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本发明公开了一种连续横向结晶（ＳＬＳ）装置和用它结晶硅的方法，其中用具有多个不同图案的掩模在基板上形成对准键，并且根据掩模与对准键之间的距离信息按平行于连接相邻对准键的虚线的方向进行结晶。所述ＳＬＳ装置包括发射激光束的激光束发生器；具有多个...
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