【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及SAW器件。说的更详细些，涉及SAW器件的叉指式换能器(interdigital transducer)电极。一般说来，SAW器件在压电基板的表面上以梳状设置由铝膜构成的电极以形成叉指式换能器部分并构成滤波器和谐振器。近年来，随着移动体通信的高频化，人们渴望SAW器件的工作频率在高频化为从几百MHz到几个GHz的同时还要有高功率。由于高频化，叉指式换能器电极的图形的宽度也要微细化，在中心频率为1.5GHz带的滤波器中，必须把电极线宽形成为约0.7μm。当给这样形成的微细线宽的SAW器件加上大的功率时，弹性表面将所产生出的畸变在电极膜上产生应力，当该应力超过了电极膜的临界应力时，本身就是电极材料的铝原子就在晶粒边界上移动，结果是产生突起和空隙，使电极受到破坏，SAW器件的特性劣化。对于这样一些问题，正如日本专利昭61-47010号特许公报中所记载的那样，把已掺入铜的铝合金膜用作电极材料，这样所作成的器件与单纯的铝膜相比可以承受大的外加功率。另外，还可以再掺入钛、镍、钯等等来强化电极膜。但是，在上述现有的技术中，对于为了使用于携带电话的发射波段所必...
【技术保护点】
一种ＳＡＷ器件，其特征是： 至少具有压电体基板和设于该压电体基板的表面上边的叉指式换能器电极， 上述叉指式换能器电极被构成为使铝膜和由其弹性系数比铝膜大的导电体材料构成的膜交互地进行叠层， 且由上述导电体材料构成的膜及上述铝膜的叠层数目各为２层以上。
【技术特征摘要】
JP 1995-9-1 224855/951.一种SAW器件，其特征是至少具有压电体基板和设于该压电体基板的表面上边的叉指式换能器电极，上述叉指式换能器电极被构成为使铝膜和由其弹性系数比铝膜大的导电体材料构成的膜交互地进行叠层，且由上述导电体材料构成的膜及上述铝膜的叠层数目各为2层以上。2.权利要求1中所述的SAW器件，其特征是上述铝膜的各层的厚度小于150nm，而且，由其弹性系数比铝膜大的上述导电体材料构成的膜的各层的厚度比上述铝膜的厚度薄。3.权利要求1所述的SAW器件，其特征是上述叠层后的电极的最表面层是铝膜，而且其膜厚小于50n...
【专利技术属性】
技术研发人员：高山他，仓增敬三郎，须川俊夫，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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