【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及具有彩色图像显示功能的液晶显示装置，尤其涉及有源型(active)的液晶显示装置。
技术介绍
近年来，随着微细加工技术、液晶材料技术及高密度安装技术等技术的进步，5至50cm对角的液晶显示装置中，在商用基础下大量提供电视图像或各种图像显示机器。另外，通过在构成液晶面板的两片玻璃基板的一边，预先形成RGB的着色层，也比较容易实现彩色显示。尤其各像素内设有开关元件的所谓的有源型(active)液晶面板中，信号间串音(cross-talk)较少、反应速度也较快，保证得以获致具有高对比值的图像。一般，这些液晶显示装置(液晶面板)是由200至1200条的扫描线，300至1600条左右的信号线的矩阵所编成者，近来，可对应显示容量增大的大画面化和高精细化正同时进行中。图28是显示液晶显示面板的安装状态，利用COG(Chip-On-Glass)方式或TCP(Tape-Carrier-Package)方式等安装手段，将电性信号供给至图像显示部。该COG方式，是使用导电性粘着剂，连接用以将驱动信号供给至扫描线电极端子群5的半导体积体电路晶片3，而该扫描线电极端子群5...
【技术保护点】
一种液晶显示装置，包括第１透明性绝缘基板、和与上述第１透明性绝缘基板相对的第２透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第１透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有：绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于漏极布线的像素电极的单位像素，被配列成二维矩阵，其特征为：至少在第１透明性绝缘基板的一主面上，形成有由一层以上的金属层所构成且其侧面具有绝缘层的扫描线；在栅极电极上，形成一层以上的栅极绝缘层和不含杂质的第１半 导体层；在上述第１半导体层上，形成宽度比栅极电极还细的保护绝缘层；在图像显示部以外的...
【技术特征摘要】
JP 2003-7-30 2003-2823031.一种液晶显示装置，包括第1透明性绝缘基板、和与上述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第1透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于漏极布线的像素电极的单位像素，被配列成二维矩阵，其特征为至少在第1透明性绝缘基板的一主面上，形成有由一层以上的金属层所构成且其侧面具有绝缘层的扫描线；在栅极电极上，形成一层以上的栅极绝缘层和不含杂质的第1半导体层；在上述第1半导体层上，形成宽度比栅极电极还细的保护绝缘层；在图像显示部以外的区域，于扫描线上的栅极绝缘层形成开口部，而在开口部内露出部分扫描线；在上述部分保护绝缘层上和第1半导体层上和第1透明性绝缘基板上，形成由含杂质的第2半导体层与含耐热金属层的一层以上可阳极氧化的金属层层积所构成的源极(信号线)·漏极布线、和同样地含上述开口部周边的第1半导体层的扫描线电极端子；在上述部分漏极布线上和第1透明性绝缘基板上，形成透明导电性的像素电极，在图像显示部以外区域的信号线上，形成透明导电性的电极端子；及除了与上述漏极布线的像素电极重叠的区域和信号线电极端子的区域外，在源极·漏极布线的表面，形成阳极氧化层。2.一种液晶显示装置，包括第1透明性绝缘基板、和与上述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第1透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于漏极布线的像素电极的单位像素，被配列成二维矩阵，其特征为至少在第1透明性绝缘基板的一主面上，形成由透明导电层和第1金属层的层积所构成且其侧面具有绝缘层的扫描线、和透明导电性像素电极与信号线的电极端子；在栅极电极上，形成一层以上的栅极绝缘层和不含杂质的第1半导体层；在上述第1半导体层上，形成宽度比栅极电极还细的保护绝缘层；在图像显示部以外的区域，去除扫描线上的栅极绝缘层，而露出作为扫描线的电极端子的透明导电层；在上述部分保护绝缘层上和第1半导体层上和第1透明性绝缘基板上和上述信号线的部分电极端子上，形成由含杂质的第2半导体层和含耐热金属层的一层以上的第2金属层的层积所构成的源极布线(信号线)，以及在上述部分保护绝缘层上和第1半导体层上和第1透明性绝缘基板上和上述部分像素电极上，同样地形成漏极布线；及在上述源极·漏极布线上，形成感光性有机绝缘层。3.一种液晶显示装置，包括第1透明性绝缘基板、和与上述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第1透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于漏极布线的像素电极的单位像素，被配列成二维矩阵，其特征为至少在第1透明性绝缘基板的一主面上，形成由透明导电层和第1金属层的层积所构成且其侧面具有绝缘层的扫描线、和透明导电性像素电极；在栅极电极上，形成一层以上的栅极绝缘层和不含杂质的第1半导体层；在上述第1半导体层上，形成宽度比栅极电极还细的保护绝缘层；在图像显示部以外的区域，去除扫描线上的栅极绝缘层，而露出作为部分扫描线的透明导电层；在上述部分保护绝缘层上和第1半导体层上和第1透明性绝缘基板上，形成由含杂质的第2半导体层、和含耐热金属层的一层以上的第2金属层的层积所构成的源极布线(信号线)；以及在上述部分保护绝缘层上和第1半导体层上和第1透明性绝缘基板上和上述部分像素电极上，同样形成漏极布线；以及同样形成含上述部分扫描线的扫描线电极端子；以及在图像显示部以外的区域，形成由部分信号线所构成的信号线电极端子；及除了上述信号线的电极端子上之外，在信号线上形成感光性有机绝缘层。4.一种液晶显示装置，包括第1透明性绝缘基板、和与上述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第1透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于漏极布线的像素电极的单位像素，被配列成二维矩阵，其特征为至少在第1透明性绝缘基板的一主面上，形成由透明导电层和第1金属层的层积所构成且其侧面具有绝缘层的扫描线、和透明导电性像素电极；在栅极电极上，形成一层以上的栅极绝缘层和不含杂质的第1半导体层；在上述第1半导体层上，形成宽度比栅极电极还细的保护绝缘层；在图像显示部以外的区域，去除扫描线上的栅极绝缘层，而露出作为部分扫描线的透明导电层；在上述部分保护绝缘层上和第1半导体层上和第1透明性绝缘基板上，形成由含杂质的第2半导体层、和含耐热金属层的一层以上可阳极氧化的金属层的层积所构成的源极布线(信号线)；以及在上述部分保护绝缘层上和第1半导体层上和第1透明性绝缘基板上和上述部分像素电极上，同样形成漏极布线；以及同样形成含上述部分扫描线的扫描线电极端子；以及在图像显示部以外的区域，形成由部分信号线所构成的信号线电极端子；及除了上述信号线的电极端子上之外，在源极·漏极布线上形成阳极氧化层。5.一种液晶显示装置，包括第1透明性绝缘基板、和与上述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第1透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于上述绝缘栅极型晶体管的漏极的像素电极、和与上述像素电极隔着预定距离形成的相对电极的单位像素，被配列成二维矩阵，其特征为至少在第1透明性绝缘基板的一主面上，形成有由一层以上的第1金属层所构成且其侧面具有绝缘层的扫描线和相对电极；在上述相对电极上，形成一层以上的栅极绝缘层，以及在栅极电极上形成一层以上的栅极绝缘层和不含杂质的第1半导体层；在上述第1半导体层上，形成宽度比栅极电极还细的保护绝缘层；在图像显示部以外的区域，于扫描线上的栅极绝缘层形成开口部，而在开口部内露出部分扫描线；在上述部分保护绝缘层上和第1半导体层上和第1透明性绝缘基板上，形成由含杂质的第2半导体层和含耐热金属层的一层以上的第2金属层的层积所构成的源极布线(信号线)、漏极布线(像素电极)；以及同样形成含上述开口部周边的第1半导体层的扫描线电极端子；以及在图像显示部以外的区域，形成由部分信号线所构成的信号线电极端子；及除了上述信号线的电极端子上之外，在信号线上形成感光性有机绝缘层。6.一种液晶显示装置，包括第1透明性绝缘基板、和与上述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第1透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于上述绝缘栅极型晶体管的漏极的像素电极、和与上述像素电极隔着预定距离形成的相对电极的单位像素，被配列成二维矩阵，其特征为至少在第1透明性绝缘基板的一主面上，形成有由一层以上的第1金属层所构成且其侧面具有绝缘层的扫描线和相对电极；在上述相对电极上，形成一层以上的栅极绝缘层，以及在栅极电极上形成一层以上的栅极绝缘层和不含杂质的第1半导体层；在上述第1半导体层上，形成宽度比栅极电极还细的保护绝缘层；在图像显示部以外的区域，于扫描线上的栅极绝缘层形成开口部，而在开口部内露出部分扫描线；在上述部分保护绝缘层上和第1半导体层上和第1透明性绝缘基板上，形成由含杂质的第2半导体层和含耐热金属层的一层以上可阳极氧化的金属层的层积所构成的源极布线(信号线)、漏极布线(像素电极)；以及同样形成含上述开口部周边的第1半导体层的扫描线电极端子；以及在图像显示部以外的区域，形成由部分信号线所构成的信号线电极端子；及除了上述信号线的电极端子上之外，在源极·漏极布线的表面形成阳极氧化层。7.一种液晶显示装置，包括第1透明性绝缘基板、和与上述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第1透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于漏极布线的像素电极的单位像素，被配列成二维矩阵，其特征为至少在第1透明性绝缘基板的一主面上，形成由透明导电层和第1金属层的层积所构成且其侧面具有绝缘层的扫描线和透明导电性像素电极；在栅极电极上，形成一层以上的栅极绝缘层和不含杂质的第1半导体层；在上述第1半导体层上，形成作为绝缘栅极型晶体管的源极·漏极的一对含杂质的第2半导体层；在图像显示部以外的区域，于扫描线上的栅极绝缘层形成开口部，而在开口部内露出作为部分扫描线的透明导电层；在上述第2半导体层上和第1透明性绝缘基板上，形成由含耐热金属层的一层以上的第2金属层所构成的源极布线(信号线)；以及在上述第2半导体层上和第1透明性绝缘基板上和上述部分像素电极上，同样形成漏极布线、和同样形成含上述开口部的扫描线电极端子；以及在图像显示部以外的区域，形成由部分信号线所构成的信号线电极端子；及上述像素电极上和上述扫描线与信号线的电极端子上，具有开口部的钝化绝缘层，是形成于上述第1透明性绝缘基板上。8.一种液晶显示装置，包括第1透明性绝缘基板、和与上述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第1透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于漏极布线的像素电极的单位像素，被配列成二维矩阵，其特征为至少在第1透明性绝缘基板的一主面上，形成由透明导电层和第1金属层的层积所构成且其侧面具有绝缘层的扫描线和透明导电性像素电极；在栅极电极上，形成一层以上的栅极绝缘层和不含杂质的第1半导体层；在上述第1半导体层上，形成作为绝缘栅极型晶体管的源极·漏极的一对含杂质的第2半导体层；在图像显示部以外的区域，于扫描线上的栅极绝缘层形成开口部，而在开口部内露出作为部分扫描线的透明导电层；在上述第2半导体层上和第1透明性绝缘基板上，形成由含耐热金属层的一层以上可阳极氧化的金属层所构成的源极布线(信号线)；以及在上述第2半导体层上和第1透明性绝缘基板上和上述部分像素电极上，同样形成漏极布线；以及同样形成含上述开口部的扫描线电极端子；以及在图像显示部以外的区域，形成由部分信号线所构成的信号线电极端子；及除了上述信号线的电极端子外，在源极·漏极布线的表面形成阳极氧化层，在上述源极·漏极布线间的第1半导体层上，形成氧化硅层。9.一种液晶显示装置，包括第1透明性绝缘基板、和与上述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第1透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于漏极布线的像素电极的单位像素，被配列成二维矩阵，其特征为至少在第1透明性绝缘基板的一主面上，形成由透明导电层和第1金属层的层积所构成且其侧面具有绝缘层的扫描线和透明导电性像素电极；在栅极电极上，形成一层以上的栅极绝缘层和不含杂质的第1半导体层；在上述第1半导体层上，形成作为绝缘栅极型晶体管的源极·漏极的一对含杂质的第2半导体层；在图像显示部以外的区域，于扫描线上的栅极绝缘层形成开口部，而在开口部内露出作为部分扫描线的透明导电层；在上述第2半导体层上和第1透明性绝缘基板上，形成由含耐热金属层的一层以上的第2金属层所构成的源极布线(信号线)；以及在上述第2半导体层上和第1透明性绝缘基板上和上述部分像素电极上，同样形成漏极布线；以及同样形成含上述开口部周边的第1和第2半导体层的扫描线电极端子；以及在图像显示部以外的区域，形成由部分信号线所构成的信号线电极端子；及在上述像素电极上和上述扫描线与信号线的电极端子上，具有开口部的钝化绝缘层，是形成于上述第1透明性绝缘基板上。10.一种液晶显示装置，包括第1透明性绝缘基板、和与上述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第1透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于漏极布线的像素电极的单位像素，被配列成二维矩阵，其特征为至少在第1透明性绝缘基板的一主面上，形成由透明导电层和第1金属层的层积所构成且其侧面具有绝缘层的扫描线、和将第1金属层层积于周边部的一部分的透明导电性像素电极；在栅极电极上，形成一层以上的栅极绝缘层和不含杂质的第1半导体层；在上述第1半导体层上，形成作为绝缘栅极型晶体管的源极·漏极的一对含杂质的第2半导体层；在图像显示部以外的区域，于扫描线上的栅极绝缘层形成开口部，而在开口部内露出作为部分扫描线的透明导电层；在上述第2半导体层上和第1透明性绝缘基板上，形成由含耐热金属层的一层以上的第2金属层所构成的源极布线(信号线)；以及在上述第2半导体层上和第1透明性绝缘基板上和上述像素电极周边部的部分第1金属层上，同样形成漏极布线；以及同样形成含上述开口部周边的第1和第2半导体层的扫描线电极端子；以及在图像显示部以外的区域，形成由部分信号线所构成的信号线电极端子；及在上述像素电极上和上述扫描线与信号线的电极端子上，具有开口部的钝化绝缘层，是形成于上述第1透明性绝缘基板上。11.一种液晶显示装置，包括第1透明性绝缘基板、和与上述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第1透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于上述绝缘栅极型晶体管的漏极的像素电极、和与上述像素电极隔着预定距离形成的相对电极的单位像素，被配列成二维矩阵，其特征为至少在第1透明性绝缘基板的一主面上，形成由一层以上的第1金属层所构成且其侧面具有绝缘层的扫描线和相对电极；在上述相对电极上形成一层以上的栅极绝缘层，在栅极电极上形成一层以上的栅极绝缘层和不含杂质的第1半导体层；在图像显示部以外的区域，于扫描线上的栅极绝缘层形成开口部，而在开口部内露出部分扫描线；在上述第1半导体层上，形成作为绝缘栅极型晶体管的源极·漏极的一对含杂质的第2半导体层；在上述第2半导体层上和第1透明性绝缘基板上，形成由含耐热金属层的一层以上的第2金属层所构成的源极布线(信号线)·漏极布线(像素电极)；以及同样形成含上述开口部周边的第1和第2半导体层的扫描线电极端子；以及在图像显示部以外的区域，形成由部分信号线所构成的信号线电极端子；及在上述扫描线与信号线的电极端子上，具有开口部的钝化绝缘层，是形成于上述第1透明性绝缘基板上。12.一种液晶显示装置，包括第1透明性绝缘基板、和与上述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第1透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于上述绝缘栅极型晶体管的漏极的像素电极、和与上述像素电极隔着预定距离形成的相对电极的单位像素，被配列成二维矩阵，其特征为至少在第1透明性绝缘基板的一主面上，形成由一层以上的第1金属层所构成且其侧面具有绝缘层的扫描线和相对电极；在上述相对电极上，形成一层以上的栅极绝缘层，以及在栅极电极上形成一层以上的栅极绝缘层和不含杂质的第1半导体层；在图像显示部以外的区域，于扫描线上的栅极绝缘层形成开口部，而在开口部内露出部分扫描线；在上述第1半导体层上，形成作为绝缘栅极型晶体管的源极·漏极的一对含杂质的第2半导体层；在上述第2半导体层上和第1透明性绝缘基板上，形成由含耐热金属层的一层以上可阳极氧化的金属层所构成的源极布线(信号线)·漏极布线(像素电极)；以及同样形成含上述开口部周边的第1和第2半导体层的扫描线电极端子；以及在图像显示部以外的区域，形成由部分信号线所构成的信号线电极端子；除了上述信号线的电极端子外，在源极·漏极布线的表面形成阳极氧化层；及在上述源极·漏极布线间的第1半导体层上，形成氧化硅层。13.如权利要求1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、或12项所记载的液晶显示装置，其中，形成于扫描线侧面的绝缘层是有机绝缘层。14.如权利要求1、5、6、11、或12项所记载的液晶显示装置，其中，第1金属层是由可阳极氧化的金属层所构成，而形成于扫描线侧面的绝缘层是阳极氧化层。15.一种液晶显示装置的制造方法，包括第1透明性绝缘基板、和与上述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第1透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于漏极布线的像素电极的单位像素配列成二维矩阵而构成，其特征为具备下列步骤至少在第1透明性绝缘基板的一主面上，依序被覆一层以上的金属层、和一层以上的栅极绝缘层、和不含杂质的第1非晶质硅层、和保护绝缘层的步骤；对应于扫描线，在图像显示部以外的区域，形成扫描线的接触形成区域上的膜厚比其他区域更薄的感光性树脂图形的步骤；以上述感光性树脂图形作为掩模，依序蚀刻上述保护绝缘层、和第1非晶质硅层、和栅极绝缘层、和第1金属层的步骤；减少上述感光性树脂图形的膜厚，露出接触形成区域上的保护绝缘层的步骤；在扫描线的侧面，形成绝缘层的步骤；以上述膜厚减少的感光性树脂图形作为掩模，蚀刻上述接触区域的保护绝缘层、和第1非晶质硅层、和栅极绝缘层，而露出部分扫描线的步骤；在上述第1透明性绝缘基板的整面，被覆含杂质的第2非晶质硅层的步骤；被覆含耐热金属层的一层以上可阳极氧化的金属层后，以与上述保护绝缘层呈部分重叠的方式，形成源极(信号线)·漏极布线、和含上述部分扫描线的扫描线电极端子的步骤；在上述第1透明性绝缘基板上和部分漏极布线上，形成透明导电性像素电极；和在图像显示部以外的区域于信号线上，形成透明导电性电极端子；和在上述扫描线的电极端子上，形成透明导电性电极端子的步骤；与以使用于上述像素电极和电极端子的选择图形形成的感光性树脂图形作为掩模，一边保护透明导电性像素电极和透明导电性电极端子，一边将源极·漏极布线施以阳极氧化的步骤。16.一种液晶显示装置的制造方法，包括第1透明性绝缘基板、和与上述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第1透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于漏极布线的像素电极的单位像素配列成二维矩阵而构成，其特征为具备下列步骤至少在第1透明性绝缘基板的一主面上，依序被覆透明导电层、和第1金属层、和一层以上的栅极绝缘层、和不含杂质的第1非晶质硅层、和保护绝缘层的步骤；对应于扫描线和像素电极及扫描线和信号线的电极端子，在像素电极上和图像显示部以外的区域，形成扫描线和信号线的电极端子形成区域上的膜厚比其他区域更薄的感光性树脂图形的步骤；以上述感光性树脂图形作为掩模，依序蚀刻上述保护绝缘层、和第1非晶质硅层、和栅极绝缘层、和第1金属层、和透明导电层的步骤；减少上述感光性树脂图形的膜厚，露出像素电极上和扫描线与信号线的电极端子形成区域上的保护绝缘层的步骤；在扫描线的侧面，形成绝缘层的步骤；以上述膜厚减少的感光性树脂图形作为掩模，蚀刻像素电极上和扫描线与信号线的电极端子区域上的保护绝缘层、和第1非晶质硅层、和栅极绝缘层、和第1金属层，而露出透明导电性的像素电极、和扫描线的电极端子、和信号线的电极端子的步骤；在栅极电极上，选择性地形成宽度比栅极电极还细的保护绝缘层，而露出第1非晶质硅层的步骤；在上述第1透明性绝缘基板的整面，被覆含杂质的第2非晶质硅层的步骤；与被覆含耐热金属层的一层以上的第2金属层后，以与上述保护绝缘层呈部分重叠的方式，形成含信号线的部分电极端子且表面具有感光性有机绝缘层的源极布线(信号线)、和同样含部分像素电极的漏极布线的步骤。17.一种液晶显示装置的制造方法，包括第1透明性绝缘基板、和与上述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第1透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于漏极布线的像素电极的单位像素配列成二维矩阵而构成，其特征为具备下列步骤至少在第1透明性绝缘基板的一主面上，依序被覆透明导电层...
【专利技术属性】
技术研发人员：川崎清弘，
申请(专利权)人：广辉电子股份有限公司，广辉电子日本株式会社，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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