OTP器件(三)制造技术

技术编号:3202551 阅读:163 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种OTP器件,其特征在于:Endcap位于A、B处的Poly减小或缩至扩散区内。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于半导体集成电路或分离元器件的OTP器件。
技术介绍
在Single-Poly OTP器件(单层多晶硅一次可编程器件)设计中,如何提高编程前后的开启电压差,是直接决定器件开发成败的关键因数。现有技术中的Single-Poly OTP器件,均在电容型晶体管侧采用N+/NWell,P+/PWell或在Poly下做一层掩埋层的结构。《A Single Poly EEPROMCell Structure for Use in Standard CMOS Processes》(IEEEJOURNALOF SOLID-STATECIRCUITS,VOL.24,NO.4,AUGUST 1989)、《Celland Circuit Design for Single-Poly EPROM》(IEEEJOURNAL OF SOLID-STATECIRCUITS,VOL.29,NO.3,March,1994)等文献都介绍了这种结构的OTP器件。该Single-Poly OTP器件,通常在设计电容时,一般会按照设计规则使用Endcap(即Poly相对于扩散区有一段规定长度的延伸段)本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种OTP器件,其特征在于Endcap...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐向明
申请(专利权)人:上海华虹NEC电子有限公司
类型:发明
国别省市:

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