下载钛酸锶钡薄膜材料的制备方法的技术资料

文档序号:3218902

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本发明提供了一种钛酸锶钡薄膜材料的制备方法,其过程是:将醋酸钡、醋酸锶、钛酸丁酯、醋酸和乙酰丙酮以一定的摩尔比相混合配制成稳定的前驱体溶液,然后在Pt/Ti/SiO↓[2]/Si基片上进行匀胶、热处理,在热处理过程中同时对薄膜施加辅助电场,...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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