本实用新型专利技术适用于晶圆盒搬运设备领域，公开了一种夹持装置及晶圆盒搬运机器人。其中，夹持装置用于夹持两相对侧分别凸设有托柄且托柄上设有第一卡插限位部的晶圆盒，夹持装置包括两个间隔相对设置以分别用于一对一承托两个托柄的承托臂和连接于两个承托臂之间的连接臂，承托臂上设有用于与第一卡插限位部卡插配合以防止晶圆盒从承托臂上滑脱的第二卡插限位部。本实用新型专利技术通过托举的方式进行夹持晶圆盒，避免了夹持装置压伤晶圆盒、甚至压坏晶圆盒和晶圆的不良现象发生，且第二卡插限位部与第一卡插限位部的卡插配合，又充分保障了晶圆盒承托于夹持装置上的稳固可靠性。此外，本实用新型专利技术的夹持装置，具有结构简单、成本低和易于控制的特性。和易于控制的特性。和易于控制的特性。
【技术实现步骤摘要】
夹持装置及晶圆盒搬运机器人
[0001]本技术涉及晶圆盒搬运设备领域，尤其涉及一种夹持装置及具有该夹持装置的晶圆盒搬运机器人。
技术介绍
[0002]为了降低晶圆被污染的风险，晶圆一般存放于晶圆盒内并通过晶圆盒进行运输。传统技术中，晶圆盒在仓库、生产车间等室内的搬运一般通过人工进行搬运，其耗费的人力较多。
[0003]为了解决上述传统技术中的问题，现有技术提出了一种用于搬运晶圆盒的晶圆搬运机器人。现有的晶圆搬运机器人中，用于夹持晶圆盒的夹持装置包括两个夹爪和用于驱动两个夹爪运动以夹紧或者松开晶圆盒的伸缩驱动机构。采用这种现有的夹持装置夹持晶圆盒，存在以下不足之处：
[0004]1)难以控制夹爪对晶圆盒的夹持力度，且容易损坏晶圆盒和晶圆。具体地，如果夹爪对晶圆盒夹持的力度过大，则容易压伤晶圆盒导致产生碎屑污染、甚至压坏晶圆盒和晶圆的现象发生；而如果夹爪对晶圆盒夹持的力度过小，则会降低夹持装置夹持晶圆盒的稳固可靠性，从而容易发生晶圆盒从夹持装置上滑脱跌落、进而导致晶圆盒和晶圆损坏的现象；
[0005]2)伸缩驱动机构的设置，使得夹持装置的结构比较复杂，成本较高。
技术实现思路
[0006]本技术的第一个目的在于提供一种夹持装置，其旨在解决现有技术夹持装置结构复杂、成本高且容易损坏晶圆盒和晶圆的技术问题。
[0007]为达到上述目的，本技术提供的方案是：一种夹持装置，用于夹持两相对侧分别凸设有托柄且所述托柄上设有第一卡插限位部的晶圆盒，所述夹持装置包括两个间隔相对设置以分别用于一对一承托两个所述托柄的承托臂和连接于两个所述承托臂之间的连接臂，所述承托臂上设有用于与所述第一卡插限位部卡插配合以防止所述晶圆盒从所述承托臂上滑脱的第二卡插限位部。
[0008]可选地，所述承托臂具有用于支撑所述托柄的支撑面，所述第二卡插限位部为延伸于所述支撑面上方以用于卡插于所述第一卡插限位部内的凸台。
[0009]可选地，所述凸台从所述支撑面以截面面积逐渐减小的趋势延伸于所述支撑面的上方。
[0010]可选地，所述凸台的侧部具有朝向所述连接臂设置的第一限位面和背对所述连接臂设置的第二限位面，一个所述承托臂上的所述第一限位面和所述第二限位面以二者之距离逐渐增大的趋势朝远离另一个所述承托臂的方向倾斜延伸。
[0011]可选地，所述凸台的侧部还具有连接于所述第一限位面与所述第二限位面之间的光滑过渡面，一个所述承托臂上的所述第一限位面和所述第二限位面以二者之距离逐渐增
大的趋势从所述光滑过渡面朝远离另一个所述承托臂的方向倾斜延伸。
[0012]可选地，所述承托臂包括承托臂本体和安装于所述承托臂本体侧部的限位件，所述限位件上设有所述第二卡插限位部。
[0013]可选地，所述夹持装置还包括用于探测所述托柄是否承托于所述承托臂上的探测器，至少一个所述承托臂上设有所述探测器。
[0014]可选地，所述探测器为微动开关或者压力传感器；且/或，
[0015]每个所述承托臂上都设有至少一个所述探测器。
[0016]可选地，所述承托臂上凸设有用于防止所述晶圆盒朝远离所述连接臂之方向滑动的第一限位部和/或用于防止所述晶圆盒朝靠近所述连接臂之方向滑动的第二限位部；且/或，
[0017]所述连接臂的两端分别与两个所述承托臂的一端连接。
[0018]可选地，所述夹持装置还包括设于所述连接臂上以用于辅助定位的识别定位装置。
[0019]可选地，所述识别定位装置为相机。
[0020]可选地，所述夹持装置还包括设于所述连接臂上以检测货架上是否有晶圆盒的识别检测装置。
[0021]可选地，所述识别检测装置为超声波传感器或者光电传感器。
[0022]本技术的第二个目的在于提供一种晶圆搬运机器人，其包括自动导引车和设于所述自动导引车上的搬运执行机构，所述搬运执行机构包括上述的夹持装置、设于所述自动导引车上的主座体和安装于所述主座体上并与所述夹持装置之所述连接臂连接以用于驱动所述夹持装置运动的机械臂。
[0023]本技术的夹持装置及晶圆搬运机器人，通过两个承托臂分别承托晶圆盒两侧的托柄，并通过承托臂上的第二卡插限位部与晶圆盒托柄上的第一卡插限位部卡插配合以防止晶圆盒从承托臂上滑脱，从而实现了夹持装置对晶圆盒的夹持。由于本技术的夹持装置，是通过托举的方式进行夹持晶圆盒，故，有效避免了夹持装置压伤晶圆盒、甚至压坏晶圆盒和晶圆的不良现象发生，且第二卡插限位部与第一卡插限位部的卡插配合，又充分保障了晶圆盒承托于夹持装置上的稳固可靠性。此外，由于本技术的夹持装置，不需要设置用于驱动夹紧或者松开晶圆盒的动力机构，故有效简化了夹持装置的结构和控制难度，并利于降低夹持装置的成本。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0025]图1是本技术实施例提供的夹持装置一个视角的示意图；
[0026]图2是图1中A处的局部放大图；
[0027]图3是图1中B处的局部放大图；
[0028]图4是本技术实施例提供的夹持装置另一个视角的示意图；
[0029]图5是本技术实施例提供的夹持装置承托晶圆盒的结构示意图；
[0030]图6是图5中C处的局部放大图；
[0031]图7是本技术实施例提供的晶圆盒的结构示意图；
[0032]图8是本技术实施例提供的晶圆搬运机器人的结构示意图。
[0033]附图标号说明：1、晶圆搬运机器人；10、搬运执行机构；100、夹持装置； 110、承托臂；1100、支撑面；111、承托臂本体；1111、第一限位部；1112、第二限位部；112、限位件；1120、第二卡插限位部；1121、第一限位面；1122、第二限位面；1123、光滑过渡面；1124、连接座；1101、避让空间；120、连接臂；130、探测器；140、识别定位装置；150、识别检测装置；200、主座体； 201、容置槽；300、机械臂；20、自动导引车；2、晶圆盒；21、托柄；211、第一卡插限位部；22、晶圆盒本体。
具体实施方式
[0034]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0035]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种夹持装置，用于夹持两相对侧分别凸设有托柄且所述托柄上设有第一卡插限位部的晶圆盒，其特征在于：所述夹持装置包括两个间隔相对设置以分别用于一对一承托两个所述托柄的承托臂和连接于两个所述承托臂之间的连接臂，所述承托臂上设有用于与所述第一卡插限位部卡插配合以防止所述晶圆盒从所述承托臂上滑脱的第二卡插限位部。2.如权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：所述承托臂具有用于支撑所述托柄的支撑面，所述第二卡插限位部为延伸于所述支撑面上方以用于卡插于所述第一卡插限位部内的凸台。3.如权利要求2所述的夹持装置，其特征在于：所述凸台从所述支撑面以截面面积逐渐减小的趋势延伸于所述支撑面的上方。4.如权利要求2或3所述的夹持装置，其特征在于：所述凸台的侧部具有朝向所述连接臂设置的第一限位面和背对所述连接臂设置的第二限位面，一个所述承托臂上的所述第一限位面和所述第二限位面以二者之距离逐渐增大的趋势朝远离另一个所述承托臂的方向倾斜延伸。5.如权利要求4所述的夹持装置，其特征在于：所述凸台的侧部还具有连接于所述第一限位面与所述第二限位面之间的光滑过渡面，一个所述承托臂上的所述第一限位面和所述第二限位面以二者之距离逐渐增大的趋势从所述光滑过渡面朝远离另一个所述承托臂的方向倾斜延伸。6.如权利要求1至3任一项所述的夹持装置，其特征在于：所述承托臂包括承托臂本体和安装于所述承托臂本体侧部的限位件，所述限位件上设有所述第二卡插限位部。7....
【专利技术属性】
技术研发人员：黄宗勇，丁凯旋，杨超，
申请(专利权)人：深圳优艾智合机器人科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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