一种硅片超声清洗设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片超声清洗设备，包括底座，底座上设有安装板，安装板上设有螺纹杆，安装板上设有圆杆，圆杆上设有第一滑块，第一滑块上设有滑轨，滑轨上设有移动块，移动块上设有气管，底座上设有清洗池，清洗池的内部设有框架，框架的内部设有夹持装置，夹持装置包括矩形板，矩形板上设有凹槽，凹槽上滑动连接有第二滑块，第二滑块上设有夹块，夹块与凹槽之间设有弹簧，螺纹杆上设有手轮，手轮上设有防滑橡胶。本实用新型专利技术的优点是，通过螺纹杆使气管可以上下滑动，通过滑轨使气管可以左右移动，进而可以更好的对硅片进行清洁，通过夹持装置使设备可以对不同大小的硅片进行夹持，增加设备的使用面。增加设备的使用面。增加设备的使用面。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片超声清洗设备


[0001]本技术属于清洗设备
，具体为一种硅片超声清洗设备。

技术介绍

[0002]授权公告号为CN206602106U的技术涉及硅片生产设备
，尤其是涉及一种硅片超声波清洗装置，包括具有清洗槽的机架，所述机架上转动设置有底板，所述底板位于所述清洗槽内，所述底板上设有超声波换能器，所述机架上设有用于驱动底板摆动的第一驱动装置，所述清洗槽内设有用于放置插片盒的框架。
[0003]虽然其能完成清洗硅片的任务，但是其还存在一些不足，一是硅片清洗完成后上面可能会残留清洗液和水渍，需要擦干，二是其框架中只能放置固定大小的硅片，因此本技术设计了一种新型的硅片超声波清洗设备以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种硅片超声清洗设备，以解决现有技术中授权公告号为CN206602106U的技术硅片清洗完成后上面可能会残留清洗液和水渍、其框架中只能放置固定大小硅片的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片超声清洗设备，包括底座，其材质为四十五号钢，结实耐用，本技术不改变授权公告号为CN206602106U技术的其它部分，所述底座上设有安装板，其材质为四十五号钢，结实耐用，所述安装板上设有螺纹杆，螺纹杆的作用是，使气管可以上下滑动，进而可以更好的对硅片进行清洁，所述安装板上设有圆杆，所述圆杆上设有第一滑块，其材质为四十五号钢，结实耐用，所述第一滑块上设有滑轨，其材质为四十五号钢，结实耐用，所述滑轨上设有移动块，其材质为四十五号钢，结实耐用，滑轨的作用是，使气管可以上下滑动，进而可以更好的对硅片进行清洁，所述移动块上设有气管，所述底座上设有清洗池，所述清洗池的内部设有框架，其材质为四十五号钢，结实耐用，所述框架的内部设有夹持装置。
[0006]优选的，所述夹持装置包括矩形板，夹持装置的作用是，使设备可以对不同大小的硅片进行夹持，以增加设备的使用面，所述矩形板上设有凹槽，所述凹槽上滑动连接有第二滑块，其材质为四十五号钢，结实耐用，所述第二滑块上设有夹块，其材质为四十五号钢，结实耐用，所述夹块与凹槽之间设有弹簧。
[0007]优选的，所述夹块上设有橡胶块，其材质为丁腈橡胶，作用是，防止伤害到硅片。
[0008]优选的，所述移动块上设有把手，其材质为四十五号钢，结实耐用，所述把手上设有防滑条纹，作用是，方便人们用手推动气管，进而可以更好的对硅片进行清洁。
[0009]优选的，所述螺纹杆上设有手轮，其材质为四十五号钢，结实耐用，作用是，方便人们转动螺纹杆，使气管上下移动，进而可以更好的对硅片进行清洁。
[0010]优选的，所述第一滑块上设有挡块，其材质为四十五号钢，结实耐用，作用是，防止气管移动过度进而脱落。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过螺纹杆使气管可以上下滑动，通过滑轨使气管可以左右移动，进而可以更好的对硅片进行清洁，通过夹持装置使设备可以对不同大小的硅片进行夹持，增加设备的使用面。
附图说明
[0012]图1为本技术的主视剖视图；
[0013]图2为本技术图1中的A部放大图；
[0014]图3为本技术的侧视图。
[0015]图中：1螺纹杆、10矩形板、11气管、12把手、13移动块、14滑轨、 15挡块、16防滑条纹、17第一滑块、2安装板、3夹持装置、31橡胶块、32 夹块、33弹簧、34第二滑块、35凹槽、4手轮、5防滑橡胶、6底座、7圆杆、 8清洗池、9框架。
具体实施方式
[0016]请参阅图1、图2、图3，一种硅片超声清洗设备，包括底座6，底座6 上焊接有安装板2，安装板2上转动连接有螺纹杆1，使气管11可以上下滑动，进而可以更好的对硅片进行清洁，安装板2上焊接有圆杆7，圆杆7上滑动连接有第一滑块17，第一滑块17上焊接有滑轨14，滑轨14的作用是，使气管11可以上下滑动，进而可以更好的对硅片进行清洁，滑轨14上滑动连接有移动块13，移动块13上通过螺丝连接有气管11，底座6上设有清洗池8，清洗池8的内部设有框架9，框架9的内部设有夹持装置3。
[0017]请参阅图1、图2，夹持装置3包括矩形板10，矩形板10上设有凹槽35，凹槽35上滑动连接有第二滑块34，第二滑块34上焊接有夹块32，夹块32 与凹槽35之间焊接有弹簧33。
[0018]请参阅图1、图2、图3，夹块32上胶粘有橡胶块31，作用是，防止伤害到硅片，移动块13上焊接有把手12，螺纹杆1上焊接有手轮4，把手12 上设有防滑条纹16，作用是，方便人们用手推动气管11，进而可以更好的对硅片进行清洁，手轮4上胶粘有防滑橡胶5，所述第一滑块17上焊接有挡块 15，作用是，防止气管11移动过度进而脱落。
[0019]本方案的工作原理是：首先将硅片放入框架9中的夹持装置3的内部，将硅片夹持住，在这个过程中弹簧33将给硅片一个反作用力将硅片夹紧，夹紧过后按照授权公告号为CN206602106U技术的步骤进行清洗，清洗完成后，根据需要通过螺纹杆1和把手12来上下左右移动气管11对硅片进行吹净作业。
[0020]如此便使气管11可以上下滑动，通过滑轨14使气管11可以左右移动，进而可以更好的对硅片进行清洁，通过夹持装置3使设备可以对不同大小的硅片进行夹持，增加设备的使用面。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片超声清洗设备，包括底座(6)，其特征在于：所述底座(6)上设有安装板(2)，所述安装板(2)上设有螺纹杆(1)，所述安装板(2)上设有圆杆(7)，所述圆杆(7)上设有第一滑块(17)，所述第一滑块(17)上设有滑轨(14)，所述滑轨(14)上设有移动块(13)，所述移动块(13)上设有气管(11)，所述底座(6)上设有清洗池(8)，所述清洗池(8)的内部设有框架(9)，所述框架(9)的内部设有夹持装置(3)。2.根据权利要求1所述的一种硅片超声清洗设备，其特征在于：所述夹持装置(3)包括矩形板(10)，所述矩形板(10)上设有凹槽(35)，所述凹槽(35)上滑动连接有第二滑块(34)，所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：万关良，
申请(专利权)人：永清县良晶半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：