密封一处理室一开口的方法与装置制造方法及图纸

在一实施例中，一狭缝阀被提供用以密封一开口，该狭缝阀包含一阀壳，其具有一第一壁、一形成在该第一壁中的第一开口、一第二壁及一形成在该第二壁中的第二开口。该狭缝阀同时也包含一封闭件，具有一密封部分，用以接触第二壁及密封第二开口，及一加强件，可相对于该密封部分移动并用以接触第一壁。该狭缝阀还包含至少一致动机制，用以（１）将密封部分移向第二壁并与第二壁接触；及（２）移动该加强件离开该密封部分，并与第一壁接触，以加强该密封部分靠向第二壁。本案也提供多种其它情况。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术有关于半导体制造，尤其是有关于用以密封一处理室开口的方法与设备。
技术介绍
一基材处理室典型与一基材传送室经由一可密封开口相通，该开口为宽及相当短，以容许水平方向的基材插入与移除。已知使用一狭缝阀，以密封一开口。例如，狭缝阀的一密封板可以延伸以密封该开口，并缩回，以允许基材通过该开口。狭缝阀较佳被设计以避免(1)经由磨擦所产生的微粒，及(2)弹性封闭件的不均匀压缩的问题。在某些类型的基材处理步骤中，一压力差动器可以存在于处理室与传送室之间，使得在处理室内的高压向外推挤狭缝阀的密封板。因而，使得狭缝阀受到应力并疲乏，其量随着压力差增加而增加。当涉及例如用于平面显示器的大基材时，压力差影响加剧(例如，因为较大的基材需要在处理室与传送室间有一较大开口，及较大的密封板以密封此一开口)。传统狭缝阀典型并未被设计以容许大压力差动器。因此，有需要改良的密封一处理室的开口的方法与设备，特别是当使用大压力差动器时。
技术实现思路
在本专利技术的第一实施例中，一狭缝阀被提供用以密封一开口。该狭缝阀包含一阀壳，其具有(1)一第一壁；(2)一第一开口，形成在第一壁中；(3)一第二壁；及(4)一第二开口，形成在第二壁中。该狭缝阀同时包含一封闭件，具有一密封部份，适用以接触第二壁及密封第二开口，及一加强件，可相对于密封部份作移动，并适用以接触第一壁。该狭缝阀更包含至少一致动机制，适用以(1)移动该密封部份向第二壁并与第二壁接触；及(2)移动该加强件离开密封部份并与第一壁接触，以加强该密封部份靠向第二壁。在本专利技术第二实施例中，提供了一种用以密封一开口的方法。该方法包含提供一阀壳，其具有(1)一第一壁；(2)一第一开口，形成在第一壁中；(3)一第二壁；及(4)一第二开口，形成在第二壁中。该方法更包含一封闭件，具有一密封部份，适用以接触第二壁并密封第二开口，及一加强件，可相对于该密封部份移动及适用以接触第一壁。该方法同时包含(1)将该密封部份移动向第二壁并与第二壁接触；及(2)将加强件由该密封部份移开并与第一壁接触，以加强密封部份靠向第二壁。本案也提供多种其它情况。本专利技术的其它特性及情况也可以由以下的详细说明，随附的权利要求范围及附图加以完全了解。附图说明图1A-1C为包含一室隔绝阀的依据本专利技术设备的一实施例。图2为代表图1A-1C的室隔绝阀的例示实施例的本专利技术室隔绝阀的立体分解图。图3A-3F为图2的室隔绝阀的剖面侧视图，其是在沿着室隔绝阀的长度所取的各种位置。图4为一流程图，其例示用以密封图2的室隔绝阀的第一开口的程序。图5为一流程图，其例示用以放置图2的室隔绝阀的封闭件在图3F所示的封闭件的纵向缩回位置中。图6为一狭缝阀系统的代表图，其包含图2的室绝缘阀及适用以操作及/或协调室隔绝室的功能。图7为图6的狭缝阀系统的特定实施例的代表图。附图标记说明101室绝缘阀 101a室绝缘阀102处理室开口103封闭件105阀壳 107密封部份109加强件111延伸部份113密封体115第一开口 117第二开口 119背板121前板 123间隙125间隙 127上部份129下部份130弹性组件133第二埠134展开机制135致动器137风箱141第二致动器143第一支撑板145托架 147支撑板149支撑件151轨155轴承 157导槽159滚子部份 161加强板163第一侧165轮毂167袋体 169非密封侧171驱动板173加强致动器175驱动板风箱177安装凸缘179壁部份181压力槽183导管 185套筒187压力埠189导管191密封部份接口 193延伸部份接口195弹性组件 197导管198弹性件199弹性件600狭缝系统 601控制模块603输入/输出模块 605信号导体607信号导体 609信号导体611信号导体 613信号导体615真空源导管617加压气体源导管619排出导管 621加强致动导管623夹持致动导管 625封闭件下降导管627封闭件上升导管629位置开关631指示器灯 635位置开关 637指示器灯641压力开关643小孔651真空开关653压力源阀655气力导管657调整器 659真空源阀661气力导管663调整器665开关连接器 667开关连接器669开关连接器 671致动机制673高压侧导体 675高压侧导体677高压侧导体 679接地导体681接地导体683接地导体685接地导体687位置开关具体实施方式图1A-1C为依据本专利技术的一设备实施例，其包含一室绝缘阀101。同时，当考虑上述说明时，图1A-1C例示使用室绝缘阀101以密封一至邻近处理室P(如图1A的虚线所示)的开口102的本专利技术方法的实施例，以允许处理室P的加压，用以处理包含在其中的基材。室绝缘阀101可以包含一封闭件103，用以密封该处理室开口102。另外，该室绝缘阀101也可以包含一阀壳105，其中，至少封闭件103的一部份可以移动安排于其中。为了允许室绝缘阀101被用于配合一处理室的开口，室绝缘阀101的阀壳105可以放置靠着处理室，例如，使得一密封(未示出)被形成在阀壳105与处理室之间，在予以密封的处理室开口旁。封闭件103可以包含一密封部份107，用以密封处理室开口102。例如，密封部份107可以用以间接密封处理室开口102，例如通过密封对准处理室开口102的阀壳105的开口。或者，该密封部份107被放置于直接接触处理室P(未示出)，使得密封部份107密封该处理室开口102旁。所述封闭件103以还包含一加强件109，其可相对于密封部份107作移动。例如，加强件109可以适用以延伸离开或接近密封部份107。再者，加强件109也可以适用以加强或支撑密封部份107，例如，当密封部份107如上述在密封处理室开口102的位置时。此配置有效于其可以降低或最小化需要以对抗在处理室P内的正压力量的大小，特别是其相较于常用的悬臂配置(未示出)。为了提供相对于处理室开口102的封闭件103的方便移动，封闭件103可以包含一延伸部份111，其由密封部份107延伸。在此一实施例中，延伸部份111与密封部份107分隔开的一端可以适用以抓住及/或操控，例如通过安排在阀壳105内或外的致动器(见图2)，以完成封闭件103可以移动成一单元(例如经由延伸部份111，移动密封部份107及加强件109)。例如，封闭件103也可以经由延伸部份111移动向及/或离开处理室开口102(横向地于示于图1B及1C的室绝缘阀101的个别架构间或者纵向地于图1A及1B所示的室绝缘阀101的个别架构间)。较佳地，封闭件103的延伸部份111相对于封闭件103的密封部份107是固定的。例如，密封部份107及延伸部份111可以为单体结构，如图1A所示。或者，延伸部份111也可以固定地连接至密封部份107。阀壳105可以定义一密封体113、一至密封体113的第一开口115、及一至密封体113的第二开口117。较佳地，第一开口115及密封体113是对准处理室开口102的共同轴并大小作成允许基材通过该阀壳105并进出处理室P。例如，第一开口115可以与处理室开口102分开，及第二开口117可以安排于密封体113的另一侧上，邻近处理本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用以密封一开口的狭缝阀，其至少包含：一阀壳，具有：一第一壁；一第一开口，形成在第一壁中；一第二壁；及一第二开口，形成在第二壁中；一封闭件，其具有：一密封部份，用以接触第二壁并密封第 二开口；及一加强件，可相对该密封部份移动并用以接触第一壁；及至少一致动机制，用以：将该密封部份移向第二壁并与第二壁接触；及将该加强件移动离开该密封部份并与第一壁接触，以加强密封部份靠向第二壁。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2003-5-13 60/470,1401.一种用以密封一开口的狭缝阀，其至少包含一阀壳，具有一第一壁；一第一开口，形成在第一壁中；一第二壁；及一第二开口，形成在第二壁中；一封闭件，其具有一密封部份，用以接触第二壁并密封第二开口；及一加强件，可相对该密封部份移动并用以接触第一壁；及至少一致动机制，用以将该密封部份移向第二壁并与第二壁接触；及将该加强件移动离开该密封部份并与第一壁接触，以加强密封部份靠向第二壁。2.如权利要求1所述的狭缝阀，其特征在于，上述的至少一致动机制包含一致动器，其包含所述封闭件的一部份并安排于加强件与密封部份之间。3.如权利要求1所述的狭缝阀，其特征在于，所述密封部份包含一弹性组件，用以接触并密封所述第二壁。4.如权利要求1所述的狭缝阀，其特征在于，所述加强件包含一弹性组件，用以接触所述第一壁。5.如权利要求1所述的狭缝阀，其特征在于，所述加强件用以在所述密封部份内呈现一缩回横向位置。6.如权利要求1所述的狭缝阀，其特征在于，所述至少一致动机制包含一气力致动器，用以经由正压力及真空压力选择地致动。7.如权利要求6所述的狭缝阀，其特征在于，所述气力致动器适用以采用正压力，以将该加强件由靠着密封部份的缩回横向位置移动向靠着第一壁的展开横向位置。8.如权利要求6所述的狭缝阀，其特征在于，所述气力致动器适用以采用真空压力，以将该加强件由靠着第一壁的展开横向位置移动向靠着密封部份的缩回横向位置。9.如权利要求1所述的狭缝阀，其特征在于，所述至少一致动机制包含一气力致动器，其包含一压力槽。10.如权利要求9所述的狭缝阀，其特征在于，所述加强件的一部份定义所述压力槽的边界。11.如权利要求9所述的狭缝阀，其特征在于，所述密封部份的一部份定义所述压力槽的边界。12.如权利要求10所述的狭缝阀，其特征在于，所述至少一致动机制还包含一风箱，及其中所述风箱也定义所述压力槽的一边界。13.如权利要求12所述的狭缝阀，其特征在于，所述加强件经由风箱耦接至密封部份。14.如权利要求13所述的狭缝阀，其特征在于，除了经由风箱外，在加强件与密封部份之间并没有耦接。15.如权利要求12所述的狭缝阀，其特征在于，所述风箱被定位为使得所述压力槽的膨胀产生风箱的收缩。16.如权利要求12所述的狭缝阀，其特征在于，所述加强件包含一板，及其中所述板也定义所述压力槽的一边界。17.如权利要求16所述的狭缝阀，其特征在于，所述加强件用以呈现一缩回横向位置远离第一壁，使得加强件的板在...

【专利技术属性】
技术研发人员：栗田四日，李可龄，温德尔T布伦尼格，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]