生产半导体器件的超净车间制造技术

一种与缩短ＴＡＴ要求相适应的高传送能力的半导体器件超净车间。在超净车间中，在地板上的生产区中排列包括各种生产半导体器件的制造设备和测量设备的生产设备，净化空气从生产区的天花板侧送入，然后为循环空气，使空气通过地板上排气孔回流到地板下的区域。在地板下的空气回流区中形成有各生产设备之间传送产品母体的传送路线。通过地板上孔口实现传送装置和生产区之间产品母体的输送。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及安装用来生产半导体器件的生产设备例如各种制造设备和测量设备的生产半导体器件的超净车间或超净室。相关技术的描述众所周知，在安装各种制造工艺(湿法工艺、干法工艺、氧化、光刻、离子注入等等)中使用的制造设备和用来作质量控制测试中各种测量方法的测量设备的超净车间内生产半导体器件。在参考文献1，由日本工业出版株式会社(Japan Industrial Publication Inc.)出版的超净技术、1997年第七卷第一期(CLEAE TECHNOLOGY，1997，Vol.7，No.1)和参考文献2，1996年12月3日日本300毫米半导体技术会议(J300)，辅助讲义“设计300毫米薄片流水线的集成电路工厂标准化研究，第9页到第10页”(ICs Factory Design for 300mm Wafer LineStandardizing Dtudy P9 To 10)中描述了这样的超净车间的实例。在这样的超净车间中，通常安装制造设备和测量设备。换言之，为了在这些生产设备之间传送尚未制成半导体器件的产品母体例如薄片而安装自动传送系统。附图说明图1A和图1B分别表示已使用这种类型的自动传送系统的超净车间的实例。在这些附图中，标记数词1表示超净车间。如平面视图1A所示，在这样的超净车间1中设置许多生产设备2，其中每一台生产设备2是由制造设备和测量设备组成而且在生产设备的前面，也就是在产品母体装入/取出旁侧(未表示出)提供工人通行和在此工作的超净隔间3。在这样的超净车间1中，如侧视剖面图1B所示，在天花板表面上安装空气过滤器4，因而用未表示出的鼓风机从天花板表面的后面通过空气过滤器4把净化空气输送到超净车间内的生产区5，使流过生产区5的净化空气通过在地面上形成的排气孔流入在地面下面的空气回流区6并且这些空气用鼓风机再循环到天花板后面。在上述的超净车间1中，由架空轨道运行型传送系统和自动导向运载器(AGV)7组成前面描述过的自动传送系统。如图1A和图1B所示，为了在超净隔间3之间也就是在各个工艺之间传送产品母体而设置架空轨道运行型传送系统。如图1B所示，在天花板侧高处装有的运行轨道8和在该轨道8上运行的载物架9组成传送系统。如图1A所示，自动导向运载器7离开运行轨道8侧在超净隔间3内行驶来回移动的路线，就是在工艺范围内传送产品母体。此外，如图1A所示，在这样的自动传送系统中，为了在使产品母体从载物架9转换到自动导向运载器7以前一次储存产品母体，在比运行轨道8稍低处还安装储料器10。就半导体器件而论，近年来，少品种、大批量生产体系趋向于转换成多品种、小批量生产体系，而近来由于薄片直径增大并且加之缩短TAT(转向时间)的要求增高，所以薄片在小批量的设备中加工，因而近来以小批量传送产品母体。如上所述，这些年来由于小批量传送产品母体，所以在超净车间1中产品母体的传送频率也增高。为此，尝试各种方法来提高与传送频率增高和缩短TAT的要求相适应的传送能力。例如，为了提高传送能力，尝试了二路或四路或更多路运行轨道8以实现多路传送运行轨道8环路。并且为了提高工艺中传送能力，也尝试了采用高速自动导向运载器。然而，在缩短TAT的要求更进一步增高的情况下越来越需要提高传送能力。但是，由于通过在安装许多生产设备2的生产区5内的自动导向运载器7和载物架9传送产品母体，所以由于传送路线上的限制造成相关技术中的自动传送系统不能缩短传送距离，此外因为在超净车间1中自动传送系统的占地面积增大所以难以提高其传送能力。考虑上述背景而提出了本专利技术，所以本专利技术的目的是提供进一步提高与缩短TAT的要求等等相适应的传送能力的生产半导体器件的超净车间。如将在权利要求1中所述，在生产区的地面上排列包括各种生产半导体器件的制造设备和测量设备的生产设备的生产半导体器件的超净车间中，从生产区的天花板侧面送入净化空气，空气经由在地面上形成的排气孔流入在地面下面的区域，然后这些空气循环到天花板后面，在为了回流生产区中的空气而在地面下面形成的空气回流区中形成在生产设备之间传送半导体器件产品母体的传送系统的传送路线，因而经由在地面上形成的孔口在传送系统和生产区之间互换产品母体。根据这样的生产半导体器件的超净车间，由于在地面下面的空气回流区中形成传送半导体器件产品母体的传送系统的传送路线，所以可以增大传送路线的自由度，能够缩短传送时间，就是说，例如通过采用穿过生产设备之间的最短距离的传送路线能够提高传送能力和能够实现短的TAT。并且，由于通过地面使传送路线与生产区分开，工人的工作区域与传送系统区域必竟不同，所以能够消除例如工人和传送系统之间的碰撞的意外事故而且传送系统可以实现高速传送。此外，由于在地面下面的空气回流区中形成传送路线，所以只有很少的尘粒和污染物质会从传送系统流入生产区。如将在权利要求2中所述，由于在地面下面的空间中形成的安装例如泵之类的辅助机械设备的辅助机械设备安装区用空气流与空气回流区隔绝，所以空气流在辅助机械设备安装区和空气回流区之间起保护作用，因而例如从辅助机械设备抽出气体能够消除由于辅助机械设备的运作引起各种污染物质流入生产区。此外，如将在权利要求3和4中所述，由于为了一次储存由传送系统传送的产品母体，在比生产设备稍低或靠近生产设备的地方设置储料器而且为了提升从传送系统得到的产品母体经由地面上形成的孔口直到地面上的区域并储存在那里，对储料器或者在靠近储料器的地方还设置升降机，所以用升降机可以把产品母体从地面下面的空气回流区自动传送到地面上的生产区。如将在权利要求5和6中所述，由于为了一次储存由传送系统传送的产品母体，在生产区中靠近生产设备的地方设置储料器而且为了提升产品母体从在空气回流区中的传送系统通过孔口，然后把产品母体一次性储存在储料器中，对储料器或者在靠近储料器的地方也设置升降机，所以可以使产品母体从空气回流区自动储存到储料器。并且，如将在权利要求7和8中所述，由于为了把在地面上一次得到的产品母体下降到地面下面的区域和为了把从传送系统得到的产品母体提升到地面上面的区域，升降机直接装于传送系统，所以已不再需要在空气回流区中设置储料器并由此同样能够增大传送路线的自由度。此外，在升降机直接装于传送系统时，如将在权利要求9和10中所述，为了使产品母体装入设备，至少一台生产设备装有装料机械装置，为了使产品母体直接传递到装料机械装置，使升降机直接通向装料机械装置的出入口。因此，可以使产品母体从传送系统直接传送到含有装料机械装置的生产设备而且可以使产品母体在传送系统和生产设备之间来回互换地快速传递，缩短了从传送到在生产设备中处理的过程所需要的时间。而且，如将在权利要求11和12中所述，由于为了使产品母体装入设备，至少一台生产设备装有装料机械装置而且为了提升产品母体从在空气回流区中的传送系统经由孔口并使产品母体装入装料机械装置，对装料机械装置或者在靠近装料机械装置的地方也设置升降机，所以升降机可以使产品母体从传送系统，通过装料机械装置到生产设备直接来回互换传送，从而可以在传送系统和生产设备之间快速地进行产品母体的传送以缩短产品母体从传送到处理的过程所需要的时间。附图的简略描述根据下面对本专利技术目前的最佳实施例的详细描述，本专利技术的其他目的本文档来自技高网...

【技术保护点】
生产半导体器件的超净车间，在超净车间中，生产区内排列许多生产设备，每台生产设备包括生产半导体器件的制造设备和测量设备，从上述的生产区的天花板侧送入净化空气并且为了循环空气，使空气经由在地板上形成的排气孔返回到地板下面的空间，由此在为了回 流生产区中空气形成的地板下面的空气回流区中形成在生产设备之间传送半导体器件产品母体的传送系统的传送路线而且通过在地板上形成的孔口在传送系统和生产区之间接交产品母体。

【技术特征摘要】
JP 1996-8-28 226370/961.生产半导体器件的超净车间，在超净车间中，生产区内排列许多生产设备，每台生产设备包括生产半导体器件的制造设备和测量设备，从上述的生产区的天花板侧送入净化空气并且为了循环空气，使空气经由在地板上形成的排气孔返回到地板下面的空间，由此在为了回流生产区中空气形成的地板下面的空气回流区中形成在生产设备之间传送半导体器件产品母体的传送系统的传送路线而且通过在地板上形成的孔口在传送系统和生产区之间接交产品母体。2.根据权利要求1的生产半导体器件的超净车间，在其中设置辅助机械安装区，安装例如泵等辅助机械，该安装区设置在地面下与空气回流区气流相隔绝的空间内。3.根据权利要求1的生产半导体器件的超净车间，其中使暂时储存由上述的传送装置传送的产品母体的储料器设置在所述的空气回流区中所述生产设备之下或者靠近生产设备的地方，以及通过上述的孔口提升从传送装置得到的并储存到地板上区域的产品母体的升降机直接装于储料器或者装于靠近储料器的地方。4.根据权利要求2的生产半导体器件的超净车间，其中在空气回流区中所述生产设备之下或者在靠近生产设备的地方装有暂时储存上述的传送装置传送的产品母体的储料器，以及对上述的储料器或者靠近储料器的地方也设置通过上述的孔口提升产品母体到地板上的区域的升降机。5.根据权利要求1的生产半导体器件的超净车间，其中在上述的生产区中靠近上述的生产设备的地方装有暂时储存由上述的传送装置传送的产品母体的储料器，以及对上述的储料器或者在靠近储料器的地方也设置有通过上述的孔口提升来自空气回流区中传送系统的产品母体通过上述的孔口并使产品母体储存在上述的储料器的升降机。6.根据权利要求2的生产半导体器件的超净车间，其中在上述的生产区中靠近上述的生产设备的地...

【专利技术属性】
技术研发人员：木崎原稔郎，
申请(专利权)人：索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]