无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法技术

本发明专利技术提供了一种无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法。该无尘室车间包括：相互连通的多个制程区域空间；风机过滤机组，风机过滤机组安装在各个制程区域空间的顶部，且各个制程区域空间的底部设有换气通风通道结构；其中，无尘室车间还包括：用于调节各个制程区域空间内气流流动的气流调节设备，气流调节设备安装在各个制程区域空间内，且气流调节设备设置在风机过滤机组的下游。应用本发明专利技术的技术方案能够解决目前技术中无尘室车间内无尘洁净环境依靠风机过滤机组进行气流调节而造成费时费工且影响后续产品良率的情况的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及无尘洁净环境
，具体地，涉及一种无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法。
技术介绍
制程洁净度区域，即无尘室车间，以FFU(FanFilterUnit，风机过滤机组)进行制程空间内换气频率调节以达到所需求的洁净度(例如无尘室洁净等级100，即Class100)。在对制程空间内气流进行调节的过程中，依各设备结构DownFlow(向下吹送气流)需求，对FFU进行转速调节。当设备结构较为复杂且主制程区域(即进行制程生产操作的无尘室车间区域)需保持正压时，仅可使用区域性控制的方式调节FFU。如此仍无法达到使主制程区域保持正压的需求时，则需进行区间性排气空间封除，但是这样的调节方式费时费力且调节之后所达到的调节效果不佳。另外，无尘室车间内设备建置初期，如果FAB(无尘室车间)洁净功能尚未完善前，主制程洁净区域(无尘室洁净程度要求达到Class100)的无尘空间环境易受到非制程区域(无尘室洁净程度为Class1000)空间气流污染造成主制程区域的无尘室洁净等级下降，这就要求FFU的清洁频率提升，从而造成费时费工且影响后续产品良率的严重后果。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法，旨在解决目前技术中无尘室车间内无尘洁净环境依靠风机过滤机组进行气流调节而造成费时费工且影响后续产品良率的情况的问题。为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：提供一种无尘室车间，包括：相互连通的多个制程区域空间；风机过滤机组，风机过滤机组安装在各个制程区域空间的顶部，且各个制程区域空间的底部设有换气通风通道结构；其中，无尘室车间还包括：用于调节各个制程区域空间内气流流动的气流调节设备，气流调节设备安装在各个制程区域空间内，且气流调节设备设置在风机过滤机组的下游。可选地，气流调节设备安装在靠近制程区域空间的底部位置且位于换气通风通道结构的上方。可选地，相邻两个制程区域空间之间设有气流交换通道，靠近制程区域空间的底部位置安装有气流调节设备且气流调节设备位于换气通风通道结构与气流交换通道之间，相邻两个制程区域空间之间的气流交换通道内安装有气流调节设备。可选地，气流调节设备包括第一孔板和第二孔板，第一孔板和第二孔板相互叠置，第一孔板与第二孔板上开设气流通道，第一孔板与第二孔板相互叠置时，第一孔板上的气流通道与第二孔板上的气流通道至少部分重合或相互错开。可选地，第一孔板上还开有多个第一调节孔，第二孔板上还开有多个第二调节孔，各第一调节孔与各第二调节孔一一对应地设置，且第一调节孔与对应的第二调节孔之间通过调节连接结构连接。可选地，调节连接结构为螺栓与螺母配合的连接结构。可选地，气流调节设备包括第一孔板、第二孔板和第三孔板，三者之间依次叠置，且三者上均开有多个气流通道，第一孔板的各个气流通道与第三孔板的各个气流通道一一对应地正对设置，第二孔板的各个气流通道的一端与第一孔板上相应的气流通道至少部分重合或相互错开，第二孔板的各个气流通道的另一端与第三孔板上相应的气流通道至少部分重合或相互错开。可选地，第一孔板上还开有多个第一孔板连接孔，第三孔板上还开有多个第三孔板连接孔，各个第一孔板连接孔与各个第三孔板连接孔正对设置，第二孔板上还开有多个第二孔板调节孔，各个第二孔板调节孔与相应的第一孔板连接孔、第三孔板连接孔内连接有螺栓，且通过螺母与螺栓配合锁紧。根据本专利技术的另一方面，提供了一种无尘室车间的气流调节方法，在前述的无尘室车间内实施该气流调节方法，气流调节方法包括以下步骤：开启无尘室车间的风机过滤机组进行送风；通过调节无尘室车间的气流调节设备，以控制向无尘室车间的制程区域空间的气流流动。可选地，气流调节设备包括相互叠置的多个孔板，各个孔板上均开有多个气流通道，在进行步骤通过调节无尘室车间的气流调节设备，以控制向无尘室车间的制程区域空间的气流流动的操作过程中，通过调节各个孔板上一一对应的气流通道之间至少部分相互重合或相互错开，以控制制程区域空间内的气流流动速率。应用本专利技术的无尘室车间，相较于目前的无尘室车间而言，无需通过频繁地调节风机过滤机组来调节送风状态以保持制程区域空间内的正压，只需通过调节气流调节设备即可实现对送风状态的控制调节，方便快捷，并且通过气流调节设备还能够有效地对尚未完善洁净功能的制程区域空间进行隔断，从而确保进行生产操作的制程区域空间免受污染。附图说明图1是本专利技术的无尘室车间的剖视结构示意图；图2是本专利技术的气流调节设备的一实施例的分解结构示意图；图3是本专利技术的气流调节设备的另一实施例的分解结构示意图。在附图中：10、制程区域空间；20、风机过滤机组；30、换气通风通道结构；40、气流调节设备；41、第一孔板；42、第二孔板；43、第三孔板；401、气流通道；411、第一调节孔；412、第一孔板连接孔；421、第二调节孔；422、第二孔板调节孔；431、第三孔板连接孔；100、气流交换通道。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者间接连接至该另一个元件上。还需要说明的是，本实施例中的左、右、上、下等方位用语，仅是互为相对概念或是以产品的正常使用状态为参考的，而不应该认为是具有限制性的。如图1所示，本申请的无尘室车间包括多个制程区域空间10、多个风机过滤机组20和气流调节设备40，多个制程区域空间10相互连通，风机过滤机组20安装在各个制程区域空间10的顶部，且各个制程区域空间10的底部设有换气通风通道结构30，气流调节设备40用于调节各个制程区域空间10内气流流动，气流调节设备40安装在各个制程区域空间10内，且气流调节设备40设置在风机过滤机组20的下游。利用风机过滤机组20向制程区域空间10内进行送风，然后与制程区域空间10内的换气通风通道结构30形成气流流动，当洁净的气流由风机过滤机组20送入后，通过气流调节设备40调节气流的流动速率、吹送流量并最终送到制程区域空间10内，从而调节制程区域空间10内的气压状态，使得制程区域空间10内保持正压(正压是相对于制程区域空间10的外部空间气压而言，制程区域空间10内气压大于外部空间气压为正压，制程区域空间10内气压可小于外部空间气压为负压)。相较于目前的无尘室车间而言，无需通过频繁地调节风机过滤机组20来调节送风状态以保持制程区域空间10内的正压，只需通过调节气流调节设备40即可实现对送风状态的控制调节，方便快捷，并且通过气流调节设备40还能够有效地对尚未完善洁净功能的制程区域空间10进行隔断，从而确保进行生产操作的制程区域空间10免受污染。在一实施例中，气流调节设备40安装在靠近制程区域空间10的底部位置且位于换气通风通道结构30的上方。这样，外部空气经过风机过滤机组20过滤洁净被吹送进来制程区域空间10内，然后由气流调节设备40进行气流流动速率、气流流量调节，气流再从制程区域空间10底部的换气通风通道结构30出送出去进本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无尘室车间，其特征在于，包括：相互连通的多个制程区域空间；风机过滤机组，所述风机过滤机组安装在各个所述制程区域空间的顶部，且各个所述制程区域空间的底部设有换气通风通道结构；其中，所述无尘室车间还包括：用于调节各个所述制程区域空间内气流流动的气流调节设备，所述气流调节设备安装在各个所述制程区域空间内，且所述气流调节设备设置在所述风机过滤机组的下游。

【技术特征摘要】
1.一种无尘室车间，其特征在于，包括：相互连通的多个制程区域空间；风机过滤机组，所述风机过滤机组安装在各个所述制程区域空间的顶部，且各个所述制程区域空间的底部设有换气通风通道结构；其中，所述无尘室车间还包括：用于调节各个所述制程区域空间内气流流动的气流调节设备，所述气流调节设备安装在各个所述制程区域空间内，且所述气流调节设备设置在所述风机过滤机组的下游。2.如权利要求1所述的无尘室车间，其特征在于，所述气流调节设备安装在靠近所述制程区域空间的底部位置且位于所述换气通风通道结构的上方。3.如权利要求1所述的无尘室车间，其特征在于，相邻两个所述制程区域空间之间设有气流交换通道，靠近所述制程区域空间的底部位置安装有所述气流调节设备且所述气流调节设备位于所述换气通风通道结构与所述气流交换通道之间，相邻两个所述制程区域空间之间的所述气流交换通道内安装有所述气流调节设备。4.如权利要求1或2所述的无尘室车间，其特征在于，所述气流调节设备包括第一孔板和第二孔板，所述第一孔板和所述第二孔板相互叠置，所述第一孔板与所述第二孔板上开设气流通道，所述第一孔板与所述第二孔板相互叠置时，所述第一孔板上的气流通道与所述第二孔板上的气流通道至少部分重合或相互错开。5.如权利要求4所述的无尘室车间，其特征在于，所述第一孔板上还开有多个第一调节孔，所述第二孔板上还开有多个第二调节孔，各所述第一调节孔与各所述第二调节孔一一对应地设置，且所述第一调节孔与对应的所述第二调节孔之间通过调节连接结构连接。6.如权利要求5所述的无尘室车间，其特征在于，所述调节连接结构为螺栓与...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄俊钦，
申请(专利权)人：惠科股份有限公司，重庆惠科金渝光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44