可溶物质的淀积制造技术

本发明专利技术提供了一种利用喷墨印刷头将有机聚合物之类的可溶材料淀积到衬底上的方法和装置。衬底设有对准标记阵列，当基本上与一个对准标记对准时就淀积材料溶液，从而提供材料溶液的对准点。在淀积出的材料溶液干燥之前对对准点进行观察。利用交叉形对准标记有利于观察对准点的位置。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本申请涉及可溶物质的淀积，尤其涉及利用喷墨技术的可溶物质淀积。近年来，需要在固体表面淀积如聚合物、染料、胶体材料之类的有机或无机可溶或可分散物质、并以此作为产品制造工艺的一部分的产品数量增长很快。这些产品的一个例子是有机聚合物电致发光显示装置。有机聚合物电致发光显示装置要求在固体衬底上将可溶聚合物淀积成预定图形，以提供显示装置的发光象素。衬底例如由玻璃、塑料或硅构成。在半导体显示装置(例如发光二极管(LED)显示器)的制造过程中，常规使用光刻技术。但是，光刻技术实施起来比较复杂、耗时、昂贵。另外，光刻技术不太适合用于制造结合了可溶有机聚合物材料的显示装置。某种程度上，与有机聚合物象素制造相关的问题阻碍了结合这种材料作为发光象素元件的产品(例如电致发光显示装置)的发展。因此人们已建议在制造电致发光显示装置的过程中采用喷墨技术来淀积可溶有机聚合物。按照定义，喷墨技术在理论上适合上述可溶或可分散材料的淀积。它是用起来快速而廉价的技术。与旋涂或汽相淀积之类的可选择技术相比，该技术能立刻形成图形而无需将刻蚀步骤与平版印刷技术结合起来。但是，利用喷墨技术将可溶有机物淀积到固体表面上与将墨水淀积到纸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种利用喷墨印刷头选择性地将溶解或分散在溶液中的材料淀积到衬底第一表面的第一区域上的方法，该方法还包括：在衬底上设置对准标记阵列，在基本上与一个对准标记对准时，由该喷墨印刷头向衬底的第一表面淀积材料，由此提供出材料的对准点，然后相对于对准标记检测对准点。

【技术特征摘要】
GB 2001-9-10 0121815.51.一种利用喷墨印刷头选择性地将溶解或分散在溶液中的材料淀积到衬底第一表面的第一区域上的方法，该方法还包括在衬底上设置对准标记阵列，在基本上与一个对准标记对准时，由该喷墨印刷头向衬底的第一表面淀积材料，由此提供出材料的对准点，然后相对于对准标记检测对准点。2.根据权利要求1所述的方法，其中通过与第一表面相反的另一衬底表面检测对准点。3.根据权利要求1或2所述的方法，其中在所述材料从湿润状态变为干燥状态以前检测材料的对准点。4.根据权利要求3所述的方法，其中在材料淀积到衬底的第一表面上时检测材料的对准点。5.根据前述任一项权利要求所述的方法，其中对准标记阵列设置在第一区域之外的其它衬底区域上。6.根据前述任一项权利要求所述的方法，其中在衬底的第一区域内设置另一对准标记阵列。7.根据前述任一项权利要求所述的方法，其中将对准标记设置成交叉形对准标记。8.根据权利要求7所述的方法，其中将每个交叉形标记选择成包括多个径向延伸的腿部，这些腿部沿圆周方向对称布置。9.根据权利要求7或8所述的方法，其中将交叉形对准标记选择成包括三或四个腿部。10.根据前述任一项权利要求所述的方法，其中将对准标记阵列选择成包括线性对准标记阵列，该线性对准标记阵列沿衬底的至少一边间隔开。11.根据权利要求1到9中任一项所述的方法，其中将对准标记阵列选择成包括对准标记的矩阵阵列。12.根据权利要求1到9中任一项所述的方法，其中将对准标记的阵列选择成包括一个或多个沿衬底的至少一边间隔开的线性对准标记阵列以及一个和多个对准标记的矩阵阵列。13.根据前述权任一项利要求所述的方法，包括在衬底的第一区域内设...

【专利技术属性】
技术研发人员：川濑健夫，C纽索姆，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]