本实用新型专利技术公开了一种一种化合物半导体单晶生长炉的移动式热屏装置，包括对称设置于炉体内两侧的伺服电机、传动链条、支撑齿轮、固定侧板、升降滑座、热屏和限位开关，所述限位开关设置于所述固定侧板的外侧，所述固定侧板的外侧顶端还设置有所述伺服电机，所述伺服电机通过减速器与所述支撑齿轮相连接，所述支撑齿轮设置于所述固定侧板的内侧并与所述传动链条啮合连接，所述升降滑座固定于所述传动链条上并与所述固定侧板滑动连接，所述热屏通过连接件固定于所述升降滑座上。本实用新型专利技术采用上述结构的一种化合物半导体单晶生长炉的移动式热屏装置，通过链轮传动的方式实现热屏的上下移动，进一步提高拉晶效率和降低单晶生长过程中的能耗。程中的能耗。程中的能耗。
【技术实现步骤摘要】
一种化合物半导体单晶生长炉的移动式热屏装置
[0001]本技术涉及单晶体生长炉领域，尤其是涉及一种化合物半导体单晶生长炉的移动式热屏装置。
技术介绍
[0002]半导体硅单晶体的生长过程，大都是利用切克劳斯基(Czochral ski)法制造(简称CZ法)。在这种方法中，将高纯度的多晶硅按一定要求装入石英坩埚内，然后加热石英坩埚，将其中的多晶硅熔化，接下来将熔硅略微降温，给予一定的过冷度，等熔硅静定后，把一根特制的标准硅单晶体(通常叫籽晶)与熔硅接触进行引晶，引晶到适当长度后开始放肩(晶棒直径变大)，稍后即开始转肩，随后即进入等径生长阶段，这一阶段持续时间可以很长，视拉晶的长度而定，达到设计要求的长度后即可收尾，收尾完毕后晶棒冷却，取出单晶体，即完成一次拉晶。
[0003]上述拉晶过程中如何提高拉晶效率及降低能耗一直是此领域研究的重点。在已知的专利文献和实际使用的硅单晶炉中，多采用固定的热屏。专从实际使用的效果来看，仅靠固定的热屏(包括形状的变更)来提升拉晶的效率和降低能耗的效果并不是太好。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是提供一种化合物半导体单晶生长炉的移动式热屏装置，通过链轮传动的方式实现热屏的上下移动，进一步提高拉晶效率和降低单晶生长过程中的能耗。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了一种化合物半导体单晶生长炉的移动式热屏装置，包括对称设置于炉体内两侧的伺服电机、传动链条、支撑齿轮、固定侧板、升降滑座、热屏和限位开关，所述限位开关设置于所述固定侧板的外侧，所述固定侧板的外侧顶端还设置有所述伺服电机，所述伺服电机通过减速器与所述支撑齿轮相连接，所述支撑齿轮设置于所述固定侧板的内侧并与所述传动链条啮合连接，所述升降滑座固定于所述传动链条上并与所述固定侧板滑动连接，所述热屏通过连接件固定于所述升降滑座上。
[0006]优选的，所述支撑齿轮包括上支撑齿轮和下支撑齿轮，所述上支撑齿轮设置于所述固定侧板的内侧顶端并通过第一转轴与所述减速器相连接，所述下支撑齿轮设置于所述固定侧板的内侧底端并固定于第二转轴上，所述第一转轴和所述第二转轴均通过滚珠轴承与所述固定侧板转动连接。
[0007]优选的，所述升降滑座由固定块和连接块组成，所述固定块通过螺钉固定于所述连接块前端，所述连接块的前端中央设置有自上而下贯穿的通槽，所述通槽内设置有所述传动链条，所述通槽设置于所述固定块与所述连接块之间，所述连接块的顶端两侧和底端两侧分别设置有固定耳，所述固定耳上设置有销孔，所述销孔内设置有销钉，所述销钉穿过所述传动链条的空隙，所述连接块的后端侧面设置有滑槽，所述滑槽的宽度与所述固定侧板的厚度相适应，所述滑槽与所述固定侧板滑动连接。
[0008]优选的，所述限位开关包括上限位开关和下限位开关，所述上限位开关和所述下限位开关均固定在所述固定侧板上，所述上限位开关位于所述第一转轴下方，所述下限位开关位于所述第二转轴上方。
[0009]优选的，所述连接件的一端与所述热屏固定连接，所述连接件的另一端与所述升降滑座固定连接，所述连接件的另一端中央设置有插槽，所述连接件的另一端设置于所述升降滑座的上表面并位于两个所述固定耳之间，所述连接件的另一端位于所述销钉下方，所述传动链条从所述插槽中穿过。
[0010]因此，本技术采用上述结构的一种化合物半导体单晶生长炉的移动式热屏装置，通过伺服电机提供动力，通过支撑齿轮和传动链条实现传动，通过在固定侧板上滑动的升降滑座带动连接件及固定在连接件一端的热屏上下移动，随时实现对热屏的可移动式调节，便于观察硅单晶的生长及取出晶棒，有效防止了硅单晶棒表面在高温下的氧化，提高了硅单晶棒的有效利用率，降低了硅单晶生长过程中的能耗。
[0011]下面通过附图和实施例，对本技术的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
[0012]图1为本技术一种化合物半导体单晶生长炉的移动式热屏装置实施例的侧面结构示意图；
[0013]图2为本技术一种化合物半导体单晶生长炉的移动式热屏装置实施例的正面结构示意图；
[0014]图3为本技术实施例升降滑座的结构示意图。
[0015]附图标记
[0016]1、伺服电机；11、减速器；13、第一转轴；14、第二转轴；2、固定侧板；21、上支撑齿轮；22、下支撑齿轮；23、传动链条；24、滚珠轴承；3、升降滑座；31、固定块；32、连接块；33、通槽；34、固定耳；35、销钉；36、滑槽；4、上限位开关；5、下限位开关；6、热屏；61、连接件。
具体实施方式
[0017]以下通过附图和实施例对本技术的技术方案作进一步说明。
[0018]除非另外定义，本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0019]实施例
[0020]如图所示，一种化合物半导体单晶生长炉的移动式热屏装置，包括对称设置于炉体内两侧的伺服电机1、传动链条23、支撑齿轮、固定侧板2、升降滑座3、热屏6和限位开关。固定侧板2的外侧顶端设置有伺服电机1，伺服电机1通过减速器11与支撑齿轮相连接，支撑
齿轮设置于固定侧板2的内侧并与传动链条23啮合连接。支撑齿轮包括上支撑齿轮21和下支撑齿轮22，上支撑齿轮21设置于固定侧板2的顶端并通过第一转轴13与减速器11相连接，下支撑齿轮22设置于固定侧板2的底端并固定于第二转轴14上，第一转轴13和第二转轴14均通过滚珠轴承24与固定侧板2转动连接，滚珠轴承24减轻转动过程中第一转轴13和第二转轴14的受力，使转动更加顺畅。启动伺服电机1，上支撑齿轮21转动，带动传动链条23转动，从而带动下支撑齿轮22转动。
[0021]升降滑座3固定于传动链条23上并与固定侧板2滑动连接，升降滑座3由固定块31和连接块32组成，固定块31通过螺钉固定于连接块32前端，连接块32的前端中央设置有自上而下贯穿的通槽33，通槽33内设置有传动链条23，通槽33设置于固定块31与连接块32之间。将升降滑座3分为固定块31和连接块32两部分，便于安装和拆卸。连接块32的顶端两侧和底端两侧分别设置有固定耳34，固定耳34上设置有销孔，销孔内设置有销钉35，销钉35穿过传动链条23的空隙，将传动链条23与升降滑座3固定在一起，这里的固定机构可以采用销钉35，也可以采用销片等，视传动链条23空隙的形状采取适合的部本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化合物半导体单晶生长炉的移动式热屏装置，其特征在于：包括对称设置于炉体内两侧的伺服电机、传动链条、支撑齿轮、固定侧板、升降滑座、热屏和限位开关，所述限位开关设置于所述固定侧板的外侧，所述固定侧板的外侧顶端还设置有所述伺服电机，所述伺服电机通过减速器与所述支撑齿轮相连接，所述支撑齿轮设置于所述固定侧板的内侧并与所述传动链条啮合连接，所述升降滑座固定于所述传动链条上并与所述固定侧板滑动连接，所述热屏通过连接件固定于所述升降滑座上。2.根据权利要求1所述的一种化合物半导体单晶生长炉的移动式热屏装置，其特征在于：所述支撑齿轮包括上支撑齿轮和下支撑齿轮，所述上支撑齿轮设置于所述固定侧板的内侧顶端并通过第一转轴与所述减速器相连接，所述下支撑齿轮设置于所述固定侧板的内侧底端并固定于第二转轴上，所述第一转轴和所述第二转轴均通过滚珠轴承与所述固定侧板转动连接。3.根据权利要求1所述的一种化合物半导体单晶生长炉的移动式热屏装置，其特征在于：所述升降滑座由固定块和连接块组成，所述固定块通过螺钉固定于所述连接块前端，所述连接块的...
【专利技术属性】
技术研发人员：万关良，
申请(专利权)人：永清县良晶半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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