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本技术适用于晶圆盒检测领域，公开了一种晶圆盒检测装置及搬运机器人，其中，晶圆盒检测装置包括固定组件、检测元件、触发件和第一弹性件，固定组件设于物料承载平台，检测元件设于固定组件，触发件可活动地设于固定组件，并至少部分凸出于物料承载平台；第一...
该专利属于深圳优艾智合机器人科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳优艾智合机器人科技有限公司授权不得商用。

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