薄膜晶体管液晶显示器制造技术

一种在一基底上制作而成的薄膜晶体管液晶显示器，其特征在于，它包括：　　　　沉积在该基底上的一第一金属层；　　　　对该第一金属层进行光蚀刻从而在该基底表面形成的该薄膜晶体管的一栅极；　　　　依序形成于该栅极上的一栅极绝缘层、一非晶硅层与一第二金属层；　　　　形成该第二金属层上的一第一光阻层后，再形成该第一光阻层上的一第二光阻层，该第二光阻层包含有一开口，以暴露部分的该第一光阻层，再通过利用第一光阻层进行蚀刻以去除未被该第一光阻层所覆盖的该第二金属层与该非晶硅层、以及利用该第二光阻层并透过该开口进行蚀刻以去除未被该第二光阻层所覆盖的该第一光阻层与该开口下方的该第二金属层而形成的该薄膜晶体管的一源极与一漏极；　　　　形成于该基底上的一保护层。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术涉及一种薄膜晶体管液晶显示器(thin film transistorliquid crystal display，TFT LCD)。
技术介绍
随着电子信息产业的蓬勃发展，液晶显示器(1iquid crystaldisplay，LCD)的应用范围以及市场需求也不断在扩大，从小型产品如电子血压计，到可携带式信息产品如个人数字助理(PDA)、笔记型计算机(notebook)，以至于未来非常可能商业化的大画面显示器，均可见到液晶显示器被广泛应用于其上。也由于液晶显示器的结构非常轻薄短小，同时又具有耗电量少以及无辐射污染的优点，因此其被广泛应用在上述民生及信息产品上。一般而言，一薄膜晶体管液晶显示器由数十或数百个薄膜晶体管液晶(thin film transistor，TFT)所构成。请参考图1至图4，图1至图4为现有技术中制作一薄膜晶体管液晶显示器的薄膜晶体管的方法的示意图。如图1所示，首先提供一玻璃基底10，且玻璃基底10上形成有一由铜(Cu)或铝(Al)等金属所构成的栅极12。接着在栅极12上依序形成一栅极绝缘层(gate insulating layer，GI layer)本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：许祝维，
申请(专利权)人：广辉电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：