固态成像器件及其制造方法技术

在滤色镜层１２０和光电转换部分之间设置的每个层内透镜具有由中心透镜１３２和环形透镜１３４构成的菲涅耳透镜结构。结果，减小了层内透镜的厚度，不必减小滤色镜层的厚度就可以降低上透镜的位置。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。尤其是本专利技术涉及一种固态成像器件以及制造这种固态成像器件的方法，在该固态成像器件中光电转换部分的逐像素阵列按照入射光的量(如同在CCD即“电荷耦合器件”的情况中)生成电荷，由电荷传送部分分别传送光电转换部分生成的电荷用以输出电信号。
技术介绍
近年来，固态成像器件(例如CCD)在增加像素数量和降低器件尺寸方面取得了显著改进。与每个像素面积相比，一般在固态成像器件中，在光罩(photoshield)膜中设置的相应孔径较小，光罩膜设置在光电二极管部分之上。而且，随着像素尺寸的减小(例如到大约3μm×3μm或更小)，与常规情况相比被每个光电二极管部分接收的绝对光量进一步减少。因此，任何入射到每个像素的光必须有效地穿过相应的孔径。为了有效收集进入到每个像素的孔径的光，常规固态成像器件设置有微透镜(以下称为“上透镜”)，其设置在滤色镜上。最近，为了进一步增加光焦度并获得改进的灵敏度，不仅在滤色镜上面而且在滤色镜下都设置微透镜(以下称为“层内透镜”)已经付诸实践(例如参见日本专利特开公开(Japanese Patent Laid-OpenPublication)No.20本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固态成像器件，其中光电转换部分的逐像素阵列的每一个按照进到光电转换部分的光的量生成电荷，并且光电转换部分生成的电荷被转换为将输出的电信号，该固态成像器件包括：设置在光电转换部分上面的滤色镜层，该滤色镜层使特定波长的光从其通过；　 　设置在滤色镜层之上的上透镜，该上透镜使入射光会聚，从而进入滤色镜层；和在滤色镜层和光电转换部分之间布置的层内透镜，每个层内透镜使被每个上透镜会聚的光进一步会聚，从而进到相应的光电转换部分，其中每个层内透镜具有菲涅耳透镜 结构。

【技术特征摘要】
JP 2003-6-18 173946/20031.一种固态成像器件，其中光电转换部分的逐像素阵列的每一个按照进到光电转换部分的光的量生成电荷，并且光电转换部分生成的电荷被转换为将输出的电信号，该固态成像器件包括设置在光电转换部分上面的滤色镜层，该滤色镜层使特定波长的光从其通过；设置在滤色镜层之上的上透镜，该上透镜使入射光会聚，从而进入滤色镜层；和在滤色镜层和光电转换部分之间布置的层内透镜，每个层内透镜使被每个上透镜会聚的光进一步会聚，从而进到相应的光电转换部分，其中每个层内透镜具有菲涅耳透镜结构。2.根据权利要求1的固态成像器件，其中每个层内透镜包括具有圆形和弯曲表面的中心透镜，圆形和弯曲表面的中心在中心透镜的光轴上；和布置在中心透镜外面的至少一个环形透镜，该至少一个环形透镜具有环形和带状的面，其与中心透镜共光轴。3.根据权利要求2的固态成像器件，其中中心透镜的折射率和该至少一个环形透镜的折射率不同。4.根据权利要求3的固态成像器件，其中中心透镜的折射率和该至少一个环形透镜的折射率沿向外并远离中心透镜的光轴方向增加。5.根据权利要求3的固态成像器件，其中中心透镜的折射率和该至少一个环形透镜的折射率沿向外并远离中心透镜的光轴方向减小。6.根据权利要求2的固态成像器件，其中该至少一个环形透镜沿着其半径方向的宽度在向外并远离中心透镜的光轴方向减小。7.根据权利要求1的固态成像器件，其中每个层内透镜包括SiN(氮化硅)。8.一种固态成像器件的制造方法，该固态成像器件中光电转换部分的逐像素阵列中的每一个根据进到光电转换部分的光的量生成电荷，该固态成像器件具有在光电转换部分和滤色镜层之间设置的层内透镜，该方法包括在光电转换部分层上形成绝缘膜的绝缘膜形成步骤；在绝缘膜上形成透镜的透镜形成步骤，每个透镜紧邻于相应...

【专利技术属性】
技术研发人员：栗山俊宽，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]