清洗机单边抛动机构制造技术

本实用新型专利技术公开清洗机单边抛动机构，涉及硅片清洗机领域。该清洗机单边抛动机构，包括放置架和驱动电机，放置架的上表面设有插片花篮，放置架的背面固定安装有固定条，固定条的外表面两侧均固定安装有限位组件，驱动电机的输出端固定安装有偏心轮，偏心轮的上方设有抛动顶块。该清洗机单边抛动机构，在使用时，通过启动驱动电机，使得驱动电机带动偏心轮进行转动，此时偏心轮将抛动顶块重复向上顶起，使得插片花篮在放置架的上表面竖直发生震荡，实现在冲洗的过程中进行震颤，方便将硅片与插片花篮贴合处的杂质震颤出来，提升硅片整体的清洗效果。效果。效果。

【技术实现步骤摘要】
清洗机单边抛动机构


[0001]本技术涉及硅片清洗机
，具体为清洗机单边抛动机构。

技术介绍

[0002]在硅片生产加工的过程中，硅片表面会粘附大量的灰尘和杂质，这些灰尘和杂质在硅片还处于板料状态时就需要清洗干净，否则咋硅片加工成器件后，很容易对器件造成损坏，而硅片一般都是采用专门的硅片清洗机进行清洗。
[0003]但是现有的硅片清洗机大多数结构较为简单，在使用时通过将装载有硅片的花篮移动至清洗机内部，然后通过高压喷淋头进行循环式冲洗，将其表面的杂质清洗掉，但是在实际使用过程中，由于硅片堆垛在插片花篮中，存在较多的贴合部位，这些硅片与插片花篮的贴合部位通常就成为冲洗的死角，很难将内部的杂质冲洗出来，因此需要提供一种清洗机单边抛动机构以解决上述问题。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术公开了清洗机单边抛动机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：清洗机单边抛动机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.清洗机单边抛动机构，其特征在于，包括：放置架(1)，所述放置架(1)的上表面设有插片花篮(2)，所述放置架(1)的背面固定安装有固定条(3)，所述固定条(3)的外表面两侧均固定安装有限位组件(5)；驱动电机(4)，所述驱动电机(4)的输出端固定安装有偏心轮(12)，所述偏心轮(12)的上方设有抛动顶块(13)。2.根据权利要求1所述的清洗机单边抛动机构，其特征在于：所述驱动电机(4)的下表面固定安装有安装底板(14)，所述固定条(3)的外表面固定连接有挡条(8)，所述抛动顶块(13)固定安装在挡条(8)的下表面。3.根据权利要求1所述的清洗机单边抛动机构，其特征在于：所述限位组件(5)包括滑动连接座(501)、固定连接座(502)和固定轴(503)，所述固定连接座(502)固定连接在固定轴(503)的两端，所述滑动连...

【专利技术属性】
技术研发人员：王进，张进元，王永利，胡宏峰，
申请(专利权)人：上海珺竹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：