连续横向结晶装置和使用它结晶硅的方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种连续横向结晶（ＳＬＳ）装置和用它结晶硅的方法，其中用具有多个不同图案的掩模在基板上形成对准键，并且根据掩模与对准键之间的距离信息按平行于连接相邻对准键的虚线的方向进行结晶。所述ＳＬＳ装置包括发射激光束的激光束发生器；具有多个区的掩模；移动其上承载的掩模的掩模工作台，使激光束穿过掩模的选择区；和基板工作台，移动其上承载的基板，改变穿过掩模的激光束照射的基板部分。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种硅结晶方法，特别涉及一种连续横向结晶(SLS)装置和使用它结晶硅的方法，其中，用具有多个不同图案的掩模在基板上形成对准键，使用掩模与对准键之间的距离信息按平行于连接对准键的虚线方向进行结晶。
技术介绍
随着信息技术的发展，对各种显示器的需求不断增加。近年来，已经研究和开发了各种平板显示器，例如，液晶显示器(LCD)、等离子体显示板(PDP)、电致发光显示器(ELD)、真空荧光显示器(VFD)等。某些平板显示板已经用于各种显示器件中。液晶显示器(LCD)由于具有图像质量高、重量轻、厚度薄、体积小和低功耗等优良特性和优点而被最广泛使用。因此，液晶显示器取代阴极射线管(CRT)用于移动图像显示器件中。液晶显示器已经开发成用于例如电视机、计算机监视器等接收和显示广播信号的装置中。液晶显示器(LCD)通常包括显示图像的液晶显示板和向LCD板提供驱动信号的驱动单元。液晶显示板包括彼此粘接的第一和第二玻璃基板以及注入在第一与第二基板之间的液晶层。在第一玻璃基板(薄膜晶体管(TFT)阵列基板)上形成按固定间隔沿一个方向设置的多条栅线，和按固定间隔垂直于多条栅线设置的多条数据线。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种结晶装置，包括：激光束发生器；掩模，具有对准键区和结晶区；掩模工作台，掩模安装在掩模工作台上，移动掩模工作台使激光束穿过掩模的选择区；和基板工作台，用于移动基板，改变用穿过掩模的激光束照射到基板的位置。

【技术特征摘要】
KR 2003-12-24 10-2003-00965771.一种结晶装置，包括激光束发生器；掩模，具有对准键区和结晶区；掩模工作台，掩模安装在掩模工作台上，移动掩模工作台使激光束穿过掩模的选择区；和基板工作台，用于移动基板，改变用穿过掩模的激光束照射到基板的位置。2.按照权利要求1所述的结晶装置，其特征在于，所述对准键区包括多个透射图案。3.按照权利要求2所述的结晶装置，其特征在于，所述多个透射图案按固定间隔形成。4.按照权利要求1所述的结晶装置，其特征在于，所述基板具有包括多个像素的显示部分和包括驱动电路的非显示部分。5.按照权利要求4所述的结晶装置，其特征在于，所述掩模的结晶区划分为第一区和第二区，第一区对应于基板的显示部分，第二区对应于基板的非显示部分。6.按照权利要求5所述的结晶装置，其特征在于，所述第一区包括至少一个图案块，该图案块具有多个透射部分和多个非透射部分。7.按照权利要求6所述的结晶装置，其特征在于，所述图案块的尺寸对应于基板中一个像素的半导体层的尺寸。8.按照权利要求6所述的结晶装置，其特征在于，所述多个图案块按固定间隔形成。9.按照权利要求5所述的结晶装置，其特征在于，所述第二区具有多个透射部分和多个非透射部分。10.按照权利要求1所述的结晶装置，其特征在于，所述掩模工作台在同一平面上按左右方向移动以对应于掩模的选择区。11.按照权利要求1所述的结晶装置，其特征在于，还进一步包括用于调节掩模轻微移动的倾斜机构和水平机构。12.按照权利要求11所述的结晶装置，其特征在于，所述倾斜机构通过旋转水平移动掩模工作台。13.按照权利要求11所述的结晶装置，其特征在于，所述水平机构垂直移动掩模工作台。14.一种结晶方法，包括以下步骤制备具有显示部分和非显示部分的基板；在基板的整个表面上形成非晶硅层；基板上设置掩模，该掩模具有对准键区和结晶区；通过将掩模移动到对准键区并且用激光束照射非显示区的预定部分，形成对准键；和将掩模移动到结晶区并且通过将激光束照射到非晶硅层上，结晶非晶硅层。15.按照权利要求14所述的结晶方法，其特征在于，所述对准键区包括多个透射图案。16.按照权利要求15所述的结晶方法，其特征在于，所述多个透射图案按固定间隔形成。17.按照权利要求14所述的结晶方法，其特征在于，所述掩模的结晶区划分为第一区和第二区，第一区对应于显示部分，第二区对应于非显示部分。18.按照权利要求17所述的结晶方法，其特征在于，所述第一区包括至少一个图案块，该图案块具有多个透射部分和多个非透射部分。19.按照权利要求18所述的结晶方法，其特征在于，所述图案块的尺寸对应于基板中一个像素的半导体层的尺寸。20.按照权利要求18所述的结晶方法，其特征在于，所述多个图案块按固定间隔形成。21.按照权利要求17所述的结晶方法，其特征在于，所述第二区具有多个透射部分和多个非透射部分。22.按照权利要求14所述的结晶方法，其特征在于，所述对准键形成在非显示区的每个角处。23.按照权利要求14所述的结晶方法，其特征在于，用具有能够剥离对应部分的非晶硅层的能量密度的激光光束照射，形成对准键。24.按照权利要求14所述的结晶方法，其特征在于，用具有能够完全熔化对应部分的非晶硅层的能量密度的激光光束照射...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑允皓，金荣柱，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]