电子装置制造室及其形成方法制造方法及图纸

在第一方面中，提供了一种第一多板室。该第一多板室包括：（１）中央板，具有第一侧面和第二侧面；（２）第一侧板，适合与中央板的第一侧面连接；以及（３）第二侧板，适合与中央板的第二侧面连接。当中央板、第一侧板和第二侧板连接在一起时，构成基本呈圆筒形的内室区域。还提供了许多其它内容。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及平板显示和/或电子装置制造，尤其涉及。
技术介绍
由于平板显示器中使用的基板尺寸增大，用于制造大型平板显示器的电子装置制造室(如处理和/或传送室)的尺寸也必须增大。但是，基于该室的外形尺寸和/或重量，制造和运输这种室的难度也随着该室的尺寸而增大。因此，需要改进的用于制造大型平板显示器的电子装置制造室，包括改进的运输这种室的方法。
技术实现思路
在某些实施例中，提供了一种多板室，包括(1)中央板，具有第一侧面和第二侧面；(2)第一侧板，适合与中央板的第一侧面连接；(3)第二侧板，适合与中央板的第二侧面连接。当中央板、第一侧板和第二侧板连接在一起时，构成基本呈圆筒形的内室区域。在某些实施例中，提供了一种中央板，具有(1)第一开口侧；(2)第二开口侧，与第一开口侧相对；(3)第一平面，位于第一开口侧和第二开口侧之间，适合与室连接，并具有其大小允许基板通过的开口；(4)第二平面，与第一平面相对，位于第一开口侧和第二开口侧之间。该第二平面适合与室连接，并具有至少两个其大小允许基板通过的垂直堆叠的开口。该多板室还包括(1)第一侧板，适合与中央板的第一开口侧连接，并具有至少第一平面，该第一平面有一开口，该开口的大小允许基板通过；(2)第二侧板，适合与中央板的第二开口侧连接，并具有至少第一平面，该第一平面有一开口，该开口的大小允许基板通过。当第一侧板、第二侧板和中央板连接在一起时，第一侧板的第一平面的开口、第二侧板的第一平面的开口以及中央板的第二平面的第一开口基本位于同一高度。在某些实施例中，提供了一种多板室，包括(1)第一板；(2)至少第二板，与第一板相连，以形成多板室。每个板的尺寸符合陆地和航空运输规定的至少一条，第三个多板室的外形尺寸不符合陆地和航空运输规定的至少一条。在某些实施例中，提供了一种多板室，包括(1)中央板，具有第一侧面、第二侧面和具有半球形部分的底部；(2)第一侧板，适合与中央板的第一侧面连接；(2)第二侧板，适合与中央板的第二侧面连接。在某些实施例中，提供了一种多板室，包括中央板，该中央板具有第一侧面和第二侧面和具有半球形部分和平坦部分的底部。平坦部分具有第一厚度，半球形部分具有小于第一厚度的第二厚度。多板室还包括(1)第一侧板，适合与中央板的第一侧面连接；(2)第二侧板，适合与中央板的第二侧面连接。在某些实施例中，提供了一种多板室，包括中央板，具有(1)第一侧面；(2)第二侧面；(3)第一平面，包括至少一个开口，其大小允许基板通过；(4)第二平面，包括至少三个开口，每一个的大小都允许基板通过。该多板室还包括(1)第一侧板，适合与中央板的第一侧面连接；(2)第二侧板，适合与中央板的第二侧面连接。在某些实施例中，提供了一种多板室，包括(1)中央板，具有第一侧面和第二侧面；(2)第一侧板，适合与中央板的第一侧面连接；(3)第二侧板，适合与中央板的第二侧面连接。中央板的第一侧面包括至少第一凹口，适合允许基板在多板室中旋转，并将基板从多板室传送到与多板室的第一侧板相连的室。在某些实施例中，提供了一种多板室，包括(1)中央板，具有第一侧面和第二侧面；(2)第一侧板，适合与中央板的第一侧面连接，具有至少一个片状结构，适合减小第一侧板的侧壁的移动；(3)第二侧板，适合与中央板的第二侧面连接。在某些实施例中，提供了一种多板室，包括(1)中央板，具有第一侧面和第二侧面；(2)第一侧板，适合与中央板的第一侧面连接。该第一侧板包括至少一个支撑结构，适合减小第一侧板的侧壁的移动。该多板室还包括第二侧板，适合与中央板的第二侧面连接。该第二侧板包括至少一个支撑结构，适合减小第二侧板的侧壁的移动。另外，中央板、第一侧板和第二侧板连接在一起时，形成基本呈圆筒形内室区域。在某些实施例中，提供了一种多板室，包括(1)中央板，具有第一侧面和第二侧面；(2)第一侧板，适合与中央板的第一侧面连接；(3)第二侧板，适合与中央板的第二侧面连接；(4)盖，适合覆盖至少该中央板。该盖包括平坦部分和多个支撑元件，适合减小平坦部分在垂直方向上的移动。在某些实施例中，提供了一种多板室，包括(1)中央板，具有第一侧面和第二侧面；(2)第一侧板，适合与中央板的第一侧面连接；(3)第二侧板，适合与中央板的第二侧面连接；(4)盖，适合覆盖至少该中央板。该盖包括至少一个凹口，适合提供在多板室的内部区域的存取，而不需移走该盖。在某些实施例中，提供了一种多板电子装置制造室，包括(1)确定电子装置制造室的一个或多个外形尺寸；(2)确定如何将电子装置制造室分割成多个板，使多个板中每一个的尺寸符合陆地和航空运输规定的至少一条；(3)制造多个板。该多板室的外形尺寸不符合陆地和航空运输规定的至少一条。在某些实施例中，提供了一种运输多板室的方法，包括(1)通过陆地或航空运输多个室板的第一板；(2)通过陆地或航空运输多个室板的第二板；(3)运输第一和第二板时，符合必要的运输规定的至少一条。该多板室的外形尺寸违反了陆地和航空运输规定的至少一条。在某些实施例中，提供了一种运输多板室的方法，该多板室具有中央板、第一侧板和第二侧板。该方法包括(1)将真空自动控制装置的至少一部分放在该室的中央板中；(2)通过陆地或航空运输中央板；(3)将第一侧板与第二侧板相连；(4)通过陆地或航空将第一和第二侧板一起运输；(5)运输中央板、第一侧板和第二侧板时，符合必要的运输规定。多板室的外形尺寸违反了陆地和航空运输规定的至少一条。在某些实施例中，提供了一种支撑电子装置制造室的方法，包括(1)将电子装置制造室与电子装置制造室支撑件的一个或多个滑动机构相连；(2)使用一个或多个滑动机构，以接纳电子装置制造室的膨胀，从而阻止电子装置制造室移出电子装置制造室支撑件上的位置。在某些实施例中，提供了一种支撑电子装置制造室的设备。该设备包括底座，该底座包括(1)一个或多个支撑元件；(2)一个或多个滑动机构，该一个或多个滑动机构适合与电子装置制造室相连并接纳电子装置制造室的膨胀，从而阻止电子装置制造室移出底座上的位置。在某些实施例中，提供了一种设备，包括一种单元，该单元具有(1)多板室的中央板，适合与第一侧板和第二侧板相连，以形成多板室；(2)真空自动控制装置，位于中央板内；(3)中央板的底座，与该中央板相连。该单元的尺寸符合陆地和航空运输规定的至少一条。在某些实施例中，提供了一种设备，包括一种单元，该单元具有(1)多板室的第一侧板；(2)多板室的第二侧板。该第一和第二侧板适合与中央板相连，以形成多板室。该单元还包括(1)第一底座板，与第一侧板相连；(2)第二底座板，与第二侧板相连。该单元的尺寸符合陆地和航空运输规定的至少一条。还提供了许多其它方面，与本专利技术的上述及其它方面一致。本专利技术的其它特征和方面通过下面的具体描述、附带的权利要求和附图会变得显而易见。附图说明图1是按照本专利技术某些实施例，第一典型多板电子装置制造室的俯视图。图2A是按照本专利技术的某些实施例，第一典型多板电子装置制造室的分解立体图。图2B是图2A所示的第一室组装起来的立体图。图2C是图2A所示的第一室的俯视图。图2D是图2A所示的第一室的侧视图。图2E是图2A所示的使用替换盖设计的第一室的立体图。图3是按照本专利技术的某些实施例，第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多板室，包括：　　　　中央板，具有第一侧面和第二侧面；　　　　第一侧板，适合与中央板的第一侧面连接；且　　　　第二侧板，适合与中央板的第二侧面连接；　　　　其中，当中央板、第一侧板和第二侧板连接在一起时，构成基本呈圆筒状的内室区域。

【技术特征摘要】
US 2004-6-2 60/576,902;US 2004-7-12 60/587,1091.一种多板室，包括中央板，具有第一侧面和第二侧面；第一侧板，适合与中央板的第一侧面连接；且第二侧板，适合与中央板的第二侧面连接；其中，当中央板、第一侧板和第二侧板连接在一起时，构成基本呈圆筒状的内室区域。2.如权利要求1所述的多板室，其特征在于，中央板、第一侧板和第二侧板连接在一起时形成传送室。3.如权利要求1所述的多板室，其特征在于其中，中央板基本呈矩形。4.如权利要求1所述的多板室，其特征在于其中，中央板具有大约3米或更长的长度。5.如权利要求4所述的多板室，其特征在于，中央板具有大约2.4米或更宽的宽度。6.如权利要求1所述的多板室，其特征在于，中央板包括具有半球形部分的底部。7.如权利要求6所述的多板室，其特征在于，半球形部分适于容纳真空自动控制装置。8.如权利要求6所述的多板室，其特征在于，半球形部分包括至少一个片状支撑件，适于减小半球形部分在垂直方向上的移动。9.如权利要求8所述的多板室，其特征在于，半球形部分包括多个片状支撑件，每个片状支撑件适于减小半球形部分在垂直方向上的移动。10.如权利要求6所述的多板室，其特征在于，中央板的底部包括平坦部分。11.如权利要求10所述的多板室，其特征在于，平坦部分具有第一厚度，半球形部分具有小于第一厚度的第二厚度。12.如权利要求11所述的多板室，其特征在于，第一厚度约为0.75至1.0英寸或更小，第二厚度约为0.375英寸或更小。13.如权利要求11所述的多板室，其特征在于，平坦部分和半球形部分由不锈钢材料形成。14.如权利要求1所述的多板室，其特征在于，中央板具有第一平面和第二平面，其中，第一平面包括至少一个开口，其大小允许基板通过；第二平面包括至少两个开口，每一个的大小都允许基板通过。15.如权利要求14所述的多板室，其特征在于，第二平面包括至少三个开口，每一个的大小都允许基板通过。16.如权利要求14所述的多板室，其特征在于，第一平面适于密封连接于处理室。17.如权利要求16所述的多板室，其特征在于，第二平面适于密封连接于装载锁室。18.如权利要求17所述的多板室，其特征在于，第二平面适于密封连接于装载锁室，该室存储至少三个垂直堆叠的基板，其中，第二平面具有第一开口，其大小允许基板在第一高度上在中央板和装载锁室之间通过；第二开口，其大小允许基板在第二高度上在中央板和装载锁室之间通过；且第三开口，其大小允许基板在第三高度上在中央板和装载锁室之间通过。19.如权利要求18所述的多板室，其特征在于，第一侧板包括至少第一平面，该平面具有开口，其大小允许基板通过；第二侧板包括至少第一平面，该平面具有开口，其大小允许基板通过；且第一侧板、第二侧板和中央板连接在一起时，第一侧板的第一平面的开口、第二侧板的第一平面的开口以及中央板的第二平面的第一开口基本位于同一高度。20.如权利要求1所述的多板室，其特征在于，中央板的第一侧面包括至少第一凹口，适于允许基板在多板室中旋转，并从多板室传送到与多板室的第一侧板相连的室。21.如权利要求20所述的多板室，其特征在于，中央板的第二侧面包括至少第一凹口，适于允许基板在多板室中旋转，并从多板室传送到与多板室的第二侧板相连的室。22.如权利要求1所述的多板室，其特征在于，第一侧板和第二侧板具有第一宽度，中央板具有第二宽度，该第二宽度约为第一宽度的两倍或更大。23.如权利要求1所述的多板室，其特征在于，第一侧板包括基本呈圆筒形的侧壁，并具有在侧壁上形成的多个平坦表面。24.如权利要求23所述的多板室，其特征在于，第一侧板包括两个平面，每一个都具有开口，其大小允许基板通过。25.如权利要求23所述的多板室，其特征在于，第一侧板包括至少一个片状结构，适于减小第一侧板的侧壁的移动。26.如权利要求25所述的多板室，其特征在于，第一侧板包括多个片状结构，适于减小第一侧板的侧壁的移动。27.如权利要求1所述的多板室，其特征在于，第二侧板包括基本呈圆筒形的侧壁，并具有在侧壁上形成的多个平坦表面。28.如权利要求1所述的多板室，其特征在于，进一步包括盖，该盖适于覆盖至少中央板。29.如权利要求28所述的多板室，其特征在于，该盖包括一平坦部分和多个杆，适于减小平坦部分在垂直方向上的移动。30.如权利要求29所述的多板室，其特征在于，平坦部分具有大约0.75英寸至1.0英寸或更小的厚度。31.如权利要求29所述的多板室，其特征在于，该盖包括至少一个开口，该开口适于在多板室的内部区域进行存取，而不需移走该盖。32.如权利要求31所述的多板室，其特征在于，该盖包括至少两个开口，每一个都适于在多板室的内部区域进行存取，而不需移走该盖。33.一种多板室，包括中央板，具有第一开口侧；第二开口侧，与第一开口侧相对；第一平面，位于第一开口侧和第二开口侧之间，适合与室连接，并具有允许基板通过的开口；且第二平面，与第一平面相对，位于第一开口侧和第二开口侧之间，该第二平面适合与室连接，并具有至少两个允许基板通过的垂直堆叠的开口，第一侧板，适合与中央板的第一开口侧连接，并具有至少第一平面，其开口的大小允许基板通过；且第二侧板，适合与中央板的第二开口侧连接，并具有至少第一平面，其开口的大小允许基板通过；其中，当第一侧板、第二侧板和中央板连接在一起时，第一侧板的第一平面的开口、第二侧板的第一平面的开口以及中央板的第二平面的第一开口基本位于同一高度。34.如权利要求33所述的多板室，其特征在于，中央板的第一平面的开口与中央板的第二平面的开口基本位于同一高度。35.如权利要求33所述的多板室，其特征在于，当中央板、第一侧板和第二侧板连接在一起时，构成基本呈圆筒形的内室区域...

【专利技术属性】
技术研发人员：S库利塔，WT布劳尼干，M伊纳贾瓦，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]