【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种压电元件及使用所述压电元件的液体喷头，特别是涉 及一种可以使晶片平面的结晶取向均匀，并且使压电特性均匀的压电元件 的制造方法。
技术介绍
压电元件是以两个电极夹着呈现机电转换功能的压电膜的元件，压电 膜由结晶后的压电性陶瓷构成。以往，压电元件的制造方法公知有所谓的溶胶一凝胶法。即，在形成 了下电极的衬底上涂布有机金属化合物的溶胶，并使其干燥及脱脂，从而 形成压电体的前驱体。在执行该涂布、干燥及脱脂工序预定次数后，在高 温中进行热处理从而使其结晶。为了再进一步增加其膜厚，在结晶后的压 电层上进一步重复执行溶胶的涂布、干燥及脱脂工序、以及结晶工序。使上述有机金属化合物的溶胶脱脂的方法公知有使用箱型干燥机的方 法、使用电热炉的方法。此外，所述压电元件适用于喷墨式记录头等液体喷头，所述喷墨式记 录头中用振动膜构成与喷出墨滴的喷嘴开口连通的压力产生室的一部分， 并通过压电元件使此振动膜变形从而给压力产生室的墨水加压，从而从喷 嘴开口喷出墨滴。喷墨式记录头f据实际应用分为两种使用在压电元件 的轴方向上伸长、收縮的纵振动模式的压电致动器的喷墨式记录头和使用 ...
【技术保护点】
一种压电元件，具有下电极、在下电极上形成的压电膜、在所述压电膜上形成的上电极，其特征在于，所述压电膜具有柱状结晶，该柱状结晶在所述上电极侧的结晶粒径比在所述下电极侧大，所述压电膜的规定面取向的取向度比其他面取向的取向度高。
【技术特征摘要】
1.一种压电元件，具有下电极、在下电极上形成的压电膜、在所述压电膜上形成的上电极，其特征在于，所述压电膜具有柱状结晶，该柱状结晶在所述上电极侧的结晶粒径比在所述下电极侧大，所述压电膜的规定面取向的取向度比其他面取向的取向度高。2. 如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述压电膜的 (100)面的取向度比其他面的取向度高。3. 如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述下电极被图案化 为预定形状，仅在所述下电极上形成构成所述压电膜的多层压电层中的、 作为最下层的第一压电层，使其他压电层覆盖所述下电极的端面及...
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