下载清洗机单边抛动机构的技术资料

文档序号:32177946

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本实用新型公开清洗机单边抛动机构,涉及硅片清洗机领域。该清洗机单边抛动机构,包括放置架和驱动电机,放置架的上表面设有插片花篮,放置架的背面固定安装有固定条,固定条的外表面两侧均固定安装有限位组件,驱动电机的输出端固定安装有偏心轮,偏心轮的上...
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