【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆盒检测领域，尤其涉及一种晶圆盒检测装置及搬运机器人。
技术介绍
1、在电子半导体领域，晶圆是集成电路制造的基本材料，所有集成电路的设计和制造，都是以晶圆为载体，因其外形为圆形，故称之为晶圆。晶圆通常放置在晶圆盒内完成搬移与运输工作。
2、相关技术的晶圆盒搬运机器人中，晶圆盒储位通常设有检测晶圆盒是否放置的检测装置，但是该检测装置大多结构复杂，且在使用时容易产生灰尘等颗粒物质影响晶圆的操作环境。
技术实现思路
1、本技术的第一个目的在于提供一种晶圆盒检测装置，其旨在解决相关技术中的晶圆盒检测装置结构复杂的技术问题。
2、为达到上述目的，本技术提供的方案是：
3、一种晶圆盒检测装置，设于搬运机器人的物料承载平台，晶圆盒检测装置包括固定组件、检测元件、触发件和第一弹性件，固定组件设于物料承载平台，检测元件设于固定组件，触发件可活动地设于固定组件，并至少部分凸出于物料承载平台；
4、第一弹性件设于触发件与固定组件之间，并分别与触发件和固...
【技术保护点】
1.一种晶圆盒检测装置，设于搬运机器人的物料承载平台，其特征在于，所述晶圆盒检测装置包括固定组件、检测元件、触发件和第一弹性件，所述固定组件设于物料承载平台，所述检测元件设于所述固定组件，所述触发件可活动地设于所述固定组件，并至少部分凸出于所述物料承载平台；
2.如权利要求1所述的晶圆盒检测装置，其特征在于，所述触发件包括第一触发部和第二触发部，所述第一触发部活动连接于所述固定组件，并部分凸出于所述物料承载平台；
3.如权利要求2所述的晶圆盒检测装置，其特征在于，所述第一弹性件围设于所述第二触发部的外周侧，且所述第一弹性件的内周侧与所述第二触发
【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒检测装置，设于搬运机器人的物料承载平台，其特征在于，所述晶圆盒检测装置包括固定组件、检测元件、触发件和第一弹性件，所述固定组件设于物料承载平台，所述检测元件设于所述固定组件，所述触发件可活动地设于所述固定组件，并至少部分凸出于所述物料承载平台；
2.如权利要求1所述的晶圆盒检测装置，其特征在于，所述触发件包括第一触发部和第二触发部，所述第一触发部活动连接于所述固定组件，并部分凸出于所述物料承载平台；
3.如权利要求2所述的晶圆盒检测装置，其特征在于，所述第一弹性件围设于所述第二触发部的外周侧，且所述第一弹性件的内周侧与所述第二触发部的外壁面接触。
4.如权利要求3所述的晶圆盒检测装置，其特征在于，所述晶圆盒检测装置还包括第二弹性件，所述第二弹性件围设于所述第一弹性件的外周侧，且所述第二弹性件的内侧与所述第一弹性件之间形成间隔；
5.如权利要求2所述的晶圆盒检测装置，其特征在于，所述固定组件包括固定壳体和安装座，所述触发件可活动地设于所述固定壳体，所述第一弹性件设于所述固定壳体内，所述第一弹性件...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄宗勇，张海锋，黎江华，赵万秋，边旭，
申请(专利权)人：深圳优艾智合机器人科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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