薄膜晶体管器件及其制造方法技术

技术编号:3205803 阅读:98 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
电子器件包括薄膜晶体管(10)并且可以由两个基板(1,11)得到。为了避免在金属图形(24,29)和有机层(4)之间的未粘接界面处分层,金属图形(24,29)包括开口(30)。通过这些开口(30),可以实现有机层(4,5)和基板(11)之一的表面(111)处的有机材料之间的粘接。借助微接触印刷可以制造电子器件。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种电子器件,该器件包括提供有存在第一金属电极层的表面的基底基板,半导体材料的沟道层,介电材料的中间层,以及提供有存在第二金属电极层的有机材料表面的粘接基板,在该电极层、沟道层以及中间层中定义了薄膜晶体管;通过将提供有各层的基板层叠在一起可以得到该电子器件。本专利技术还涉及这种电子器件的制造方法。这种电子器件从US-B6,197,663中可知。通过将基底基板、至少一个电极层以及粘接基板层叠在一起制备已知的器件。所述粘接基板可以包括互连层或电极层。如果粘接基板包括互连层,那么在层叠操作之前薄膜晶体管位于基底基板上。源电极和漏电极提供有接触表面,该表面大于源电极和漏电极。由于互连层包括50到250微米数量级的结构,并且第一电极层中的接触表面很可能尺寸相当,因此电极层可以容易地对准。然而,对该专利技术存在问题的研究显示如果粘接基板包括电极层,那么该方法不会自动地产生功能性的电子器件。这可以归因于如果电极层含有金属,那么包括电极层的粘接基板会发生分层的事实。然而,所述金属对提供良好的导电性能是很必要的。然而,由两个基板构成器件的实施例具有以下优点金属层施加到基板之后,可以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子器件,包括:基底基板(1),提供有其上存在金属的第一电极层(2)的表面,半导体材料的沟道层(5);介电材料的中间层(4),以及粘接基板(11),提供有其上存在金属的第二电极层(3)的有机材料的表面(1 11),在该电极层(2,3)、沟道层(5)以及中间层(4)中定义了薄膜晶体管(10),通过将提供有层(2,3,4,5)的基板(1,11)层叠在一起可以得到该电子器件,特征在于:第二电极层(3)包括导电表面(18,24 ,27,29),以及导电表面(18,24,27,29)具有开口(...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】EP 2001-10-11 01203855.01.一种电子器件,包括基底基板(1),提供有其上存在金属的第一电极层(2)的表面,半导体材料的沟道层(5);介电材料的中间层(4),以及粘接基板(11),提供有其上存在金属的第二电极层(3)的有机材料的表面(111),在该电极层(2,3)、沟道层(5)以及中间层(4)中定义了薄膜晶体管(10),通过将提供有层(2,3,4,5)的基板(1,11)层叠在一起可以得到该电子器件,特征在于第二电极层(3)包括导电表面(18,24,27,29),以及导电表面(18,24,27,29)具有开口(30),在开口中在粘接基板(11)的表面(111)的有机材料与选自中间层(4)、沟道层(5)和基底基板(1)的表面中的其中一层的有机材料之间出现粘附。2.根据权利要求1的电子器件,特征在于源和漏电极(21,22)限定在第一电极层(2)中,该源电极和漏电极被由沟道层(5)填充的沟道(23)隔开,并且第二电极层(3)中的导电表面(24)定义为栅电极(24),其关于第一电极层(2)上的垂直突起,与沟道(23)重叠。3.根据权利要求2的电子器件,特征在于第一电极层(2)中的源和漏电极(21,22)为交叉指状电极对,栅电极(24)相对于交叉指状电极对为超尺寸。4.根据权利要求1的电子器件,特征在于第一电极层(2)包括接触表面...

【专利技术属性】
技术研发人员:GFA范德瓦尔勒AH蒙特里
申请(专利权)人:皇家飞利浦电子股份有限公司
类型:发明
国别省市:NL[荷兰]

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