基板的处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板的处理装置，在倾斜输送基板同时进行处理，并能够以支撑辊可靠地支撑成为倾斜方向的下侧的面。包括：以小于所述基板的宽度尺寸的宽度尺寸形成，对所述基板进行各种指定处理、并列设置的多个处理室（３～５）、在设定为短于基板高度尺寸的长度尺寸的各种处理室的上下方向上，以规定间隔平行设置的多个安装部件（１１）、在设置有可旋转地各个安装部件的处理室内，以一定角度倾斜，支撑被送入的基板的倾斜方向的下侧面的支撑辊（１５）、通过设置于各处理室内可进行旋转驱动的支撑辊，通过对被支撑于倾斜方向的下侧面的基板的下端进行支撑且被旋转驱动，以指定方向输送的驱动辊（２２）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在以规定角度倾斜输送基板的同时对其进行处理的基板的处理装置。
技术介绍
在用于液晶显示装置中的玻璃制成的基板上形成电路图形。当在基板上形成电路图形时，采用平版印刷工艺。对于平版印刷工艺来说，如众所周知的那样，将抗蚀剂涂敷在上述基板上，并经由形成有电路图形的掩模来向该抗蚀剂进行光的照射。接着，将抗蚀剂的未照射到光的部分或者将照射了光的部分除去，对基板的已除去抗蚀剂的部分进行蚀刻，在蚀刻后多次反复进行除去抗蚀剂等一系列工序，通过这样而在上述基板上形成电路图形。在这种平版印刷工艺中，具有在上述基板上利用显影液、蚀刻液或者用于在蚀刻后将抗蚀剂除去的剥离液等来对基板进行处理的工序，以及使用清洗液进行清洗的工序，在清洗后将附着残留在基板上的清洗液除去的工序成为必要。以前，在对基板进行上述一系列处理时，利用将轴线呈水平配置的输送辊而以水平状态将上述基板依次输送到各个处理室内，在各处理室内进行上述的各种处理。可是，最近在液晶显示装置中使用的玻璃制成的基板有大型化及薄型化的倾向。因此，如果水平输送基板，则因自重而引起的输送辊之间的基板挠曲将会增大，所以，会发生各处理室内的处理不能沿着本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板的处理装置，以规定角度倾斜输送基板，并在该输送过程中对所述基板进行规定处理，其特征在于，包括：多个处理室，以比所述基板的宽度尺寸小的宽度尺寸形成且并列设置，同时对所述基板进行各种规定处理；多个安装部件，设定为比所述基 板的高度尺寸短的长度尺寸，在各处理室内在上下方向以规定间隔并与所述基板的输送方向平行设置；支撑辊，可旋转地设置在各个安装部件上，支撑以规定角度倾斜输送至所述处理室内的所述基板的倾斜方向的下侧的面；和驱动辊，可旋转驱动地设置于 所述各处理室内，支撑所述基板的下端，并通过旋转驱动而使所述基板沿着规定方向输送，其中，所...

【技术特征摘要】
JP 2004-9-15 2004-2686271.一种基板的处理装置，以规定角度倾斜输送基板，并在该输送过程中对所述基板进行规定处理，其特征在于，包括多个处理室，以比所述基板的宽度尺寸小的宽度尺寸形成且并列设置，同时对所述基板进行各种规定处理；多个安装部件，设定为比所述基板的高度尺寸短的长度尺寸，在各处理室内在上下方向以规定间隔并与所述基板的输送方向平行设置；支撑辊，可旋转地设置在各个安装部件上，支撑以规定角度倾斜输送至所述处理室内的所述基板的倾斜方向的下侧的面；和驱动辊，可旋转驱动地设置于所述各处理室内，支撑所述基板的下端，并通过旋转驱动而使所述基板沿着规定方向输送，其中，所述基板由所述支撑辊支撑着倾斜方向的下侧的面。2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于在多个处理室中的至少一个是向基板喷...

【专利技术属性】
技术研发人员：西部幸伸，矶明典，
申请(专利权)人：芝浦机械电子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]