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一种微小型热电堆元件及其形成热隔离的方法，其形成热隔离的方法包括在衬底表面的薄膜层开设狭长蚀刻窗，同时形成微连结构造跨越蚀刻窗而连接蚀刻窗两侧薄膜层的边缘，然后经由蚀刻窗对硅衬底进行蚀刻，使衬底与薄膜层之间形成坑穴，导致薄膜层成为浮板，且浮...
该专利属于光磊科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光磊科技股份有限公司授权不得商用。

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