液晶显示器及其制造方法技术

技术编号:3199889 阅读:151 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
提供了一种制造液晶显示器的方法,该方法包括:在基板上形成多条选通线和多条数据线,所述多条选通线和多条数据线限定了多个用于显示红、绿和蓝色的单位像素区域,并且在所述多个单位像素区域中形成多个薄膜晶体管;在所得到的基板上形成钝化层;在包含显示绿色的单位像素的区域上形成绿滤色层;在部分地与所述绿滤色层交叠并与所述显示绿色的单位像素邻接的单位像素上形成红滤色层或蓝滤色层;在包含所述绿、红和蓝滤色层的基板的整个表面上淀积有机绝缘层;在所述多个薄膜晶体管上淀积的所述有机绝缘层中形成接触孔;以及形成与所述多个单位像素区域相对应的多个像素电极。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示器(LCD),更具体地,涉及具有COT结构的LCD,其中省略了通常形成在TFT基板上的黑底,并由叠层滤色层代替,从而简化了制造工艺,并提高了图像质量,本专利技术还涉及该LCD的制造方法。
技术介绍
得益于半导体技术的迅速发展,LCD具有外形薄和重量轻的特点,并且当今可以生产出具有优异性能的LCD产品。此前广泛作用为信息显示装置的阴极射线管(CRT)在性能和价格方面具有许多优势,但是在小型化和便携性方面它们也具有很多缺点。和CRT不一样,具有尺寸较小、外形纤薄、重量轻和功耗低等优点的LCD作为能够克服CRT的缺点的替代手段逐渐吸引了人们的注意力,目前在大多数需要显示装置的信息处理设备上安装了LCD。LCD是利用液晶分子对光的调制效果的显示装置,其通常向具有特定分子排列的液晶分子施加电压,以把该特定分子排列改变为不同的分子排列,并利用这种分子排列把发射光的液晶单元的双折射、旋光力、二向色性、散光特性等光学属性转换成视觉属性。LCD是通过包含下列步骤的制造方法制成的按照构成像素单元的LC单元的形成工艺形成LCD板的上基板和下基板,形成配向层并摩擦所形成的配向层,接合上基板和下基板,把液晶充入上基板和下基板之间的间隙中,并封住液晶注入口。具体而言,在形成LCD的上基板时,通过多道掩模工序形成用于遮光的黑底和红(R)、绿(G)和蓝(B)滤色层。同样地,在形成LCD的下基板时,通过多道掩模工序形成用于施加驱动信号的选通线、用于施加数据信号的数据线、以及用于利用所施加的数据信号形成电场的像素电极。但是,现有技术的LCD具有制造工艺复杂的缺点,因为分别地在上基板和下基板上形成滤色层和像素阵列,然后将下基板和上基板接合起来。另外,现有技术的LCD具有图像质量差等的缺点,因为如果在接合上基板和下基板的过程中上基板和下基板没有对齐,则上基板的黑底不能完全遮住从下基板传播来的光。为了克服上述缺点,提出了COT(Colorfilter on TFT,TFT上滤色器)技术,其中在一个玻璃基板上形成包括滤色层和像素电极在内的像素阵列。和通常的在下基板上形成像素阵列并在上基板上形成滤色层的LCD不一样,在具有COT结构的LCD中,在形成有TFT和像素电极的下基板上形成黑底和滤色层。因此,与通常的具有接合在一起的上下基板的LCD相比,现有技术的具有COT结构的LCD具有制造工艺简单的优点。但是,现有技术的具有COT结构的LCD具有制造成本增加的缺点,因为在与TFT一起形成滤色层和黑底时,增加了在TFT上形成黑底的掩模工序。
技术实现思路
因此,本专利技术旨在基本上克服了由于现有技术的限制和缺点造成的一个或多个问题的。本专利技术的一个目的是提供一种具有COT结构的,其通过在形成黑底的区域中形成滤色层,能够省去形成黑底的工序,以减少所使用的掩模数,简化制造工艺,并提高图像质量。本专利技术的其他特征和优点将在随后的说明中进行阐述,一部分可以通过说明书而明了,或者可以通过本专利技术的实践而体验到。通过说明书、权利要求书和附图中具体指出的结构,可以实现或获得本专利技术的这些和其它优点。为了实现这些和其他优点,根据本专利技术的目的,如这里所实施并加以广泛描述的,提供了一种制造液晶显示器的方法,该方法包括在基板上形成多条选通线和多条数据线,这多条选通线和多条数据线限定了多个用于显示红、绿和蓝色的单位像素区域,并在这多个单位像素区域中形成多个薄膜晶体管;在所得到的基板上形成钝化层;在包含显示绿色的单位像素的区域上形成绿滤色层;在部分地与该绿滤色层交叠并与显示绿色的单位像素邻接的单位像素上形成红滤色层或蓝滤色层;在包含绿、红和蓝滤色层的基板的整个表面上淀积有机绝缘层;在所述多个薄膜晶体管上分别淀积的有机绝缘层中形成接触孔;以及,形成与所述多个单位像素区域相对应的多个像素电极。在本专利技术的另一个方面中,一种液晶显示器包括基板;位于基板上的选通线、数据线和薄膜晶体管;分别位于相应的像素区域上的红、绿和蓝滤色层,该红、绿和蓝滤色层层叠地位于薄膜晶体管上;位于红、绿和蓝滤色层上从而使红、绿和蓝滤色层的表面平坦的有机绝缘层;以及,位于有机绝缘层上与红、绿和蓝滤色层相对应的像素电极。可以理解,前面的概述和下面的详细描述都是示例性和说明性的,旨在为权利要求所限定的本专利技术提供进一步的解释。附图说明附图帮助更好地理解本专利技术,并构成本申请的一部分,附图显示了本专利技术的实施例,并与说明书一起解释本专利技术的原理。在附图中图1是根据本专利技术的具有COT(TFT上滤色器)结构的LCD;图2A-2F是示出形成图1的I-I’截面结构的工序的截面图;图3是沿图1的II-II’线截取的截面图;图4A和4B是根据本专利技术另一实施例的截面图;以及图5A和5B是根据本专利技术再一实施例的截面图。具体实施例方式下面对附图中示出的本专利技术优选实施例进行详细说明。图1是根据本专利技术的具有COT(TFT上滤色器)结构的LCD的像素结构的平面图。参照图1,多条数据线108和多条选通线102垂直相交而限定了单位像素区域。在各个单位像素区域上设置有绿(G)、红(R)和蓝(B)滤色层。在绿(G)、红(R)和蓝(B)滤色层上分别设置有像素电极118a、118b和118c,与绿(G)、红(R)和蓝(B)滤色层交迭。图1所示的符号G、B和R分别表示形成在像素电极118a、118b和118c下面的绿(G)、红(R)和蓝(B)滤色层。在数据线108和选通线102的交点边上设置有用作为开关元件的薄膜晶体管(TFT)。TFT包括部分地从选通线102分支出来的栅极101、源极107a和漏极107b。具有COT结构的LCD的特征在于由层叠的R、G和B滤色层,或者对于外界光具有低反射率的R滤色层或B滤色层形成与现有技术LCD中的黑底相应的遮光层。该遮光层位于选通线102、数据线108和形成TFT的区域上或上方。因此,根据本专利技术,可以在形成滤色层的工序中通过层叠组合的滤色层而形成遮光层,而无需执行用于在选通线102、数据线108和TFT上或上方形成遮光层的额外工序。图1中沿着选通线102、数据线108和TFT的阴影线区域对应于形成遮光层的区域。图2A-2F是示出用于形成图1中的I-I’截面结构的工序的截面图。下面参照图2A至2F说明制造具有COT结构的LCD的工序。首先参照图2A,在透明绝缘基板100上形成金属层,然后进行构图以形成多条选通线(未示出)和多个栅极101。通过光刻工艺对选通线和栅极进行构图,光刻工艺包括在包含金属层的基板100上涂布光刻胶膜,对所涂布的光刻胶膜进行曝光和显影,并腐蚀掉露出的金属膜。在基板100上形成栅极101和选通线之后,在所得到的基板100的整个表面上淀积栅绝缘膜103。接下来,参照图2B,在基板的栅绝缘层103上顺序地淀积未掺杂非晶硅层和掺杂非晶硅层(n+Si:H)。在顺序地淀积未掺杂非晶硅层和掺杂非晶硅层(n+Si:H)之后,执行光刻处理以在栅极101上形成沟道层105和欧姆接触层106。接下来,参照图2C,在所得到的包含沟道层105和欧姆接触层106的基板100上淀积用于形成源极和漏极107a和107b以及数据线(未示出)的金属层。此后,通过参照图2A所描述的光刻工艺对该金属层进行构图,以同时形成源极107本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种制造液晶显示器的方法,该方法包括:    在基板上形成多条选通线和多条数据线,所述多条选通线和多条数据线限定了多个用于显示红、绿和蓝色的单位像素区域,并且在所述多个单位像素区域中形成多个薄膜晶体管;    在所得到的基板上形成钝化层;    在包含显示绿色的单位像素的区域上形成绿滤色层;    在部分地与所述绿滤色层交叠并与所述显示绿色的单位像素邻接的单位像素上形成红滤色层或蓝滤色层;    在包含所述绿、红和蓝滤色层的基板的整个表面上淀积有机绝缘层;    在所述多个薄膜晶体管中每一个上淀积的所述有机绝缘层中形成接触孔;以及    形成与所述多个单位像素区域相对应的多个像素电极。

【技术特征摘要】
KR 2004-3-30 10-2004-00215391.一种制造液晶显示器的方法,该方法包括在基板上形成多条选通线和多条数据线,所述多条选通线和多条数据线限定了多个用于显示红、绿和蓝色的单位像素区域,并且在所述多个单位像素区域中形成多个薄膜晶体管;在所得到的基板上形成钝化层;在包含显示绿色的单位像素的区域上形成绿滤色层;在部分地与所述绿滤色层交叠并与所述显示绿色的单位像素邻接的单位像素上形成红滤色层或蓝滤色层;在包含所述绿、红和蓝滤色层的基板的整个表面上淀积有机绝缘层;在所述多个薄膜晶体管中每一个上淀积的所述有机绝缘层中形成接触孔;以及形成与所述多个单位像素区域相对应的多个像素电极。2.根据权利要求1所述的方法,其中在所述显示绿色的单位像素内设置的薄膜晶体管的第一上表面上和所述与其邻接的单位像素上设置的薄膜晶体管的第二上表面上形成所述绿滤色层。3.根据权利要求1所述的方法,其中所述红滤色层的一边层叠在形成有所述绿滤色层的薄膜晶体管上。4.根据权利要求1所述的方法,其中所述蓝滤色层的一边层叠在形成有所述绿滤色层的薄膜晶体管上。5.根据权利要求4所述的方法,其中所述蓝滤色层的另一边层叠在形成有所述红滤色层的薄膜晶体管上。6.一种制造液晶显示器的方法,该方法包括在基板上顺序地形成选通线和栅极、沟道层、以及源/漏极和数据线;在所得到的包含所述源/漏极和数据线的基板上形成钝化层;在所得到的包含所述钝化层的基板上形成绿滤色层,使得外界光被以很低的反射率反射;在所得到的包含所述绿滤色层的基板上顺序地形成红滤色层和蓝滤色层;在包含所述绿、红和蓝滤色层的基板的整个表面上淀积有机绝缘层;在所述有机绝缘层中形成接触孔;以及在所得到的包含所述接触孔的基板上形成像素电极。7.根据权利要求1所述的方法,其中在形成所述绿滤色层的第一像素区域上形成所述绿滤色层,并且延伸到位于与所述第一像素区域邻接的第二像素区域上的薄膜晶体管的上表面。8.根据权利要求6所述的方法,其中在形成所述绿滤色层之后顺序地形成所述红滤色层和所述蓝滤色层。9.根据权利要求6所述的方法,其中在形成所述绿滤色层之后顺序地形成所述蓝滤色层和所述红滤色层。10.根据权利要求6所述的方法,其中在形成所述红滤色层的像素区域上形成所述红滤色层,并且延伸到该像素区域的数据线、选通线和薄膜晶体管的上表面。11.根据权利要求6所述的方法,其中在形成所述蓝滤色层的像素区域上形成所述蓝滤色层,并且延伸到该像素区域的数据线、选通线和薄膜晶体管的上表面。12.根据权利要求6所述的方法,其中在形成所述绿滤色层的区域的数据线、选通线和薄膜晶体管上形成所述红滤色层和/或所述蓝滤色层。13....

【专利技术属性】
技术研发人员:金雄权吴光植南明祐赵基斗申世淙金峰澈崔权燮
申请(专利权)人:乐金显示有限公司
类型:发明
国别省市:KR[韩国]

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