钛酸锶钡薄膜材料的制备方法技术

本发明专利技术提供了一种钛酸锶钡薄膜材料的制备方法，其过程是：将醋酸钡、醋酸锶、钛酸丁酯、醋酸和乙酰丙酮以一定的摩尔比相混合配制成稳定的前驱体溶液，然后在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ↓［２］／Ｓｉ基片上进行匀胶、热处理，在热处理过程中同时对薄膜施加辅助电场，重复上述过程，直到理想的厚度为止。本发明专利技术通过将每层凝胶膜热处理后的厚度控制在８到２０纳米，实现异质成核、同质外延生长，从而形成大尺寸柱状晶粒的薄膜材料。本发明专利技术的薄膜材料可适于动态随机存储器、室温红外焦平面列阵等方面的应用。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，属于功能信息材料及器件领域。钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3)的介电常数很高，其居里温度可通过改变组分在30～400K之间调节，其薄膜材料在研制下一代动态随机存储器和室温红外焦平面列阵方面具有广泛的应用前景。与众多的制备方法相比，溶胶-凝胶法具有均匀性好、化学计量比容易控制、设备简单等诸多优点，已被广泛用于薄膜材料的制备。近年来，已有很多关于采用溶胶-凝胶法制备钛酸钡(BaTiO3)、钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3)薄膜材料的文献报道，如“Preparation and Characterization ofBaxSr1-xTiO3Thin Films by a Sol-Gel Technique”，J.Am.Ceram.Soc.79，1593-98(1996)；“In-Situ Transmission Electron Microscopy Crystallization Studies of Sol-Gel-Derived Barium Titanate Thin Films”，J.Am.Ceram.Soc.80，2828-36(1997)；“Mic本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种钛酸锶钡（Ｂａ↓［ｘ］Ｓｒ↓［１－ｘ］ＴｉＯ↓［３］）薄膜材料的制备方法，其特征在于该制备方法依次包括如下步骤：（１）．前驱体溶液配制：按照Ｘ：（１－Ｘ），０＜ｘ＜１，摩尔比称取醋酸钡（（ＣＨ↓［３］ＣＯＯ）↓［２］Ｂａ）、醋酸锶（ （ＣＨ↓［３］ＣＯＯ）↓［２］Ｓｒ），一起放入醋酸中，加热并搅拌，直至醋酸钡、醋酸锶完全溶解；量取与（（ＣＨ↓［３］ＣＯＯ）↓［２］Ｂａ＋（ＣＨ↓［３］ＣＯＯ）↓［２］Ｓｒ）等摩尔量的乙酰丙酮加入醋酸钡、醋酸锶的醋酸溶液中，搅拌使之混合均匀；量取与（（ＣＨ↓［３］ＣＯＯ）↓［２］Ｂａ＋（ＣＨ↓［３］ＣＯＯ）↓［２］Ｓｒ）等摩尔量的钛酸丁脂，加入到上面配制...

【技术特征摘要】
1.一种钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3)薄膜材料的制备方法，其特征在于该制备方法依次包括如下步骤(1).前驱体溶液配制按照X∶(1-X)，0＜x＜1，摩尔比称取醋酸钡((CH3COO)2Ba)、醋酸锶((CH3COO)2Sr)，一起放入醋酸中，加热并搅拌，直至醋酸钡、醋酸锶完全溶解；量取与((CH3COO)2Ba+(CH3COO)2Sr)等摩尔量的乙酰丙酮加入醋酸钡、醋酸锶的醋酸溶液中，搅拌使之混合均匀；量取与((CH3COO)2Ba+(CH3COO)2Sr)等摩尔量的钛酸丁脂，加入到上面配制好的混合溶液中，搅拌均匀，然后用醋酸将溶液的浓度调节到0.05～0.1摩尔/升，放置5～10天，使之充分螯合，即获得稳定的前驱体溶液；(2).薄膜材料的制备将前驱体溶液滴在基片上...

【专利技术属性】
技术研发人员：程建功，褚君浩，唐军，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]