【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本申请一般涉及声波器件，并且特别地涉及允许在较大的温度变化和扰动阻尼(perturbation dampening)之中工作的压电器件。
技术介绍
声波器件已经被广泛地使用在如频率参考谐振器、延迟线和传感器的技术中。最早的声波器件结构是平行板谐振器，它由具有基本平坦且平行的抛光表面的压电材料板构成，所述表面的一个或者两个都承载着一个或更多个导电电极。当电压信号被施加在电极之间时，应力场引起晶体的弹性形变(应变场)。晶体的形变改变了晶体内电荷的分布，并且，存在净电荷流(电流)。更先进的声波器件利用表面声波、表面横波或声平板模式(acoustic plate mode)。那些器件一般被公知为SAW器件或声平板模式器件。简而言之，这些器件包括位于非压电衬底上面的压电材料衬底(例如石英或铌酸锂)，或者是压电材料薄膜(例如氧化锌或硫化镉)。衬底具有至少一个被高度抛光过的有源压电表面区域。为了将输入电能转换为衬底内的声能，并将声能重新转换为电输出信号的输入和输出换能器被形成在该表面上。输入和输出换能器经常包括叉指换能器，每一个叉指换能器均包括多个在电气上分别耦合到输入信号...
【技术保护点】
一种多反射声波器件，包括：衬底，所述衬底具有至少一层压电物质，所述至少一层压电物质至少具有能够传导声波的第一表面，并且至少具有和所述第一表面相对的第二表面；反射栅，所述反射栅被沉积在所述第一表面上，具有沿着其纵轴的长度，所述长度定义了机电有源区域的纵向范围，其中，所述有源区域在其纵向尺寸的至少６０％上被所述反射栅的机电显著的元件所覆盖，所述元件被与所述声波的波长相称的基本上周期性的间隔所分隔；输入换能器和输出换能器，每一个换能器均被集成进所述反射栅，并且包括多个叉指电极；所述输入换能器适于引起声波；所述声波具有频率以及基本上垂直于所述电极并位于所述第一表面的平面内的波矢；其...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2003-7-16 10/620,9341.一种多反射声波器件，包括衬底，所述衬底具有至少一层压电物质，所述至少一层压电物质至少具有能够传导声波的第一表面，并且至少具有和所述第一表面相对的第二表面；反射栅，所述反射栅被沉积在所述第一表面上，具有沿着其纵轴的长度，所述长度定义了机电有源区域的纵向范围，其中，所述有源区域在其纵向尺寸的至少60％上被所述反射栅的机电显著的元件所覆盖，所述元件被与所述声波的波长相称的基本上周期性的间隔所分隔；输入换能器和输出换能器，每一个换能器均被集成进所述反射栅，并且包括多个叉指电极；所述输入换能器适于引起声波；所述声波具有频率以及基本上垂直于所述电极并位于所述第一表面的平面内的波矢；其中，所述反射栅被构造成产生机电上显著的反射耦合，所述反射耦合在所述压电物质中被引起的正向和逆向传播的声波之间。2.如权利要求1所述的多反射声波器件，其中，所述反射栅或其一部分包括多个基本上周期性重复的子群。3.如权利要求2所述的多反射声波器件，其中，所述子群被独立地加权。4.如权利要求1-3中的任何一个所述的多反射声波器件，其中，至少所述反射栅的元件的大部分中的每一个均提供了至少0.1％的反射率5.如权利要求1-4中的任何一个所述的多反射声波器件，其中，所述反射栅还包括被插在所述输入和输出换能器之间基本上周期性的、电气上无源的反射结构。6.如权利要求5所述的多反射声波器件，其中，所述反射结构具有在25个和150个所述周期性间隔之间的长度。7.如权利要求5或6所述的多反射声波器件，其中，所述反射结构包括在所述压电物质中的褶皱。8.如权利要求1-7中的任何一个所述的多反射声波器件，其中，所述反射栅具有至少一个周期性的变化，以便在耦合到所述输入换能器的信号和在所述输出换能器中引起的对应信号之间引起相移的偏移。9.如权利要求1-8中的任何一个所述的多反射声波器件，其中，至少一部分所述反射栅包括沉积在所述衬底上的金属电极。10.如权利要求1-9中的任何一个所述的多反射声波器件，其中，至少一部分所述反射栅包括沉积在所述衬底上的介电材料。11.如权利要求1-10中的任何一个所述的多反射声波器件，其中，至少一部分所述反射栅包括在所述衬底中开出的凹槽。12.如权利要求1-11中的任何一个所述的多反射声波器件，其中，所述输入换能器和/或所述输出换能器是双向换能器，具有与正向和逆向声波基本上对称地耦合。13.如权利要求1-11中的任何一个所述的多反射声波器件，其中，所述输入换能器和/或所述输出换能器是单向换能器，具有与正向和逆向声波不对称地耦合。14.如权利要求1-13中的任何一个所述的多反射声波器件，其中，所述输入换能器和/或所述输出换能器具有大于或等于50个所述周期性间隔的长度。15.如权利要求1-13中的任何一个所述的多反射声波器件，其中，所述换能器具有大于或等于200个所述周期性间隔的长度。16.如权利要求1-15中的任何一个所述的多反射声波器件，其中，所述换能器具有频散曲线，所述频散曲线具有在标称设计中心频率的0.2％和2％之间的阻带。17.如权利要求1-16中的任何一个所述的多反射声波器件，还包括被插在所述输入和输出换能器之间的传播路径。18.如权利要求1-17中的任何一个所述的多反射声波器件，还包括耦合在所述输入和输出换能器之间用于形成振荡器的放大器电路。19.一种基于声波器件的传感器，包括如权利要求1-18中的任何一个所述的声波器件，还包括以机械方式与所述衬底连通的传感面；振荡器电路，所述振荡器电路具有耦合到所述输入换能器的输出；传感器电路，所述传感器电路具有输出和耦合到所述输出换能器的输入，用于检测从所述输出换能器导出的信号的至少一个参数。20.如权利要求19所述的基于声波器件的传感器，其中，所述测量电路包括用于检测所述振荡器的输出和所述传感器电路的输出之间的差别的比较器电路，用于检测其间的差别，所述差别受到将所述传感面暴露给传感物质的影响。21.如权利要求19或20所述的基于声波器件的传感器，其中，来自所述输出换能器的输出被耦合到所述振荡器，用于提供反馈。22.如权利要求19-21中的任何一个所述的基于声波器件...
【专利技术属性】
技术研发人员：杰弗里安德利，
申请(专利权)人：拜欧得股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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