一种用于溅射靶材的加工设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于溅射靶材的加工设备，涉及到靶材加工设备领域，包括机座、靶材固定组件和喷砂组件，机座的工作台面上设有靶材固定组件，机座上方设有喷射组件，喷射组件设置在靶材固定组件的正上方。本实用新型专利技术中，靶材固定组件能够根据所加工的靶材的类型、尺寸大小进行配适固定，再由喷砂组件对其进行全面、均匀的自动喷砂处理，效率高；由喷砂装置对靶材喷砂后的砂粒掉落至集砂槽中，且最后在排砂内腔内部沉积，此时通过控制排砂电机对排砂转轴进行驱动，使排砂转轴外壁所设的导砂叶片对沉积的砂粒进行导料，且沿排砂口处排出，方便进行回收收集。方便进行回收收集。方便进行回收收集。

【技术实现步骤摘要】
一种用于溅射靶材的加工设备


[0001]本技术涉及靶材加工设备领域，特别涉及一种用于溅射靶材的加工设备。

技术介绍

[0002]在对溅射靶材的加工过程中，为了解决靶材表面粗糙度处理问题，会采用将沙粒喷涂在备管外表面并增加其表面的粗糙度，喷涂过程通常由手工操作，不仅增加了操作人员的劳动强度，而且由于操作人员熟练度的不同，致使备管表面粗糙度不均匀；对喷涂后的沙粒收集回收也是需要处理的一大问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于溅射靶材的加工设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于溅射靶材的加工设备，包括机座、靶材固定组件和喷砂组件，所述机座的工作台面上设有靶材固定组件，靶材固定组件包括固定于机座的工作台面上的固定转接座和辅助支撑座，固定转接座和辅助支撑座之间连接有调距杆组，且调距杆组上连接有变位转接座，所述固定转接座、变位转接座上端内侧均通过转轴转接有对称设置的靶材夹具，所述机座上方设有喷射组件，喷砂组件包括固定于机座两侧的喷砂主支柱，两个喷砂主支柱的上端之间连接有横移杆组，横移杆组上连接有喷砂装置，喷砂装置底部设有喷砂嘴，且喷砂装置底部所设的喷砂嘴设置在靶材固定组件的正上方。
[0005]优选的，所述调距杆组由相平行的滑轴和丝杆组成，调距杆组中丝杆的一端与调距电机的输出轴联接，调距电机通过螺栓固定于机座的工作台面上。
[0006]优选的，所述固定转接座上所设靶材夹具所连接的转轴一端与转向电机的输出轴联接，转向电机通过螺栓固定于机座的工作台面上。
[0007]优选的，所述横移杆组由相平行的滑轴和丝杆组成，横移杆组中丝杆的一端与喷砂主支柱一侧所设的横移变位驱动传动连接。
[0008]优选的，所述机座的上台面且位于固定转接座、辅助支撑座之间开设有集砂槽，集砂槽底部呈倒锥缩口，且集砂槽底部开设有呈圆柱状的排砂内腔，排砂内腔的一端口为贯穿机座的侧壁的排砂口。
[0009]优选的，所述排砂内腔远离排砂口的一侧设有排砂电机，排砂电机的输出轴端贯穿至排砂内腔内部，且排砂电机的输出中端连接有与排砂内腔同轴度设置的排砂转轴，排砂转轴的外壁设有呈螺旋盘绕状的导砂叶片。
[0010]本技术的技术效果和优点：
[0011]1、本技术中，靶材固定组件能够根据所加工的靶材的类型、尺寸大小进行配适固定，再由喷砂组件对其进行全面、均匀的自动喷砂处理，效率高；
[0012]2、本技术中，由喷砂装置对靶材喷砂后的砂粒掉落至集砂槽中，且最后在排
砂内腔内部沉积，此时通过控制排砂电机对排砂转轴进行驱动，使排砂转轴外壁所设的导砂叶片对沉积的砂粒进行导料，且沿排砂口处排出，方便进行回收收集。
附图说明
[0013]图1为本技术结构的立体结构示意图。
[0014]图2为本技术结构的正剖视图。
[0015]图3为图2中A
‑
A处的剖视图。
[0016]图4为图2中B处的放大图。
[0017]图中：1、机座；101、集砂槽；2、固定转接座；201、辅助支撑座；202、变位转接座；3、调距杆组；4、靶材夹具；401、夹槽；5、调距电机；501、转向电机；6、喷砂主支柱；7、横移杆组；701、横移变位驱动；8、喷砂装置；9、排砂内腔；901、排砂口；10、排砂转轴；1001、排砂电机。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]本技术提供了如图1
‑
4所示的一种用于溅射靶材的加工设备，包括机座1、靶材固定组件和喷砂组件，机座1的工作台面上设有靶材固定组件，靶材固定组件包括固定于机座1的工作台面上的固定转接座2和辅助支撑座201，固定转接座2和辅助支撑座201之间连接有调距杆组3，且调距杆组3上连接有变位转接座202，固定转接座2、变位转接座202上端内侧均通过转轴转接有对称设置的靶材夹具4，结合图1和图4所示，靶材夹具4的内端为圆锥体，当对圆管状的靶材进行固定时，由两个靶材夹具4分别沿圆管靶材的两端口插入，直至靶材夹具4的圆锥面与圆管靶材的端口进行配合固定，完成对圆管靶材的固定，如图4所示，靶材夹具4的内端部开设有切面呈倒锥状的夹槽401，当对平板类的靶材进行固定时，将平板类的靶材两侧边缘分别卡在两个靶材夹具4所开设的夹槽401中，从而完成对平板类靶材的固定，调距杆组3由相平行的滑轴和丝杆组成，调距杆组3中丝杆的一端与调距电机5的输出轴联接，调距电机5通过螺栓固定于机座1的工作台面上，由调距电机5控制调距杆组3中丝杆的转动，在丝杆与变位转接座202的螺接关系下，使变位转接座202沿调距电机5中滑轴进行滑移，调节固定转接座2与变位转接座202的间距，即调节两个靶材夹具4之间的间距，固定转接座2上所设靶材夹具4所连接的转轴一端与转向电机501的输出轴联接，转向电机501通过螺栓固定于机座1的工作台面上，由转向电机501与固定转接座2上所连接的靶材夹具4进行驱动旋转，从而可使两个靶材夹具4之间所固定的圆管类靶材进行旋转，或使两个靶材夹具4之间所固定的平板类靶材进行翻面。
[0020]结合图1和图固定转接座2，机座1上方设有喷射组件，喷砂组件包括固定于机座1两侧的喷砂主支柱6，两个喷砂主支柱6的上端之间连接有横移杆组7，横移杆组7上连接有喷砂装置8，喷砂装置8底部设有喷砂嘴，且喷砂装置8底部所设的喷砂嘴设置在靶材固定组件的正上方，横移杆组7由相平行的滑轴和丝杆组成，横移杆组7中丝杆的一端与喷砂主支柱6一侧所设的横移变位驱动701传动连接，由横移变位驱动701对横移杆组7中的丝杆进行
驱动，调节喷砂装置8沿横移杆组7中的滑轴进行横移，使喷砂装置8能够对靶材固定组件上所固定的靶材进行全面的喷砂。
[0021]结合图1、图2和图3所示，机座1的上台面且位于固定转接座2、辅助支撑座201之间开设有集砂槽101，集砂槽101底部呈倒锥缩口，且集砂槽101底部开设有呈圆柱状的排砂内腔9，排砂内腔9的一端口为贯穿机座1的侧壁的排砂口901，排砂内腔9远离排砂口901的一侧设有排砂电机1001，排砂电机1001的输出轴端贯穿至排砂内腔9内部，且排砂电机1001的输出中端连接有与排砂内腔9同轴度设置的排砂转轴10，排砂转轴10的外壁设有呈螺旋盘绕状的导砂叶片，由喷砂装置8对靶材喷砂后的砂粒掉落至集砂槽101中，且最后在排砂内腔9内部沉积，此时通过控制排砂电机1001对排砂转轴10进行驱动，使排砂转轴10外壁所设的导砂叶片对沉积的砂粒进行导料，且沿排砂口901处排出，方便进行回收收集。
[0022]本实用工作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于溅射靶材的加工设备，包括机座(1)、靶材固定组件和喷砂组件，其特征在于：所述机座(1)的工作台面上设有靶材固定组件，靶材固定组件包括固定于机座(1)的工作台面上的固定转接座(2)和辅助支撑座(201)，固定转接座(2)和辅助支撑座(201)之间连接有调距杆组(3)，且调距杆组(3)上连接有变位转接座(202)，所述固定转接座(2)、变位转接座(202)上端内侧均通过转轴转接有对称设置的靶材夹具(4)，所述机座(1)上方设有喷射组件，喷砂组件包括固定于机座(1)两侧的喷砂主支柱(6)，两个喷砂主支柱(6)的上端之间连接有横移杆组(7)，横移杆组(7)上连接有喷砂装置(8)，喷砂装置(8)底部设有喷砂嘴，且喷砂装置(8)底部所设的喷砂嘴设置在靶材固定组件的正上方。2.根据权利要求1所述的一种用于溅射靶材的加工设备，其特征在于：所述靶材夹具(4)的内端为圆锥体，且靶材夹具(4)的内端部开设有切面呈倒锥状的夹槽(401)。3.根据权利要求1所述的一种用于溅射靶材的加工设备，其特征在于：所述调距杆组(3)由相平行的滑轴和丝杆组成，调距杆组(3)中丝杆的一端与调距电机(5)的输出轴联接，调距电机(5)通过螺栓固定于机座(1)的工作台面上...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔伟华，孔磊，
申请(专利权)人：江苏迪纳科精细材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：