微小型热电堆元件及其形成热隔离的方法技术

一种微小型热电堆元件及其形成热隔离的方法，其形成热隔离的方法包括在衬底表面的薄膜层开设狭长蚀刻窗，同时形成微连结构造跨越蚀刻窗而连接蚀刻窗两侧薄膜层的边缘，然后经由蚀刻窗对硅衬底进行蚀刻，使衬底与薄膜层之间形成坑穴，导致薄膜层成为浮板，且浮板与衬底之间形成热隔离。以上述方法制作的热电堆元件，其浮板具有较大的面积，且浮板较不易破裂，可靠度较佳。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术关于一种微小型热电堆(thermopile)元件，特别是关于其形成热隔离(thermal isolation)的方法及其构造。微小型热电堆元件形成热隔离的方法可大致分为正面蚀刻制造过程(Frontside Etching Process)以及背面蚀刻制造过程(BacksideEtching Process)，其中前者制作的微小型热电堆元件如附图说明图1所示，在图2中并提供其俯视图。微小型热电堆元件10的制作过程是在一硅衬底12表面形成一层或多层结构的薄膜层(membrane)14，并在此薄膜层14制作黑体13及热电堆15；接着在薄膜层14开设多个蚀刻窗(etchingwindow)16，经由蚀刻窗16对于硅衬底12进行非等向性蚀刻(anisotropicetching)，使硅衬底12与薄膜层14之间形成一坑穴(pit)，以致在薄膜层14成为浮板18(floating membrane)，其与硅衬底12之间形成热隔离。然而，这种多个蚀刻窗16的设计方式所形成的浮板18面积小，这是因为各个蚀刻窗16对硅衬底12所产生的非等向性蚀刻后面积要重叠，以致于无法使浮板18面积变大本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微小型热电堆元件，其特征在于：包括：一衬底；一浮板形成于该衬底的表面；一蚀刻窗分割该浮板；多个微连结构造跨越该蚀刻窗而连接该蚀刻窗两侧的该浮板的边缘；以及一坑穴介于该衬底与该浮板之间。

【技术特征摘要】
1.一种微小型热电堆元件，其特征在于包括一衬底；一浮板形成于该衬底的表面；一蚀刻窗分割该浮板；多个微连结构造跨越该蚀刻窗而连接该蚀刻窗两侧的该浮板的边缘；以及一坑穴介于该衬底与该浮板之间。2.如权利要求1所述的微小型热电堆元件，其特征在于其中该衬底为硅。3.如权利要求1所述的微小型热电堆元件，其特征在于其中该浮板包括一个或多个单悬臂构造。4.如权利要求1所述的微小型热电堆元件，其特征在于其中该蚀刻窗为狭沟。5.如权利要求1或4所述的微小型热电堆元件，其特征在于其中该蚀刻窗为交错的狭沟。6.如权利要求1或4所述的微小型热电堆元件，其特征在于其中该蚀刻窗为弯折的狭沟。7.如权利要求1所述的微小型热电堆元件，其特征在于其中该微连结构造为交错的狭条。8.一种微...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈志雄，陈忠男，林三宝，
申请(专利权)人：光磊科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]