备中的加热器水平调节装置通常为利用2颗螺丝固定调节装置，通过调节所述螺丝来达到改善膜厚均匀性。根据数据分析，每次基本需要调节1个螺丝的一部分，但对于具体调节数值，操作人员在调节过程中不好掌控力度，容易调节不精确出现失误，无法有效的调节至需要的数值，从而导致设备反复调机，影响复机效率和膜厚均匀性。
[0003]因此，如何提供一种加热器水平调节装置，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种加热器水平调节装置，以改善现有技术存在的当对膜厚均匀性进行调整...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种加热器水平调节装置，所述加热器水平调节装置具有一平台，所述平台上具有螺栓连接孔，其特征在于，所述加热器水平调节装置包括刻度显示尺、屏幕数显、螺栓和螺母；其中，所述螺栓连接所述螺栓连接孔、所述刻度显示尺和所述螺母；所述螺栓的螺头朝下；所述刻度显示尺和所述螺母位于所述螺栓的螺头和所述平台之间；所述屏幕数显用于显示所述刻度显示尺上数值变化。2.如权利要求1所述的一种加热器水平调节装置，其特征在于，所述刻度显示尺位于所述螺母上方。3.如权利要求1所述的一种加热器水平调节装置，其特征在于，所述屏幕数显位于所述刻度显示尺上方。4.如权利要求1所述的一种加热器水平调节装置，其特征在于，所述刻度显示尺与所述螺母固定连接。5.如权利要求1所述的一种加热器水平调节装置，其特征在于，所述螺母与所述刻度显示尺为圆柱体，所述螺母的外径大于所述刻度显示尺的外径。6.如权利要求5所述的一种加热器水平调节装置，其特征在于，沿所述刻度显示尺的周向方向设置有等距离的小格，且每四个所述小格为一大格。7.如权利要求6所述的一种加热器水平调节装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈孝清，秦许龙，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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